技术编号:3395505
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在真空镀膜室中基质镀膜装置用的蒸发舟,它是由一种通过直接的电流可加热的导电材料制的扁平的、槽形部件所构成。人所共知具有长方形底面-尤其适用于串联蒸发器-通电的槽形蒸发舟,在其两个垂直的窄面或正面附有紧固面,靠它支撑于蒸发舟支座上。在一种较老的用于在真空镀膜室内带状基质连续镀膜的装置中(P4027034),具有许多组成蒸发器工作台的、平行的和沿带运行方向的、彼此约相等距离设置的、大小与配置相同的蒸发舟,在此,蒸发舟全部由导电陶瓷组成和通过直接的...
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