一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜及二氧化钛三维光子晶体的方法
【专利摘要】一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜及二氧化钛三维光子晶体的方法，本发明涉及一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜及二氧化钛三维光子晶体的方法。方法：配制四价钛盐浊液，向浊液中加入羟基多元酸和硝酸钾生成无色透明溶液，向无色透明溶液中加入过氧化氢得到红色透明溶液；采用三电极进行电沉积，得到黑色有金属光泽的薄膜；将薄膜转入马弗炉中进行焙烧，得到二氧化钛薄膜。垂直沉积制备PS胶体晶体，采用三电极进行电沉积，得到黑色TiO2/PS三维光子晶体；三维光子晶体自然晾干，转入马弗炉中焙烧，保温机制为500℃保温两小时，得到二氧化钛三维光子晶体。本发明用于制备二氧化钛薄膜及二氧化钛三维光子晶体。
【专利说明】一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜及二氧化钛三维光子晶体的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜及二氧化钛三维光子晶体的方法。
【背景技术】
[0002]二氧化钛材料是一种重要的氧化物陶瓷，也是一种非常重要的半导体材料和光学材料。由于其独特的光学、电学及化学性质，长期以来被广泛的应用在光催化、气体传感器、水和空气的净化、电致变色、太阳能电池等领域。
[0003]常见的二氧化钛薄膜的制备方法主要有溶胶凝胶法、化学气相沉积法、激光脉冲沉积法(PLD法)、阳极氧化法以及电沉积法等。众多的方法之中，电沉积方法以其沉积厚度可控、能在复杂的表面沉积出均一的薄膜、设备价格低廉等优点而广受关注。电沉积方法可以分为阳极沉积、阴极沉积和动电位沉积。阴极电沉积法最重要的应用之一是被用来制备过渡金属氧化物，如氢氧化钴(Co(OH)2)、氧化锌(ZnO)、氢氧化镍(Ni(OH)2)等。阴极电沉积法制备二氧化钛薄膜，常用的电沉积体系为四氯化钛(TiC14)和过氧化氢(H2O2)或硫酸氧钛(TiOSO4)、过氧化氢(H2O2)和硝酸钾(KNO3)。这两种电沉积体系在配制溶液的过程中，PH的调节都非常的繁琐，且在沉积的过程中随着0H_的消耗，溶液的PH也不能维持在一个稳定的数值，需要定期的调节pH。这主要是因为溶液中H2O2和Ti4+形成的螯合物并不十分稳定，调节PH到一定的值时才能使之稳定。此外，采用上述方法制备二氧化钛薄膜时，沉积的速率较小，若要获 得厚度为微米级的薄膜需要沉积30分钟以上，使得采用电沉积方法制备二氧化钛薄膜的效率极低。
【发明内容】
[0004]本发明是要解决现有制备二氧化钛薄膜及三维光子晶体的方法存在调节pH过程繁琐且沉积速率小的问题，而提供一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜及二氧化钛三维光子晶体的方法。
[0005]一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜的方法是按以下步骤完成的:
[0006]一、将四价钛盐加入到去离子水中，在转速为1200~1400r/min的条件下进行磁力搅拌直至得到白色浊液；所述白色浊液中Ti4+的浓度为0.01~0.05mol/L ；
[0007]二、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤一得到的白色浊液中先加入羟基多元酸再加入硝酸钾，持续搅拌直至得到无色透明溶液；
[0008]三、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤二得到的无色透明溶液中加入过氧化氢，当无色透明溶液由黄色透明直至变为红色透明后，得到红色透明溶液；
[0009]四、将步骤三得到的红色透明溶液置于冰水浴中20min~60min,然后在沉积温度为O~35°C、沉积电压为-2V~-1V和沉积时间为IOOs~2000s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积，得到黑色致密且有金属光泽的薄膜；所述三电极体系的工作电极为ITO或镍片；
[0010]五、将步骤四得到的黑色致密且有金属光泽的薄膜在室温条件下自然晾干后，转移至马弗炉中焙烧，在温度为450°C~800°C的条件下保温Ih~4h，得到白色均一的薄膜，即为二氧化钛薄膜；
