技术编号：2310139
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种手臂结构，尤指一种单自由度真空机械手手臂的肩部结构。背景技术在现有的单自由度真空机械手的手臂结构中，其大臂肩部的带轮固定方式通常为直接固定于安装法兰上，且肩部回转轴承的内外圈在轴向上是相对刚性紧固的，因此降低了轴承的使用寿命，即降低了单自由度真空机械手的整体寿命。另外，在现有技术中，真空机械手抓取硅片校准工位时，无法实现调整和补偿工位方向，从而导致必须根据工位来调节旋转法兰安装的方向，不仅浪费时间，而且浪费人力、物力。发明内容鉴于以上内容，有...
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