技术编号:11799161
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及半导体领域,更具体地,涉及用于MEMS器件中的气密密封的具有锥形侧壁的凹槽。背景技术已经发现诸如加速计、压力传感器和麦克风的微电子机械系统(MEMS)器件广泛地用于许多现代电子器件。例如,MEMS加速计常见于汽车(如,在安全气囊展开系统中)、平板电脑或智能手机中。对于许多应用,MEMS器件电连接至微处理器、微控制器或专用集成电路(ASIC)以形成完整的MEMS系统。发明内容本发明的实施例提供了一种集成电路(IC)器件,包括:第一衬底,具有前侧和背侧,其中,所述背侧包括延伸至所述第...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。