[0011]步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述羟基多元酸的摩尔比为1: (0.5~5);
[0012]步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述硝酸钾的摩尔比为1: (4~6);
[0013]步骤一中所述四价钛盐与步骤三中所述过氧化氢的摩尔比为1: (0.75~5)。
[0014]一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛三维光子晶体的方法是按以下步骤完成的:
[0015]一、将四价钛盐加入到去离子水中，在转速为1200~1400r/min的条件下进行磁力搅拌直至得到白色浊液；所述白色浊液中Ti4+的浓度为0.01~0.05mol/L ；
[0016]二、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤一得到的白色浊液中先加入羟基多元酸再加入硝酸钾，持续搅拌直至得到无色透明溶液；
[0017]三、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤二得到的无色透明溶液中加入过氧化氢，当无色透明溶液由黄色透明直至变为红色透明后，得到红色透明溶液；
[0018]四、将步骤三得到的红色透明溶液置于冰水浴中20min~60min,然后在沉积温度为O~35°C、沉积电压为-2V~-1V和沉积时间为IOOs~2000s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积，得到黑色的Ti02/PS三维光子晶体；所述三电极体系的工作电极为聚苯乙烯胶体晶体；
[0019]五、将步骤四得到的黑色的Ti02/PS三维光子晶体在室温条件下自然晾干后，转移至马弗炉中焙烧，在温度为450°C~800°C的条件下保温Ih~4h，得到白色致密且有彩色光泽的三维光子晶体，即为二氧化钛三维光子晶体；
[0020]步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述羟基多元酸的摩尔比为1: (0.5~5);
[0021]步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述硝酸钾的摩尔比为1: (4~6);
[0022]步骤一中所述四价钛盐与步骤三中所述过氧化氢的摩尔比为1: (0.75~5)。
[0023]本发明有益效果:
[0024]本发明采用螯合作用更强的羟基多元酸辅助进行电沉积溶液的配制，由于羟基多元酸与四价钛离子的螯合作用更强，使得形成的螯合物更加稳定，故受PH的影响减小，使得在配制溶液时及电沉积的过程中不需要再频繁的调节pH;同时由于羟基和羧基之间能够形成内酯键，使得溶液中形成更大的离子团，故能有效的加快沉积速率，制备的二氧化钛薄膜更加均一。此外，这种大的离子团可以破坏体系中晶体的定向生长，避免在沉积的过程中形成较大的晶粒，使得得到的薄膜更加的均匀。
【专利附图】
【附图说明】
[0025]图1为实施例一制得的二氧化 钛薄膜的X射线衍射图谱；其中Λ代表金红石相TiO2, □代表锐钛矿相TiO2,〇代表1TO ；
[0026]图2为实施例二制得的二氧化钛薄膜的X射线衍射图谱；其中□代表NiO，〇代表Ni，▲代表金红石相TiO2, ★代表锐钛矿相TiO2 ；
[0027]图3为实施例三制得的二氧化钛三维光子晶体的扫描电镜图。【具体实施方式】
[0028]【具体实施方式】一:本实施方式一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜的方法是按以下步骤完成的:
[0029]一、将四价钛盐加入到去离子水中，在转速为1200~1400r/min的条件下进行磁力搅拌直至得到白色浊液；所述白色浊液中Ti4+的浓度为0.01~0.05mol/L ；
[0030]二、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤一得到的白色浊液中先加入羟基多元酸再加入硝酸钾，持续搅拌直至得到无色透明溶液；
[0031]三、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤二得到的无色透明溶液中加入过氧化氢，当无色透明溶液由黄色透明直至变为红色透明后，得到红色透明溶液；
