技术编号:10514004
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。薄膜晶体管(ThinFilm Transistor,简称“TFT”)是液晶显示装置中的关键器件,对液晶显示装置的工作性能起到十分重要的作用。参见图1,现有薄膜晶体管主要包括设置在衬底基Ia上的有源层3a、覆盖有源层3a的刻蚀阻挡层2a、以及设置在刻蚀阻挡层2a上的栅极4a、源极5a和漏极6a。其中,刻蚀阻挡层2a上设置有过孔,源极5a和漏极6a均通过过孔与有源层3a连接。现有的薄膜晶体管的利记博彩app主要包括用构图工艺在衬底基板Ia上形成有源层3a图形;在上述...
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