一种用于玻璃镀膜的弧线扫描机构的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本发明涉及磁控溅射玻璃镀膜设备，具体地说是一种用于玻璃镀膜的弧线扫描机构。
【背景技术】
[0002]由于现代科技发展的需求，真空镀膜技术得到了迅猛发展。薄膜技术可改变工件表面性能，提高工件的耐磨损、抗氧化、耐腐蚀等性能，延长工件使用寿命，具有很高的经济价值。其中，磁控溅射自问世后就获得了迅速的发展和广泛的应用，有力地冲击了其它镀膜方法的地位；但是，对于非平面、大面积的曲面异形玻璃结构，存在着成膜质量差的问题，其中均匀性差是主要的问题。
【发明内容】
[0003]为了解决现有异形(非平面、大面积的曲面)玻璃磁控溅射镀膜存在的均匀性差的问题，本发明的目的在于提供一种用于玻璃镀膜的弧线扫描机构。
[0004]本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
[0005]本发明包括水平动力输入组件、水平滚珠丝杠、水平丝母、水平支架、竖直动力输入组件、传动机构、竖直滚珠丝杠、竖直丝母及磁控靶连接座，其中水平动力输入组件的输出端与水平滚珠丝杠连接、驱动水平滚珠丝杠旋转，所述水平支架安装在与水平滚珠丝杠螺纹连接的水平丝母上，随该水平丝母沿所述水平滚珠丝杠水平往复移动；所述竖直丝母安装在水平支架上，所述竖直滚珠丝杠与竖直丝母螺纹连接，所述磁控靶连接座连接于该竖直滚珠丝杠的顶部，所述竖直动力输入组件安装在磁控靶连接座上，并通过所述传动机构驱动所述竖直滚珠丝杠旋转，进而实现竖直滚珠丝杠、磁控靶连接座及竖直动力输入组件共同沿竖直方向升降，且随所述水平支架水平往复移动；安装在所述磁控靶连接座上的磁控靶随磁控靶连接座移动。
[0006]其中:所述水平支架上连接有拖链，该拖链内穿有连接线缆；所述水平支架移动方向的两侧均设有相平行的导轨，该水平支架下表面的两侧均安装有滚轮，所述水平支架通过滚轮沿所述导轨水平往复移动；所述水平丝母固接于水平支架的下表面，并位于两侧滚轮之间；任一侧的所述导轨的内侧设有固定架，所述水平滚珠丝杠的两端分别与固接在该固定架两端的安装座转动连接，所述水平滚珠丝杠的任一端与所述水平动力输入组件的输出端相连；
[0007]所述竖直丝母固接在水平支架上，所述竖直滚珠丝杠可升降地与该竖直丝母螺纹连接；所述竖直动力输入组件的顶部固接于磁控靶连接座的下表面；所述传动机构为链轮链条机构，包括第一链轮、链条及第二链轮，该第一链轮连接于所述竖直动力输入组件的输出端，所述第二链轮连接于所述竖直滚珠丝杠上，并通过所述链条与第一链轮相连接；所述竖直滚珠丝杠的周围均布有多根导柱，各所述导柱的上端固接于所述磁控靶连接座的下表面、随磁控靶连接座共同升降，下端由所述水平支架上的导套穿过。
[0008]本发明的优点与积极效果为:
[0009]1.本发明引入水平和竖直运动，带动磁控靶在溅射的同时随异形玻璃表面形状进行二维运动，解决了现有曲面异形玻璃磁控溅射镀膜存在的均匀性差的问题。
[0010]2.本发明的水平支架与水平运动的组件之间设置了拖链，连接线缆固定在拖链中，保证运动动力输入和信号输入输出稳定可靠。
[0011]3.本发明的运动机构和动力机构均设置在真空室的内部，使设备的结构简单、紧凑，降低真空室的加工成本。
[0012]4.本发明采用滚珠丝杠与丝母传动，摩擦损失小、传动效率高、精度高，通过引入导轨，使磁控靶平稳运动，结构稳定可靠。
【附图说明】
[0013]图1为本发明的整体结构示意图；
[0014]其中:1为水平动力输入组件，2为水平滚珠丝杠，3为水平支架，4为导轨，5为竖直动力输入组件，6为链轮链条机构，7为竖直滚珠丝杠，8为磁控靶连接座，9为水平丝母，10为拖链，11为竖直丝母，12为安装座，13为固定架，14为滚轮，15为导柱，16为导套。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本发明作进一步详述。
