供气嘴检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本申请涉及检测领域，尤其涉及一种供气嘴检测装置。
【背景技术】
[0002]在低温多晶硅工艺中，出于改善TFT(薄膜晶体管)阈值电压及其他电学特性考虑，离子注入发挥着非常重要的作用。在高真空高电压环境中对特气供气嘴的性能也提出了严格的要求。因此，供气嘴在使用前需要进行严格的检测，合格后才能够使用。
[0003]相关技术中，一般检测是通过人工按照操作流程手持供气嘴，并用气枪对着供气嘴喷气来以此确认是否通气。
[0004]但这种检测方式操作繁琐，并且检测误差较大。
【实用新型内容】
[0005]本申请提供了一种供气嘴检测装置，能够提高检测精度。
[0006]本申请所提供的供气嘴检测装置，包括供气管路以及检测单元，所述检测单元包括供气流量计、用于固定供气嘴底部的供气嘴固定座、检测管以及检测流量计，
[0007]所述供气管路与所述供气流量计相连，所述供气流量计与所述供气嘴固定座相连，用于将来自所述供气管路的检测用气输送至供气嘴的底部，
[0008]所述检测管的管口设置在与供气嘴的喷嘴相对的位置，以使喷嘴喷出的检测用气能够吹入所述检测管内，所述检测管与所述检测流量计相连。
[0009]优选地，所述检测单元的数量为多个，多个所述检测单元均与所述供气管路相连。
[0010]优选地，多个所述检测单元并排依次排布。
[0011 ]优选地，还包括固定架，多个所述检测单元均固定在所述固定框架上。
[0012]优选地，所述供气嘴固定座一体设置。
[0013]优选地，所述供气嘴固定座与所述固定架铰接，且能够在竖直与水平方向之间进行转动。
[0014]优选地，还包括固定板，所述检测管的管口固定于所述固定板上。
[0015]优选地，所述固定板与所述固定架铰接，且能够在竖直与水平方向之间进行转动。
[0016]优选地，所述检测单元还包括调节阀，所述调节阀设置在所述供气流量计与所述供气管路之间。
[0017]优选地，所述供气嘴固定座上设置有与供气嘴的底部螺纹连接的螺纹通孔。
[0018]本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果:
[0019]本申请所提供的供气嘴检测装置通过将供气嘴的底部固定在供气嘴固定座上，之后分别通过供气流量计以及检测流量计检测供气嘴前后的检测用气的流量数值，便可准确的反映出供气嘴的通气状态以及通气程度，相较于通过人工采用气枪的检测方式，检测精度更高。
[0020]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。
【附图说明】
[0021]图1为本申请实施例所提供的供气嘴检测装置检测供气嘴时的整体结构示意图；
[0022]图2为本申请实施例所提供的供气嘴固定座与固定板均旋转至水平状态时与供气嘴的配合结构示意图；
[0023]图3为本申请实施例所提供的供气嘴固定座与固定板均旋转至竖直状态时的结构示意图。
[0024]附图标记:
[0025]1-供气嘴检测装置；
[0026]10-供气管路；
[0027]12-检测单元；
[0028]120-供气流量计；
[0029]122-供气嘴固定座；
[0030]124-检测管；
[0031]126-检测流量计；
[0032]128-调节阀；
[0033]14-固定架；
[0034]16-固定板；
[0035]2-供气嘴。
[0036]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
【具体实施方式】
[0037]下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。文中所述“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”均以附图中的供气嘴检测装置的放置状态为参照。
[0038]如图1所示，本申请实施例提供了一种供气嘴检测装置I，包括供气管路10、检测单元12、固定架14以及固定板16。供气管路10用于提供检测用气，可以直接由厂务的供气总管引出气体。检测单元12内部包含主要的检测元器件，具体地，检测单元12包括供气流量计120、供气嘴固定座122、检测管124、检测流量计126以及调节阀128。其中，供气嘴固定座122用于固定供气嘴2的底部，供气管路10与供气流量计120相连，供气流量计120又与供气嘴固定座122相连，并能够将来自供气管路10的检测用气输送至供气嘴2的底部，以便让供气嘴2喷出。检测管124的管口设置在与供气嘴2的喷嘴相对的位置，以使喷嘴喷出的检测用气能够直接吹入检测管124内，检测管124则又与检测流量计126相连，以便对吹入检测管124内的气体流量进行检测。
[0039]本实施例所提供的供气嘴检测装置I通过将供气嘴2的底部固定在供气嘴固定座122上，之后分别通过供气流量计120以及检测流量计126检测供气嘴2前后的检测用气的流量数值，便可准确的反映出供气嘴2的通气状态以及通气程度，相较于通过人工采用气枪的检测方式，检测精度更高。
