技术编号：11380883
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及氧化铝薄膜技术领域，具体的，本发明涉及三氧化二铝薄膜及其制备方法。背景技术三氧化二铝(Al2O3)薄膜是一种硬质陶瓷薄膜，具有高绝缘强度、高介电常数、高导热系数、高熔点、高硬度等诸多优点，常做为硬质薄膜、绝缘薄膜、耐腐蚀保护薄膜、离子阻挡层薄膜使用，例如车床刀头硬质薄膜、手机屏幕耐刮擦保护膜，等等。目前，高质量Al2O3薄膜通常是采用物理气相沉积或化学气相沉积方法制备获得的，具体例如脉冲激光沉积法、磁控溅射沉积法、等离子体增强化学气相沉积法等。其中，等离子体增强化学气相沉积法是采用高能...
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