技术编号：10089980
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前国内的多晶硅装置绝大多数采用改良西门子法工艺路线，生产中副产的大量四氯化硅通常采用“氢化”(冷氢化和热氢化)的方式转化为三氯氢硅，循环利用。“冷氢化”技术是将四氯化硅和硅粉、氢气在流化床反应器中反应生成三氯氢硅；与“热氢化”技术相比，具有四氯化硅转化率高、电耗低、生产成本低等优点。目前“冷氢化”技术目前已逐步替代“热氢化”技术，成为多晶硅生产的主流技术，普遍应用于技改及新建的多晶硅装置中。冷氢化反应器是冷氢化装置的核心设备，反应器的气体分布器更是反应器...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。