一种基于TiON的压力传感器的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及一种基于T1N的压力传感器。
【背景技术】
[0002]传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。
[0003]传感器的特点包括:微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器的存在和发展，让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官，让物体慢慢变得活了起来。通常根据其基本感知功能分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大类。
[0004]其中，液体压力传感器内部使用基于硅基MEMS技术加工的压力传感器芯片，称为MEMS压力传感器芯片。在液体压力传感器中，当液体压力作用于MEMS压力传感器芯片上时，引起压力敏感膜片发生形变，压力敏感膜片上的压敏电阻由于压阻效应而产生电阻变化，从而导致压力感测元件中由压敏电阻组成的惠斯顿电桥产生电信号输出，实现了压力信号到电信号的转换。
[0005]但是，现有的压力传感器，无法完全隔离流体和传感器芯片，如果被测流体进入传感器芯片内部，则会慢慢腐蚀传感器内部的元件，造成传感器芯片损坏失效，降低传感器芯片的使用寿命。
[0006]因此，提供一种新的压力传感器是本领域技术人员需要解决的课题。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型要解决的技术问题是提供一种使用简单和传感灵敏的基于T1N的压力传感器。
[0008]为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案:
[0009]—种基于T1N的压力传感器，包括左固定件、T1N元件和右固定件，所述左固定件包括固定螺柱和压力腔，所述固定螺柱位于左固定件的外部，所述压力腔位于左固定件的内部，所述压力腔上设置有密封膜片和O型圈，所述O型圈与密封膜片相固定。所述T1N元件位于左固定件和右固定件的中部，所述T1N元件与左固定件和右固定件相固定，所述T1N元件内部设置有填充腔，所述填充腔内设置有过载膜片，所述过载膜片上设置有传感器，所述右固定件内设置有传感块。
[0010]作为优选，所述固定螺柱贯穿左固定件、并与T1N元件相固定，能够将左固定件和T1N元件相固定。
[0011]作为优选，所述固定螺柱设置一根以上。
[0012]作为优选，所述填充腔内填充有液体，有利于保护传感器的传感。
[0013]作为优选，所述传感器为硅压传感器，有利于提高传感器的灵敏度，使得检测的数值更加精确。
[0014]作为优选，所述右固定件与左固定件I结构相同。
[0015]作为优选，所述传感块与T1N元件相贴合，能够接收传感器发出的数据，并继续传送。
[0016]作为优选，所述T1N元件的耐温大于260摄氏度，能够在高温下运行，并有利于延长使用寿命。
[0017]本实用新型的有益效果为:由于设置有左固定件和右固定件，能够固定好T1N元件，由于设置有密封膜片，有利于保护压力腔，由于设置有O型圈，有利于密封膜片密封固定，由于设置有填充腔，能够保护传感器，由于设置有传感块，能够件检测的数据传送。
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型一种基于T1N的压力传感器的整体结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]如图1所示，一种基于T1N的压力传感器，包括左固定件1、T1N元件2和右固定件3，所述左固定件I包括固定螺柱4和压力腔5，所述固定螺柱4位于左固定件I的外部，所述压力腔5位于左固定件I的内部，所述压力腔5上设置有密封膜片6和O型圈7，所述O型圈7与密封膜片6相固定。所述T1N元件2位于左固定件I和右固定件3的中部，所述T1N元件2与左固定件I和右固定件3相固定，所述T1N元件2内部设置有填充腔8，所述填充腔8内设置有过载膜片10，所述过载膜片10上设置有传感器11，所述右固定件3内设置有传感块12。
[°02°]所述固定螺柱4贯穿左固定件1、并与T1N元件2相固定，能够将左固定件和T 1N元件相固定。
[0021]所述固定螺柱4设置一根以上。
[0022]所述填充腔8内填充有液体，有利于保护传感器的传感。
[0023]所述传感器11为硅压传感器，有利于提高传感器的灵敏度，使得检测的数值更加精确。
[0024]所述右固定件3与左固定件I结构相同。
[0025]所述传感块12与T1N元件2相贴合，能够接收传感器发出的数据，并继续传送。
[0026]所述T1N元件的耐温大于260摄氏度，能够在高温下运行，并有利于延长使用寿命O
[0027]本实用新型的有益效果为:由于设置有左固定件和右固定件，能够固定好T1N元件，由于设置有密封膜片，有利于保护压力腔，由于设置有O型圈，有利于密封膜片密封固定，由于设置有填充腔，能够保护传感器，由于设置有传感块，能够件检测的数据传送。
[0028]以上所述，仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种基于T1N的压力传感器，其特征在于:包括左固定件、T1N元件和右固定件，所述左固定件包括固定螺柱和压力腔，所述固定螺柱位于左固定件的外部，所述压力腔位于左固定件的内部，所述压力腔上设置有密封膜片和O型圈，所述O型圈与密封膜片相固定，所述T1N元件位于左固定件和右固定件的中部，所述T1N元件与左固定件和右固定件相固定，所述T1N元件内部设置有填充腔，所述填充腔内设置有过载膜片，所述过载膜片上设置有传感器，所述右固定件内设置有传感块。2.如权利要求1所述的基于T1N的压力传感器，其特征在于:所述固定螺柱贯穿左固定件、并与T1N元件相固定。3.如权利要求2所述的基于T1N的压力传感器，其特征在于:所述固定螺柱设置一根以上。4.如权利要求3所述的基于T1N的压力传感器，其特征在于:所述填充腔内填充有液体。5.如权利要求4所述的基于T1N的压力传感器，其特征在于:所述传感器为硅压传感器。6.如权利要求5所述的基于T1N的压力传感器，其特征在于:所述右固定件与左固定件结构相同。7.如权利要求6所述的基于T1N的压力传感器，其特征在于:所述传感块与T1N元件相贴合。8.如权利要求7所述的基于T1N的压力传感器，其特征在于:所述T1N元件的耐温大于260摄氏度。
【专利摘要】本实用新型公开一种基于TiON的压力传感器，包括左固定件、TiON元件和右固定件，所述左固定件包括固定螺柱和压力腔，所述固定螺柱位于左固定件的外部，所述压力腔位于左固定件的内部，所述压力腔上设置有密封膜片和O型圈，所述O型圈与密封膜片相固定。所述TiON元件位于左固定件和右固定件的中部，所述TiON元件与左固定件和右固定件相固定，所述TiON元件内部设置有填充腔，所述填充腔内设置有过载膜片，所述过载膜片上设置有传感器，所述右固定件内设置有传感块；该基于TiON的压力传感器具有使用简单和传感灵敏的优点。
【IPC分类】G01L9/06
【公开号】CN205300833
【申请号】
【发明人】赵勇
【申请人】百夫长传感技术(深圳)有限公司
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2015年12月22日