技术编号：10688892
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。基板处理装置是对基板进行蚀刻、蒸镀等基板处理的装置。并且，所述基板处理装置根据基板处理工艺而形成多种结构，作为一例，包括工艺腔室，形成密闭的处理空间；喷头部，设置于工艺腔室的上侧，向处理空间内提供用于基板处理的气体;基板支撑部，设置于工艺腔室内，支撑被处理基板。具有所述构成的基板处理装置，与气体的供应一同在电磁场处理空间内形成等离子，由此执行基板处理工艺。并且，所述基板处理装置在执行一定次数的基板处理工艺之后，经过消除微粒的清洗工艺。在此，清洗工艺可根据多...
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