微粒粒度分布图。图中三条曲线分布是未经过精选的抛光液、经过第一次水选和经过第二次水选的抛光液的粒度分布曲线图，由图可以看出，经过精选后，溶液中去除了粒径大于I微米的微粒，粒度分布更均匀。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图和实例对本发明作详细说明。
[0018]实施例1:
某型500目氧化铈配置的抛光液的精选。
[0019]1、步骤:
(1)称量200克的500目氧化铈抛光粉放入经过酒精和18ΜΩ高纯去离子水清洗的玻璃锥形瓶容器中，加入2500克的高纯去离子水，并摇晃预先混合；
(2)抛光粉水溶液中通入高纯压缩氮气6分钟，使抛光粉水溶液充分混合，压缩氮气的纯度为99.999%，通气的压强为0.6bar,通气流量为50升/分钟；
(3)将充分混合的抛光液静置4分钟，可以看到氧化铈抛光液中的抛光粉颗粒在重力、浮力和液体的阻力的共同作用下初步出现分层现象；
(4)利用虹吸管将容器内上层1500ml左右溶液吸出并存放到新的洁净锥形瓶容器中，可以得到粒度分布较均匀的抛光液溶液；
(5)往吸出的溶液中加入等量去离子水，得到3000克的混合液；
(6)在加入水的溶液中第第二次通入高纯压缩氮气6分钟，使抛光粉水溶液充分混合，压缩氮气的纯度为99.999%，通气的压强为0.6bar，通气流量为50升/分钟；
(7)将第二次通气混合后的溶液静置4分钟；
(8)利用虹吸管(虹吸方法)将容器内上层1200克的溶液吸出并存放到新的洁净容器中；
(9)得到微粒粒径分布均匀的抛光液样品。
[0020]2、抛光液筛选效果:
I)参阅图2，某两种500目氧化铈加入去离子水配置的抛光液的粒度分布，可见抛光粉的水溶液粒度分布不均匀，测试仪器为粒度分析仪。两种样品A、B的体积平均粒径都小于0.5 μ m，但是粒度分布不均匀，明显的分为两个区域，其中粒度直径为0.105?0.316 μ m区域的微粒占了绝大多数，达到90%以上。样品A中直径为0.105?0.316 μ m区域的微粒更是占了 94.14%，其最大微粒直径也只有5.012 μ m。样品B的微粒平均体积粒径为0.446 μ m，粒度为0.105 μ m?0.316 μ m的区间中的微粒占90.40%，1.096 μ m?11.482 μ m的微粒占9.60%，其最大粒度达到17.378 μ m，相较于样品A，其体积平均粒径大，粒度分布更不均匀。
[0021]2)参阅图3，Unicer牌号的某型500目氧化铈加入去离子水配置的抛光液经过本发明的方法筛选后的粒度分布。该氧化铈抛光液经过第一次水选后，抛光液的体积平均粒径从0.439 μπι下降到0.239 μm，经过两次水选后抛光液的体积平均粒径更是只有0.186 μ m，其最大颗粒直径也从17.378 μπι下降到0.382 μ m，颗粒分布的均匀性明显得到改善。
[0022]上述对实施例的描述是为说明本发明的技术思想和特点，目的在于该技术领域的普通技术人员能理解和应用本发明。熟悉本领域技术的人员显然可以容易地对这些实施例做出各种修改，并把在此说明的一般原理应用到其他实施例中而不必经过创造性的劳动。因此，本发明不限于这里的实施例，本领域技术人员根据本发明的揭示，对于本发明做出的改进和修改都涵盖在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种利用高纯气体混合搅拌的微米亚微米抛光液精选方法，其特征在于所述适用于古典法的超光滑表面抛光用微米亚微米级氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的筛选，具体步骤如下: (1)称量一定量的抛光粉放入洁净容器中，加入适量的18ΜΩ去离子水，并混合得到抛光粉水溶液，18ΜΩ去离子水与抛光粉的重量比大于10:1 ； (2)向步骤(I)得到的抛光粉水溶液中通入洁净气体5?8分钟，使抛光粉水溶液充分混合，通入的洁净气体压强大于0.5bar，通入洁净气体流量大于30升/分钟； (3)将步骤(2)得到的充分混合的抛光粉水溶液静置3?5分钟，可看到抛光粉水溶液中的抛光粉颗粒在重力、浮力和液体的阻力的共同作用下初步出现分层现象； (4)采用虹吸方法利用虹吸管将洁净容器内上层1/2?2/3体积的溶液吸出，并存放到新的洁净容器中，可得到粒度分布较均匀的抛光粉溶液； (5)往步骤(4)得到的吸出的抛光粉溶液中加入18ΜΩ去离子水； (6)在加入18ΜΩ去离子水的溶液中第二次通入洁净气体充分混合5?8分钟，通入的气体压强大于0.5bar，通入气体流量大于30升/分钟； (7)将第二次通气混合后的溶液静置3?5分钟； (8)采用虹吸方法利用虹吸管将容器内上层1/3?1/2体积的溶液吸出并存放到新的洁净容器中； (9)得到微粒粒径分布均匀的抛光液样品。2.根据权利要求1所述的超精密抛光用颗粒度为微米亚微米的抛光液的筛选方法，其特征在于步骤(I)和步骤(4)中所述洁净容器均为透明玻璃材质的广口瓶或锥形瓶，预先用酒精和去离子水进行清洗，以去除容器内的污染物和颗粒。3.根据权利要求1所述的利用高纯气体混合搅拌的抛光液筛选方法，其特征在于步骤(2)和步骤(6)中所述洁净气体为纯度大于99.99%的高纯氮气；或经过99.99+%除油，残油含量不能高于0.003ppm，颗粒过滤精度优于0.01微米的压缩空气。
【专利摘要】本发明公开了一种利用高纯气体混合搅拌的微米亚微米抛光液精选方法，特别适用于超光滑表面古典法抛光用的微米亚微米级氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的筛选，具体步骤为：将抛光粉和高纯去离子水放入洁净容器中，通入洁净气体混合5～8分钟后静置3～5分钟，抛光粉颗粒在重力、浮力和液体阻力的共同作用下出现分层现象，利用虹吸管将上层1/2～2/3体积的溶液吸出；在吸出的溶液中加入等量水后再通入气体混合5～8分钟后静置3～5分钟，利用虹吸管吸出上层1/3～1/2体积的溶液，得到微粒粒径分布均匀的抛光液。该方法筛选的溶液粒径更小，粒度分布更均匀，用于超光滑表面抛光，不容易产生划痕，是超光滑表面抛光工艺中的关键技术。
【IPC分类】C09G1/02
【公开号】CN105176406
【申请号】
【发明人】王占山, 沈正祥, 王晓强, 徐旭东, 马彬
【申请人】同济大学
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年10月9日