[0032]四、将步骤三得到的红色透明溶液置于冰水浴中20min~60min,然后在沉积温度为O~35°C、沉积电压为-2V~-1V和沉积时间为IOOs~2000s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积，得到黑色致密且有金属光泽的薄膜；所述三电极体系的工作电极为ITO或镍片；
[0033]五、将步骤四得到的黑色致密且有金属光泽的薄膜在室温条件下自然晾干后，转移至马弗炉中焙烧，在温度为450°C~800°C的条件下保温Ih~4h，得到白色均一的薄膜，即为二氧化钛薄膜。
[0034]本实施方式步骤四中所述工作电极在电沉积之前进行预处理，处理方法为:①当工作电极为ITO时，将ITO先采用洗洁精清洗2~4次，再采用丙酮清洗2~4次，然后采用甲醇清洗2~4次，最后采 用超纯水超声清洗2~4次，置于烘箱中烘干；②当工作电极为镍片时，将镍片先采用洗洁精清洗2~4次，再采用丙酮清洗2~4次，然后采用甲醇清洗2~4次，最后采用超纯水超声清洗2~4次，放入到30%的双氧水中浸泡3h后，置于烘箱中烘干。
[0035]步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述羟基多元酸的摩尔比为1: (0.5~5);
[0036]步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述硝酸钾的摩尔比为1: (4~6);
[0037]步骤一中所述四价钛盐与步骤三中所述过氧化氢的摩尔比为1: (0.75~5)。
[0038]本实施方式步骤三所述过氧化氢为市售的浓度为30%的过氧化氢。
[0039]本实施方式采用螯合作用更强的羟基多元酸辅助进行电沉积溶液的配制，由于羟基多元酸与四价钛离子的螯合作用更强，使得形成的螯合物更加稳定，故受PH的影响减小，使得在配制溶液时及电沉积的过程中不需要再频繁的调节pH;同时由于羟基和羧基之间能够形成内酯键，使得溶液中形成更大的离子团，故能有效的加快沉积速率，制备的二氧化钛薄膜更加均一。此外，这种大的离子团可以破坏体系中晶体的定向生长，避免在沉积的过程中形成较大的晶粒，使得得到的薄膜更加的均匀。
[0040]【具体实施方式】二:本实施方式与【具体实施方式】一不同的是:步骤一中所述四价钛盐为硫酸氧钛。其他与【具体实施方式】一相同。
[0041]【具体实施方式】三:本实施方式与【具体实施方式】一或二不同的是:步骤一中所述白色浊液中Ti4+的浓度为0.02mol/L。其他与【具体实施方式】一或二相同。
[0042]【具体实施方式】四:本实施方式与【具体实施方式】一至三不同的是:步骤二中所述羟基多兀酸为柠檬酸。其他与【具体实施方式】一至三相同。[0043]【具体实施方式】五:本实施方式与【具体实施方式】一至四之一不同的是:步骤四中在沉积温度为30°C、沉积电压为-1.3V和沉积时间为200s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积。其他与【具体实施方式】一至四之一相同。
[0044]【具体实施方式】六:本实施方式一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛三维光子晶体的方法是按以下步骤完成的:
[0045]一、将四价钛盐加入到去离子水中，在转速为1200~1400r/min的条件下进行磁力搅拌直至得到白色浊液；所述白色浊液中Ti4+的浓度为0.01~0.05mol/L ；
[0046]二、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤一得到的白色浊液中先加入羟基多元酸再加入硝酸钾，持续搅拌直至得到无色透明溶液；
[0047]三、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤二得到的无色透明溶液中加入过氧化氢，当无色透明溶液由黄色透明直至变为红色透明后，得到红色透明溶液；
[0048]四、将步骤三得到的红色透明溶液置于冰水浴中20min~60min,然后在沉积温度为O~35°C、沉积电压为-2V~-1V和沉积时间为IOOs~2000s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积，得到黑色的Ti02/PS三维光子晶体；所述三电极体系的工作电极为聚苯乙烯胶体晶体；
