技术编号：10114227
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来，随着微/纳制造技术的迅速发展和广泛应用，对微/纳制造装备核心关键技术之一的精密定位技术提出了更高的要求。微定位平台是实现精密定位的工作平台，其一般由微定位机构、驱动器和为控制系统提供位置反馈的位移传感器组成。而柔顺机构是以柔性铰链代替传统机构运动关节，具有无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高和加工简单等优点，在精密定位领域作为传动机构得到了广泛应用。因此，柔顺机构适用于微定位平台中来传递驱动器的运动和力，以提高微定位平台的位移精度。目前存在的微定位平台...
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