技术编号：10486479
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现有技术中，激光干涉仪测量导轨直线度采用如图2和图3所示的方式，在图2中，激光从激光头出射，在渥拉斯顿棱镜处分成水平方向上的两束，两束光通过反射镜后反射回渥拉斯顿棱镜处，通过渥拉斯顿棱镜合束成一束返回到激光器。测量时，移动反射镜或者渥拉斯顿棱镜都可，当运动过程中测量轴和光轴有一个相对的偏差，这时就可以通过激光头里面的电子系统记录下来，得到这一变化值，继而得出被测导轨的直线度信息;测量镜沿着X运动时，可以测量出Y方向的直线度的数据;若要沿着X方向移动，测量出...
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