[0049]五、将步骤四得 到的黑色的Ti02/PS三维光子晶体在室温条件下自然晾干后，转移至马弗炉中焙烧，在温度为450°C~800°C的条件下保温Ih~4h，得到白色致密且有彩色光泽的三维光子晶体，即为二氧化钛三维光子晶体；
[0050]步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述羟基多元酸的摩尔比为1: (0.5~5);
[0051]步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述硝酸钾的摩尔比为1: (4~6);
[0052]步骤一中所述四价钛盐与步骤三中所述过氧化氢的摩尔比为1: (0.75~5)。
[0053]本实施方式步骤四中所述的聚苯乙烯胶体晶体是采用垂直沉积法制备而成，且置于温度为80°C的环境下保温2h。
[0054]【具体实施方式】七:本实施方式与【具体实施方式】一至六之一不同的是:步骤一中所述四价钛盐为硫酸氧钛。其他与【具体实施方式】一至六之一相同。
[0055]【具体实施方式】八:本实施方式与【具体实施方式】一至七之一不同的是:步骤一中所述白色浊液中Ti4+的浓度为0.02mol/L。其他与【具体实施方式】一至七之一相同。
[0056]【具体实施方式】九:本实施方式与【具体实施方式】一至八之一不同的是:步骤二中所述羟基多兀酸为柠檬酸。其他与【具体实施方式】一至八之一相同。
[0057]【具体实施方式】十:本实施方式与【具体实施方式】一至九之一不同的是:步骤四中在沉积温度为30°C、沉积电压为-1.3V和沉积时间为200s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积。其他与【具体实施方式】一至九之一相同。
[0058]采用下述实施例验证本发明效果:
[0059]实施例一:一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜的方法是按以下步骤完成的:
[0060]一、将0.392g四价钛盐加入到IOOmL去离子水中，在转速为1300r/min的条件下进行磁力搅拌直至得到白色浊液；
[0061]二、在转速为1300r/min的搅拌条件下向步骤一得到的白色浊液中先加入0.42g柠檬酸再加入1.0lg硝酸钾，持续搅拌直至得到无色透明溶液；[0062]三、在转速为1300r/min的搅拌条件下向步骤二得到的无色透明溶液中加入0.17mL过氧化氢，当无色透明溶液由黄色透明直至变为红色透明后，得到红色透明溶液；
[0063]四、将步骤三得到的红色透明溶液置于冰水浴中30min，然后在沉积温度为30°C、沉积电压为-1.3V和沉积时间为500s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积，得到黑色致密且有金属光泽的薄膜；所述三电极体系的工作电极为ITO ；
[0064]五、将步骤四得到的黑色致密且有金属光泽的薄膜在室温条件下自然晾干后，转移至马弗炉中焙烧，在温度为500°C的条件下保温2h，得到白色均一的薄膜，即为二氧化钛薄膜。
[0065]本实施方式步骤四中所述工作电极在电沉积之前进行预处理，处理方法为:当工作电极为ITO时，将ITO先采用洗洁 精清洗3次，再采用丙酮清洗3次，然后采用甲醇清洗3次，最后采用超纯水超声清洗3次，置于烘箱中烘干。
[0066]图1为实施例一制得的二氧化钛薄膜的X射线衍射图谱；其中Λ代表金红石相TiO2，□代表锐钛矿相TiO2,〇代表1TO ;由图1可以看出实施例一中得到了同时含有金红石相和锐钛矿相的二氧化钛薄膜。
[0067]实施例二:一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜的方法是按以下步骤完成的:
[0068]一、将0.392g四价钛盐加入到IOOmL去离子水中，在转速为1300r/min的条件下进行磁力搅拌直至得到白色浊液；
[0069]二、在转速为1300r/min的搅拌条件下向步骤一得到的白色浊液中先加入0.84g柠檬酸再加入1.0lg硝酸钾，持续搅拌直至得到无色透明溶液；
[0070]三、在转速为1300r/min的搅拌条件下向步骤二得到的无色透明溶液中加入
0.35mL过氧化氢，当无色透明溶液由黄色透明直至变为红色透明后，得到红色透明溶液；
[0071]四、将步骤三得到的红色透明溶液置于冰水浴中30min，然后在沉积温度为30°C、沉积电压为-1.3V和沉积时间为500s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积，得到黑色致密且有金属光泽的薄膜；所述三电极体系的工作电极为镍片;
