石英炉管压力检测接口的利记博彩app
【专利摘要】本实用新型公开了一种石英炉管压力检测接口，涉及扩散炉压力自动平衡装置【技术领域】。本实用新型包括压力检测接口本体，所述压力检测接口本体包括与压差传感器相连的压差连接套管和与石英炉管压力检测管口相连的压力检测连接头，在所述压力检测连接头的内部焊接有与压差连接套管中心线相重合的压力检测接口套管，压差连接套管和压力检测接口套管形成密封的管路通道，所述压力检测接口套管间隙套接在压力检测接口的内壁。本实用新型避免了石英炉管工作时，偏磷酸堆积在压力检测管口造成其被腐蚀损坏的问题，降低了石英炉管故障率和维修保养更换的频次，延长了石英炉管的使用寿命，降低了生产成本。
【专利说明】石英炉管压力检测接口
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及扩散炉的压力自动平衡装置【技术领域】。
【背景技术】
[0002] 扩散炉是一种半导体工艺设备，主要用于掺杂工艺，特别在晶体硅太阳能电池生 产中，是唯一的掺杂设备，是制造工艺中对PN结的生成、转换效率的提高起决定性的关键 设备。
[0003] 在晶体硅太阳能电池制备过程的，扩散工艺是指通过高温掺杂的方式在基体硅片 表面形成一层具有一定结深和密度梯度的PN结，要求反应管内温场稳定、气场稳定，其中 的石英炉管是用于扩散工艺过程中，存放硅片的工具，因此对石英炉管的压力检测非常关 键。在多晶硅太阳能电池的生产中，扩散工序中使用的石英炉管的压力检测是通过压力检 测接口和气管将石英炉管检测管口同设备上的压差传感器连接起来。由于现有的压力检测 接口的口径大，而连接压差传感器接口的口径小，因此在使用的过程中，偏磷酸很容易堆积 在石英炉管压力检测管口处，使得压力检测管被腐蚀损坏的频率非常高，增加了车间购买 和维修石英炉管的费用，使车间维修成本增加。 实用新型内容
[0004] 本实用新型所要解决的技术问题是提供一种石英炉管压力检测接口，避免了石英 炉管工作时，偏磷酸堆积在压力检测管口造成其被腐蚀损坏的问题，降低了石英炉管故障 率和维修保养更换的频次，延长了石英炉管的使用寿命，降低了生产成本。
[0005] 为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种石英炉管压力检测 接口，包括压力检测接口本体，所述压力检测接口本体包括与压差传感器相连的压差连接 套管和与石英炉管压力检测管口相连的压力检测连接头，在所述压力检测连接头的内部焊 接有与压差连接套管中心线相重合的压力检测接口套管，压差连接套管和压力检测接口套 管形成密封的管路通道，所述压力检测接口套管间隙套接在压力检测接口的内壁。
[0006] 所述压力检测接口套管的长度不大于压力检测接口的长度。
[0007] 所述压力检测接口套管的内径为10?20mm，外径为15?23 mm。
[0008] 所述压力检测接口套管为石英管。
[0009] 采用上述技术方案所产生的有益效果在于：该压力检测接口套管套接在石英炉管 的压力检测管的内壁，对石英炉管起到保护的作用，避免了石英炉管工作时，偏磷酸堆积在 压力检测管口造成其被腐蚀损坏的问题；进而减少了由于石英炉管损坏造成的故障停机维 修频次，延长了石英炉管的使用寿命，也相应的提高了生产效率；同时也降低了维修保养费 用和更换石英炉管的费用，大大降低了生产成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0010] 图1是本实用新型的结构示意图；
[0011] 图2是石英炉管的结构示意图；
[0012] 图中：1、压差连接套管；2、压力检测连接头；3、压力检测接口套管；4、压力检测接 口；5、石英炉管。
【具体实施方式】
[0013] 下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0014] 在多晶硅太阳能电池的生产中，扩散工序使用的石英炉管的压力检测是通过压力 检测接口和气管将扩散炉管检测管口同设备上的压差传感器连接起来。由于现有的压力检 测接口的口径大，而连接压差传感器的口径小，因此在使用过程中，偏磷酸易堆积在石英炉 管压力检测管口处，使得压力检测管被腐蚀断的频率非常高，增加了车间购买和维修石英 炉管的费用，大大增加车间生产成本。
[0015] 本适应新型是对现有压力检测接口的改进，具体是在所述压力检测连接头2的内 部焊接有与压差连接套管1中心线相重合的压力检测接口套管3,压差连接套管1和压力 检测接口套管3形成密封的管路通道，所述压力检测接口套管3间隙套接在压力检测接口 4的内壁，对压力检测接口起到保护的作用；所述压力检测接口套管3的长度不大于压力检 测接口 4的长度；所述压力检测接口套管3的内径为10?20mm，外径为15?23 mm，优选 内径15mm，外径20mm，并保持压力检测接口套管3的壁厚为2. 5mm ;所述压力检测接口套管 3为采用与压力检测接口本体材料相同的石英管材，耐高温、耐腐蚀、热稳定性能好。
[0016] 本实用新型压力检测接口套管3套接在石英炉管5压力检测接口 4的内壁，对石 英炉管5的压力检测管口 4起到保护的作用，避免了压力检测接口 4的腐蚀，减少了石英炉 管5损坏更换的频次，延长了石英炉管5的使用寿命，降低了生产成本。
[0017] 注意事项：由于压力检测接口套管3和压力检测接口 4相贴，必须定期维护，才能 避免两个石英器件因腐蚀无法分开；在安装和拆下时，要小心操作，避免其损坏。压力检测 接口套管3的长度不可超过石英炉管压力检测接口 4的总长度，若伸入到炉管内很多，使得 石英炉管压力检测接口易断。
【权利要求】
1. 一种石英炉管压力检测接口，包括压力检测接口本体，所述压力检测接口本体包括 与压差传感器相连的压差连接套管（1)和与石英炉管（5)压力检测接口（4)相连的压力检 测连接头（2)，其特征在于：在所述压力检测连接头（2)的内部焊接有与压差连接套管（1) 中心线相重合的压力检测接口套管（3)，压差连接套管（1)和压力检测接口套管（3)形成密 封的管路通道，所述压力检测接口套管（3)间隙套接在压力检测接口（4)的内壁。
2. 根据权利要求1所述的石英炉管压力检测接口，其特征在于：所述压力检测接口套 管（3)的长度不大于压力检测接口（4)的长度。
3. 根据权利要求2所述的石英炉管压力检测接口，其特征在于：所述压力检测接口套 管（3)的内径为10?20mm，夕卜径为15?23 mm。
4. 根据权利要求3所述的石英炉管压力检测接口，其特征在于：所述压力检测接口套 管（3)为石英管。
【文档编号】C30B29/06GK203999919SQ201420349403
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年6月27日 优先权日:2014年6月27日
【发明者】侯新倾, 句广伟 申请人:衡水英利新能源有限公司