技术编号：10885988
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。众所周知，半导体行业中一条8英寸的生产线，需要投资7?8亿美金;而一条12英寸的生产线，需要的投资达12?15亿美金，如果不能保持连续生产，仅仅每天的设备折旧就达到35?70万美元。而其动力系统是半导体行业的心脏和血管，要求其运行的可靠性和连续性非常高，比如电力系统一般采用双路供电、自来水采用双路自来水、压缩空气系统采用氮气进行备用，纯水废水、工艺冷却水、冷冻水等系统均采用采用N+1设计，并且将整个系统设计成为环路。这些技术的采用，都是为了极大程度地保证半...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。