[0040]为了提高检测效率，本实施例中可以同时设置多个检测单元12，将这些检测单元12均与供气管路10相连，便可同时对多个供气嘴2进行检测，检测效率能够大幅提高。为了便于操作，这些检测单元12最好均并排依次排布。为了能够单独对每个检测单元12的进气量进行调节，本实施例中的每个检测单元12中还均设置有调节阀128，调节阀128设置在供气流量计120与供气管路10之间。
[0041]在本实施例中，固定架14的作用是统一固定所有的检测单元12，以便于操作和维护。为了便于装配和使用，可以将所有的供气嘴固定座122均一体设置，例如采用一块固定基板，在固定基板上对应每个检测单元分别开设能够与供气嘴2的底部螺纹连接的螺纹通孔，并将供气管路10内的检测用气分别引导至每个螺纹通孔内。
[0042]作为更进一步地优化方案，本实施例中的供气嘴固定座122还可与固定架14采用铰接的方式进行连接，使供气嘴固定座122能够在竖直与水平方向之间进行转动。如图2所示，当需要进行检测时，可以将供气嘴固定座122转动至水平位置，固定供气嘴2后便可进行检测。如图3所示，而当检测完毕后，可以将供气嘴固定座122旋转至竖直状态，以减少所占用的空间。为了不影响供气嘴固定座122的旋转，供气流量计120与供气嘴固定座122之间的连接管路可以采用软管连接，也可以采用可拆卸的方式进行连接。
[0043]请继续参见图2和图3，为了确保检测管124的管口能够与供气嘴2的喷嘴能够精确对准，本实施例中将所有检测管124的管口统一固定在固定板16上。固定板16也与固定架14采用铰接的方式进行连接，这样便也能够通过转动的方式减少供气嘴检测装置I在未使用状态下所占用的空间。为了不影响固定板16的转动，检测管124的管口与固定板16之间的也可以采用采用可拆卸的方式进行连接，或者直接采用软管作为检测管124。
[0044]本实施例所提供的供气嘴检测装置I可准确的反映出供气嘴2的通气状态以及通气程度，相较于通过人工采用气枪的检测方式，检测精度更高，并且还具有高效、便于操作、占用空间小等特点。
[0045]以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
【主权项】
1.一种供气嘴检测装置，其特征在于，包括供气管路以及检测单元，所述检测单元包括供气流量计、用于固定供气嘴底部的供气嘴固定座、检测管以及检测流量计，所述供气管路与所述供气流量计相连，所述供气流量计与所述供气嘴固定座相连，用于将来自所述供气管路的检测用气输送至供气嘴的底部， 所述检测管的管口设置在与供气嘴的喷嘴相对的位置，以使喷嘴喷出的检测用气能够吹入所述检测管内，所述检测管与所述检测流量计相连。2.根据权利要求1所述的供气嘴检测装置，其特征在于，所述检测单元的数量为多个，多个所述检测单元均与所述供气管路相连。3.根据权利要求2所述的供气嘴检测装置，其特征在于，多个所述检测单元并排依次排布。4.根据权利要求3所述的供气嘴检测装置，其特征在于，还包括固定架，多个所述检测单元均固定在所述固定框架上。5.根据权利要求4所述的供气嘴检测装置，其特征在于，所述供气嘴固定座一体设置。6.根据权利要求4所述的供气嘴检测装置，其特征在于，所述供气嘴固定座与所述固定架铰接，且能够在竖直与水平方向之间进行转动。7.根据权利要求4所述的供气嘴检测装置，其特征在于，还包括固定板，所述检测管的管口固定于所述固定板上。8.根据权利要求7所述的供气嘴检测装置，其特征在于，所述固定板与所述固定架铰接，且能够在竖直与水平方向之间进行转动。9.根据权利要求2至8任一项所述的供气嘴检测装置，其特征在于，所述检测单元还包括调节阀，所述调节阀设置在所述供气流量计与所述供气管路之间。10.根据权利要求1至8任一项所述的供气嘴检测装置，其特征在于，所述供气嘴固定座上设置有与供气嘴的底部螺纹连接的螺纹通孔。
【专利摘要】本申请涉及平面显示领域，尤其涉及一种供气嘴检测装置，包括供气管路以及检测单元，检测单元包括供气流量计、供气嘴固定座、检测管以及检测流量计，供气嘴固定座用于固定供气嘴的底部，供气管路与供气流量计相连，供气流量计与供气嘴固定座相连，能够将来自供气管路的检测用气输送至供气嘴的底部，检测管的管口设置在与供气嘴的喷嘴相对的位置，检测管与检测流量计相连。本申请所提供的供气嘴检测装置通过将供气嘴的底部固定在供气嘴固定座上，之后分别通过供气流量计以及检测流量计检测供气嘴前后的检测用气的流量数值，便可准确的反映出供气嘴的通气状态以及通气程度，相较于通过人工采用气枪的检测方式，检测精度更高。
【IPC分类】G01D21/00
【公开号】CN205300626
【申请号】
【发明人】刘洋, 孙健, 胡贤夫, 陈策, 孙静, 蔡灿
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2016年1月22日