[0072]五、将步骤四得到的黑色致密且有金属光泽的薄膜在室温条件下自然晾干后，转移至马弗炉中焙烧，在温度为700°C的条件下保温2h，得到白色均一的薄膜，即为二氧化钛薄膜。
[0073]本实施方式步骤四中所述工作电极在电沉积之前进行预处理，处理方法为:当工作电极为镍片时，将镍片先采用洗洁精清洗3次，再采用丙酮清洗3次，然后采用甲醇清洗3次，最后采用超纯水超声清洗3次，放入到30%的双氧水中浸泡3h后，置于烘箱中烘干。
[0074]图2为实施例二制得的二氧化钛薄膜的X射线衍射图谱；其中□代表NiO，〇代表Ni，▲代表金红石相TiO2，★代表锐钛矿相TiO2 ;由图2可以看出实施例二中得到了同时含有金红石相和锐钛矿相的二氧化钛薄膜。
[0075]实施例三:一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛三维光子晶体的方法是按以下步骤完成的:
[0076]一、将0.392g四价钛盐加入到IOOmL去离子水中，在转速为1300r/min的条件下进行磁力搅拌直至得到白色浊液；[0077]二、在转速为1300r/min的搅拌条件下向步骤一得到的白色浊液中先加入0.42g柠檬酸再加入1.0lg硝酸钾，持续搅拌直至得到无色透明溶液；
[0078]三、在转速为1300r/min的搅拌条件下向步骤二得到的无色透明溶液中加入
0.17mL过氧化氢，当无色透明溶液由黄色透明直至变为红色透明后，得到红色透明溶液；
[0079]四、将步骤三得到的红色透明溶液置于冰水浴中30min，然后在沉积温度为30°C、沉积电压为-1.3V和沉积时间为500s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积，得到黑色的Ti02/PS三维光子晶体；所述三电极体系的工作电极为聚苯乙烯胶体晶体；
[0080]五、将步骤四得到的黑色的Ti02/PS三维光子晶体在室温条件下自然晾干后，转移至马弗炉中焙烧，在温度为500°C的条件下保温2h，得到白色致密且有彩色光泽的三维光子晶体，即为二氧化钛三维光子晶体；
[0081]本实施方式步骤四中所述的聚苯乙烯胶体晶体是采用垂直沉积法制备而成，且置于温度为80°C的环境下保温2h。
[0082]图3为实施例三制得的二氧化钛三维光子晶体的扫描电镜图，由图3可以看出，实施例三中通过本发明的方法得到了二氧化钛三维光子晶体，且得到的三维光子晶体结构完整，连续性 较好。
【权利要求】
1.一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜的方法，其特征在于羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜的方法是按以下步骤完成的: 一、将四价钛盐加入到去离子水中，在转速为1200~1400r/min的条件下进行磁力搅拌直至得到白色浊液；所述白色浊液中Ti4+的浓度为0.01~0.05mol/L ； 二、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤一得到的白色浊液中先加入羟基多元酸再加入硝酸钾，持续搅拌直至得到无色透明溶液； 三、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤二得到的无色透明溶液中加入过氧化氢，当无色透明溶液由黄色透明直至变为红色透明后，得到红色透明溶液； 四、将步骤三得到的红色透明溶液置于冰水浴中20min~60min，然后在沉积温度为O~35°C、沉积电压为-2V~-1V和沉积时间为IOOs~2000s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积，得到黑色致密且有金属光泽的薄膜；所述三电极体系的工作电极为ITO或镍片； 五、将步骤四得到的黑色致密且有金属光泽的薄膜在室温条件下自然晾干后，转移至马弗炉中焙烧，在温度为450°C~800°C的条件下保温Ih~4h，得到白色均一的薄膜，即为二氧化钛薄膜； 步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述羟基多元酸的摩尔比为1: (0.5~5); 步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述硝酸钾的摩尔比为1: (4~6); 步骤一中所述四价钛盐与步骤三中所述过氧化氢的摩尔比为1: (0.75~5)。
