技术编号：2980191
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对玻璃基板实施离子注入处理的离子注入装置，特别是涉及不具有使离子束形成为沿其行进方向平行的形状的平行化透镜的质量分析型的离子注入装置。背景技术从作为生产装置的基本要求来说，离子注入装置必须是生产率高的装置。此外，对于通过向硅等的晶片进行离子注入来制造半导体器件的半导体器件制造用离子注入装置而言，由于器件的微型化(集成密度)按穆尔定律发展，所以除了要求所述离子注入装置 “提高生产率”以外，而且还要求对所述离子注入装置附加用于微型化的各种基本技术，即...
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