[0016]本发明整体安装于真空室内底部，如图1所示，本发明包括水平动力输入组件1、水平滚珠丝杠2、水平丝母9、水平支架3、导轨4、竖直动力输入组件5、传动机构、竖直滚珠丝杠7、竖直丝母11、磁控靶连接座8及拖链10，其中真空室内底部固定有两条相平行的导轨4，任一导轨4的内侧设有固定架13，水平动力输入组件I固接在该固定架13上；水平滚珠丝杠2的两端分别与固接在固定架13两端的安装座12转动连接，水平滚珠丝杠2的任一端与水平动力输入组件I的输出端相连，由该水平动力输入组件I驱动旋转。
[0017]水平支架3为矩形，下表面移动方向的两侧各固接有两个滚轮14(矩形的四个角各设置一个)，水平支架3通过滚轮14沿导轨4水平往复移动。水平丝母9螺纹连接于水平滚珠丝杠2上，并固接于水平支架3的下表面、位于两侧滚轮14之间。水平动力输入组件I驱动水平滚珠丝杠2旋转，进而将水平丝母9与水平滚珠丝杠2之间的转动副变为水平支架3沿导轨4的水平移动副。水平支架3为包括磁控靶在内的所有竖直构件的安装固定装置，从而实现了磁控靶的水平运动。
[0018]水平支架3的中间固接有竖直丝母11，竖直滚珠丝杠7与竖直丝母11螺纹连接，磁控靶连接座8固接于该竖直滚珠丝杠7的顶部。竖直动力输入组件5的顶部固接于磁控靶连接座8的下表面，并通过传动机构与竖直滚珠丝杠7连接。本实施例的传动机构为链轮链条机构6，包括第一链轮、链条及第二链轮，该第一链轮连接于竖直动力输入组件5的输出端，第二链轮与竖直滚珠丝杠7键连接，并通过链条与第一链轮相连接。竖直动力输入组件5通过链轮链条机构6驱动竖直滚珠丝7旋转，因竖直丝母11固定在水平支架3上，故竖直滚珠丝杠7带动磁控靶连接座8及竖直动力输入组件5沿竖直方向共同升降。
[0019]竖直滚珠丝杠7的周围均布有多根导柱15 (本实施例为四根)，各导柱15的上端固接于磁控靶连接座8的下表面、随磁控靶连接座8共同升降，下端则由水平支架3上的导套16穿过，在竖直滚珠丝杠7升降的过程中起导向作用。磁控靶安装在磁控靶连接座8上，随磁控靶连接座8移动。
[0020]拖链10的一端连接于水平支架3的下表面，另一端连接于水平运动的组件上；水平运动的组件上的连接线缆穿设在拖链10内，避免互相缠绕，保证了运动动力输入和信号输入输出稳定可靠。
[0021]本发明的水平动力输入组件I及竖直动力输入组件5均为电动机。
[0022]本发明的工作原理为:
[0023]水平动力输入组件I和竖直动力输入组件5分别与真空室外的控制装置电连接，本发明的控制装置为现有技术。水平动力输入组件I驱动水平滚珠丝杠2旋转，通过水平丝母9带动水平支架3沿导轨4水平往复移动，形成磁控靶连接座8及磁控靶的水平运动；竖直动力输入组件5通过链轮链条机构6驱动竖直滚珠丝杠7旋转，形成竖直运动。两种运动的输入均由电动机完成，电动机由真空室外的控制装置控制，通过组合，形成与异形玻璃表面结构相对应的二维运动，保证磁控靶与玻璃之间的靶间距一直满足工艺要求。
【主权项】
1.一种用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，其特征在于:包括水平动力输入组件(I)、水平滚珠丝杠(2)、水平丝母(9)、水平支架(3)、竖直动力输入组件(5)、传动机构、竖直滚珠丝杠(7)、竖直丝母(11)及磁控靶连接座(8)，其中水平动力输入组件(I)的输出端与水平滚珠丝杠(2)连接、驱动水平滚珠丝杠(2)旋转，所述水平支架(3)安装在与水平滚珠丝杠(2)螺纹连接的水平丝母(9)上，随该水平丝母(9)沿所述水平滚珠丝杠(2)水平往复移动；所述竖直丝母(11)安装在水平支架(3)上，所述竖直滚珠丝杠(7)与竖直丝母(11)螺纹连接，所述磁控靶连接座(8)连接于该竖直滚珠丝杠(7)的顶部，所述竖直动力输入组件(5)安装在磁控靶连接座(8)上，并通过所述传动机构驱动所述竖直滚珠丝杠(7)旋转，进而实现竖直滚珠丝杠(7)、磁控靶连接座(8)及竖直动力输入组件(5)共同沿竖直方向升降，且随所述水平支架水平往复移动；安装在所述磁控靶连接座(8)上的磁控靶随磁控靶连接座⑶移动。