2.根据权利要求1所述的一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜的方法，其特征在于步骤一中所述四价钛盐为硫酸氧钛。
3.根据权利要求1所述的一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜的方法，其特征在于步骤一中所述白色浊液中Ti4+的浓度为0.02mol/L。
4.根据权利要求1所述的一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜的方法，其特征在于步骤二中所述羟基多元酸为柠檬酸。
5.根据权利要求1所述的一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛薄膜的方法，其特征在于步骤四中在沉积温度为30°C、沉积电压为-1.3V和沉积时间为200s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积。
6.一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛三维光子晶体的方法，其特征在于羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛三维光子晶体的方法是按以下步骤完成的: 一、将四价钛盐加入到去离子水中，在转速为1200~1400r/min的条件下进行磁力搅拌直至得到白色浊液；所述白色浊液中Ti4+的浓度为0.01~0.05mol/L ； 二、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤一得到的白色浊液中先加入羟基多元酸再加入硝酸钾，持续搅拌直至得到无色透明溶液； 三 、在转速为1200~1400r/min的搅拌条件下向步骤二得到的无色透明溶液中加入过氧化氢，当无色透明溶液由黄色透明直至变为红色透明后，得到红色透明溶液； 四、将步骤三得到的红色透明溶液置于冰水浴中20min~60min，然后在沉积温度为O~35°C、沉积电压为-2V~-1V和沉积时间为IOOs~2000s的条件下，采用三电极体系对步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积，得到黑色的Ti02/PS三维光子晶体；所述三电极体系的工作电极为聚苯乙烯胶体晶体；五、将步骤四得到的黑色的Ti02/PS三维光子晶体在室温条件下自然晾干后，转移至马弗炉中焙烧，在温度为450°c~800°C的条件下保温Ih~4h，得到白色致密且有彩色光泽的三维光子晶体，即为二氧化钛三维光子晶体； 步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述羟基多元酸的摩尔比为1: (0.5~5); 步骤一中所述四价钛盐与步骤二中所述硝酸钾的摩尔比为1: (4~6); 步骤一中所述四价钛盐与步骤三中所述过氧化氢的摩尔比为1: (0.75~5)。
7.根据权利要求6所述的一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛三维光子晶体的方法，其特征在于步骤一中所述四价钛盐为硫酸氧钛。
8.根据权利要求6所述的一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛三维光子晶体的方法，其特征在于步骤一中所述白色浊液中Ti4+的浓度为0.02mol/L。
9.根据权利要求6所述的一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛三维光子晶体的方法，其特征在于步骤二中所述羟基多元酸为柠檬酸。
10.根据权利要求6所述的一种羟基多元酸辅助电沉积制备二氧化钛三维光子晶体的方法，其特征在于步骤四中在沉积温度为30°C、沉积电压为-1.3V和沉积时间为200s的条件下，采用三电极体系对 步骤三得到的红色透明溶液进行电沉积。
【文档编号】C30B29/16GK104005069SQ201410255702
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年6月10日 优先权日:2014年6月10日
【发明者】李垚, 吕瑞臻, 赵九蓬 申请人:哈尔滨工业大学