致动器支承机构和激振装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10078829

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已知有在正交3轴方向(X轴、Y轴和Z轴方向)上隔着振动台独立地激振对象物的3轴激振装置。在专利文献1中记载了这样的3轴激振装置的例子。多轴(2轴或3轴)激振装置包括在各轴方向上独立地驱动振动台的多个致动器。各致动器与振动台经由滑动连结机构连结。滑动连结机构以在与各致动器的驱动方向垂直的方向上可滑动的方式连结各致动器与振动台。由此,能够在正交2轴方向或正交3轴方向上独立地激振对象物。现有技术文献专利文献专利文献1日本特公昭49-7171号公报实用新型内容实用...
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