技术编号：2690902
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种弯曲梁微机械光开关，尤其是能自动掉电保护。属于微机械领域。1×1，1×2，2×2的光开关及由它组成的开关阵列在光通讯系统中将有极大的应用价值。2×2的光开关可以作为N×N光开关阵列的基本单元。现在已有利用Si腐蚀形成的微镜，在叉指驱动或静电驱动下，微镜产生微位移，使光处于通过状态(开状态)或反射状态(关状态)，从而实现2光路的通断和交换。但已有的此类光开关，往往存在一个问题在开状态或关状态，驱动装置的电压无法解除，否则微镜将自动回到不须驱...
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