专利名称：高温真空单晶烧结炉的利记博彩app
技术领域：
本实用新型属于镀膜技术领域，尤其是指一种用于高温真空单晶烧结炉。
背景技术：
高温烧结炉主要用于单晶体和镀膜材料的烧结，现有技术无法解决在高温作用下氟化物腐蚀钨铼热偶、料易挥发，温度低又造成料不溶化、浪费极大的问题；以往使用的石墨加热器直径大，径向温度梯度较大，不利于晶体以及镀膜材料的制作，在石墨加工过程中，需把柱形原料车制成筒形，材料利用率极低，造价高；通常采用钥片制作保温罩，在高温下钥片容易变脆寿命短，造成浪费，每次温度都有损失，重复性不好，基本一次一扔。
发明内容本实用新型提供一种高温真空单晶烧结炉，以解决石墨材料浪费及钨铼热偶、钥片制作保温罩使用寿命短、成品率低的问题。本实用新型采取的技术方案是碳毡保温筒与外壳内部套接，筒形石墨加热器与支架固定连接，筒形石墨加热器与石墨坩埚外部套接。本实用新型的优点在于结构具有新颖性，体积小，费用低，效率高，更换简单，维修方便，径向温度梯度小，适于大尺过石锅加热，热场均匀，材料的均匀性以及重复性好成品率高，使用寿命长，保温效果好，温场复性好，有利于镀膜材料及晶体生长制作，在前端就达到了温度控制。
图I是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
碳毡保温筒4与外壳5内部套接，筒形石墨加热器2与支架3固定连接，筒形石墨加热器2与石墨坩埚I外部套接。采用功率控温可以调整电阻，取消了钨铼热偶，使用组合加热器，径向温度梯度小，适于大尺过石锅加热，热场均匀，材料的均匀性以及重复性好成品率高，用碳纤维制成的碳毡筒代替了成本极高的钥片保温筒，使用寿命长，保温效果好，温场复性好，有利于镀膜材料及晶体生长制作，增加了温控仪表，使用功率控制器在前端就达到了温度控制。
权利要求1.ー种高温真空单晶烧结炉，其特征在于碳毡保温筒与外壳内部套接，筒形石墨加热器与支架固定连接，筒形石墨加热器与石墨坩埚外部套接。
专利摘要本实用新型涉及一种高温真空单晶烧结炉，属于镀膜技术领域。碳毡保温筒与外壳内部套接，筒形石墨加热器与支架固定连接，筒形石墨加热器与石墨坩埚外部套接。实用新型的优点在于结构具有新颖性，体积小，费用低，效率高，更换简单，维修方便，径向温度梯度小，适于大尺过石锅加热，热场均匀，材料的均匀性以及重复性好成品率高，使用寿命长，保温效果好，温场复性好，有利于镀膜材料及晶体生长制作，在前端就达到了温度控制。
文档编号C30B35/00GK202465962SQ20122002275
公开日2012年10月3日 申请日期2012年1月18日 优先权日2012年1月18日
发明者静宇, 静枫 申请人:吉林省赛尔光电技术有限公司