2.按权利要求1所述用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，其特征在于:所述水平支架(3)上连接有拖链(10)，该拖链(10)内穿有连接线缆。3.按权利要求1或2所述用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，其特征在于:所述水平支架(3)移动方向的两侧均设有相平行的导轨(4)，该水平支架(3)下表面的两侧均安装有滚轮(14)，所述水平支架(3)通过滚轮(14)沿所述导轨(4)水平往复移动。4.按权利要求3所述用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，其特征在于:所述水平丝母(9)固接于水平支架(3)的下表面，并位于两侧滚轮(14)之间。5.按权利要求3所述用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，其特征在于:任一侧的所述导轨(4)的内侧设有固定架(13)，所述水平滚珠丝杠(2)的两端分别与固接在该固定架(13)两端的安装座(12)转动连接，所述水平滚珠丝杠(2)的任一端与所述水平动力输入组件(I)的输出端相连。6.按权利要求1或2所述用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，其特征在于:所述竖直丝母(11)固接在水平支架(3)上，所述竖直滚珠丝杠(7)可升降地与该竖直丝母(11)螺纹连接；所述竖直动力输入组件(5)的顶部固接于磁控靶连接座(8)的下表面。7.按权利要求6所述用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，其特征在于:所述传动机构为链轮链条机构￠)，包括第一链轮、链条及第二链轮，该第一链轮连接于所述竖直动力输入组件(5)的输出端，所述第二链轮连接于所述竖直滚珠丝杠(7)上，并通过所述链条与第一链轮相连接。8.按权利要求6所述用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，其特征在于:所述竖直滚珠丝杠(7)的周围均布有多根导柱(15)，各所述导柱(15)的上端固接于所述磁控靶连接座(8)的下表面、随磁控靶连接座⑶共同升降，下端由所述水平支架⑶上的导套(16)穿过。
【专利摘要】本发明涉及磁控溅射玻璃镀膜设备，具体地说是一种用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，水平动力输入组件的输出端与水平滚珠丝杠连接、驱动水平滚珠丝杠旋转，水平支架安装在与水平滚珠丝杠螺纹连接的水平丝母上，随水平丝母沿水平滚珠丝杠水平往复移动；竖直丝母安装在水平支架上，竖直滚珠丝杠与竖直丝母螺纹连接，磁控靶连接座连接于竖直滚珠丝杠的顶部，竖直动力输入组件安装在磁控靶连接座上，并通过传动机构驱动竖直滚珠丝杠旋转，进而实现竖直滚珠丝杠、磁控靶连接座及竖直动力输入组件共同沿竖直方向升降，且随水平支架水平往复移动。本发明引入水平和竖直运动，带动磁控靶在溅射的同时随异形玻璃表面形状进行二维运动，镀膜均匀性好。
【IPC分类】C23C14/35
【公开号】CN105648411
【申请号】
【发明人】王磊, 张亮, 贾笑囡, 刘兴, 赵富龙, 赵崇凌, 李士军, 洪克超
【申请人】中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2014年11月12日