技术编号：3395055
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种离子源，特别是一种金属蒸汽阴极弧离子源。现有的金属离子源，如中国专利91224854.8(长寿命金属蒸汽真空弧离子源)，其触发电极、阴极及其支座等均处于充满金属等离子体的阳极杯中，如此大的等离子体填充空间不仅造成较大的扩散损失，还造成金属沉积物对绝缘零部件的污染和引起有害的外弧。另外，现有技术中湍性金属等离子体穿过阳极孔多是自然飘向引出栅的，扩散损失严重，易引起磁流体不稳定性和有害的束噪声。有的源靠在真空室外加螺管线圈来解决该问题，但产生...
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