准单晶铸锭炉的下加热器升降机构的利记博彩app
【专利摘要】本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉的下加热器升降机构，其特征在于：包括下发热体、固定件、电极立柱、固定板、垫块、托板、升降装置、传动软轴和电机；所述下发热体通过固定件安装在保温体内部的坩埚平台底面，下发热体安装有垂直设置的电极立柱，电极立柱向下伸出保温体及炉体后安装在固定板上，固定板通过绝缘垫板与托板连接；炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接；托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。本实用新型结构合理，使下发热体在铸锭炉保温体内可以上下移动，满足了准单晶硅铸锭生产的工艺要求。
【专利说明】准单晶铸锭炉的下加热器升降机构
【技术领域】
[0001]本实用新型属于准单晶铸锭炉【技术领域】，特别涉及铸锭炉中下加热器升降机构。【背景技术】
[0002]准单晶是在多晶硅铸锭炉上采用铸造结晶的方式，经过一系列先进的工艺流程所生产出的具有高转换率的准单晶硅片。其主要工艺是通过在多晶硅铸锭炉石英坩埚的底部放置籽晶，并在真空状态下，采用精确分段控温，保证硅料融化时籽晶部分融化，由此长出单晶。目前国内的多晶硅铸锭炉主要是坩埚、平台不动，上发热体、侧发热体及上保温体上下移动。这种结构对多晶硅铸锭炉可以满足工艺要求，但由于原多晶硅铸锭炉没有下发热体，在生产准单晶硅的铸锭炉中就不能满足工艺要求。为了满足准单晶硅铸锭的要求，铸锭炉必须有严格的温度梯度及凝固速度控制，适合的界面形状，因此需要设置一个可做升降运动的下加热器。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于提供一种可做升降运动的下加热器机构，以满足准单晶硅铸锭生产所需要的工艺要求:固液界面在最短时间内形成。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用以下方案:
[0005]一种准单晶铸锭炉的下加热器升降机构，包括下发热体、固定件、电极立柱、固定板、垫块、托板、升降装置、传动软轴和电机。
[0006]所述下发热体通过固定件安装在保温体内部的坩埚平台底面，下发热体安装有垂直设置的电极立柱，电极立柱向下伸出保温体及炉体后安装在固定板上，固定板通过绝缘垫板与托板连接；炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接；托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。
[0007]本实用新型结构合理，使下发热体在铸锭炉保温体内可以上下移动，满足了准单晶硅铸锭生产所需要的工艺要求。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型的准单晶硅铸锭炉及其下加热器升降机构结构示意图。
[0009]图2为图1的仰视图。
[0010]图中:1为炉体、2为固定件、3为坩埚平台、4下发热体、5为电极立柱、6为保温体、7为升降装置、8为电机、9为托板、10为垫块、11为固定板、12为传动软轴。
【具体实施方式】
[0011]以下结合实施例及其附图对本实用新型做进一步详细的说明:
[0012]见图1、图2，一种准单晶铸锭炉的下加热器升降机构，包括下发热体4、固定件2、电极立柱5、固定板11、垫块10、托板9、升降装置7、传动软轴12和电机8。[0013]如图1、图2所示，所述下发热体4通过固定件2安装在保温体6内部的坩埚平台3底面；下发热体4安装有垂直设置的电极立柱5，电极立柱5向下伸出保温体6及炉体I后安装在固定板11上，固定板11通过绝缘垫板10与托板9连接；炉体I下固定设有升降装置7，升降装置7与托板9连接；托板9上设有传动软轴12及电机8，升降装置7由传动软轴12连接带动，传动软轴12由电机8连接带动。
[0014]所述电机8带动两根传动软轴12，传动软轴12通过高精度滚珠丝杠带动三个升降装置7同时旋转，升降装置7的丝杠旋转转换为托板9的上下运动，托板9带动下发热体4与坩埚平台3 —起实现同时升降运动。
[0015]以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种准单晶铸锭炉的下加热器升降机构，其特征在于:包括下发热体、固定件、电极立柱、固定板、垫块、托板、升降装置、传动软轴和电机； 所述下发热体通过固定件安装在保温体内部的坩埚平台底面，下发热体安装有垂直设置的电极立柱，电极立柱向下伸出保温体及炉体后安装在固定板上，固定板通过绝缘垫板与托板连接；炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接；托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。
【文档编号】C30B11/00GK203382844SQ201320463138
【公开日】2014年1月8日 申请日期:2013年8月1日 优先权日:2013年8月1日
【发明者】水川, 许柏 申请人:安徽大晟新能源设备科技有限公司