技术编号：12317237
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及石英舟技术领域，尤其涉及一种支撑腿可拆卸的石英舟。背景技术石英舟是晶硅太阳能电池扩散工序中用于承载硅片的载具，具有耐高温和较好的化学稳定性的特点。目前，在生产过程中，用石英舟承载清洗制绒后的硅片进行扩散。在放置石英舟时，石英舟的支撑脚受瞬间力较大，容易导致支撑脚破裂，导致整个石英舟报废，损失很大。此外，由于扩散工序洁净度要求极高以及管式扩散炉炉管温度较高，一般会使用舟叉和设置于石英舟上的套管配合搬运石英舟，舟叉和套管之间受力大、使用频次高，容易导致套管的管口断裂，更严重时导致石英舟...
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