技术编号:11050525
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电阻器,尤其涉及一种基于TaN薄膜的高功率集成电阻器。背景技术微波匹配负载广泛应用于微波电路和组件中起着吸收不需要的微波功率、保护系统的作用。目前,基于厚膜技术的微波匹配负载电阻已经广泛被使用在微波电路中,然而随着电了系统工作频率升高,厚膜技术的微波匹配负载由于趋肤效应而不能应用于更高的频率,此时基于薄膜技术的薄膜匹配负载电阻更适合在高频的宽频应用领域,使用薄膜匹配负载电阻由于具有白钝化、低电阻温度系数等优点,成为薄膜型匹配负载器件的首选。然而,现有技术在薄膜匹配负载电阻方面,特别...
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