专利名称：单晶炉的梯度加热器的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及利用多晶提拉出单晶硅领域，具体属于单晶炉的梯度加热器。
背景技术：
目前，直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列，用它来制作人工晶体，晶体生长速度最高，最容易实现人工控制，因此也获得了最广泛的应用。为了生长出大尺寸和高质量的单晶，人类几乎用了一切先进的手段。在单晶炉上集成了材料、机械、电气、计算机、磁多方面的高端知识和技术。硅单晶体作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件。大部分的半导体硅单晶体采用直拉法制造。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种单晶炉的梯度加热器，结构设计合理，减少了热量损失，温度自上而下逐渐升高，使用寿命延长，且生产成本降低。本实用新型的技术方案如下单晶炉的梯度加热器，包括有石墨加热筒，石墨加热筒内壁分别连接有正极铜排、 负极铜排，正极铜排、负极铜排内套装有石墨柱，所述石墨加热筒上开有相互错开竖向沟槽，竖向沟槽一端起始于石墨加热筒的端部，另一端不超过石墨加热筒的端部。所述的石墨柱外壁与正极铜排、负极铜排之间设有密封圈。本实用新型采用迷宫式设计，结构设计合理，减少了热量损失，温度自上而下逐渐升高，使用寿命延长，且生产成本降低。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
参见附图，单晶炉的梯度加热器，包括有石墨加热筒1，石墨加热筒1内壁分别连接有正极铜排2、负极铜排3，正极铜排、负极铜排内套装有石墨柱4，石墨加热筒上开有相互错开竖向沟槽5，竖向沟槽一端起始于石墨加热筒的端部，另一端不超过石墨加热筒的端部，石墨柱4外壁与正极铜排、负极铜排之间设有密封圈6。
权利要求1.单晶炉的梯度加热器，包括有石墨加热筒，其特征在于石墨加热筒内壁分别连接有正极铜排、负极铜排，正极铜排、负极铜排内套装有石墨柱，所述石墨加热筒上开有相互错开竖向沟槽，竖向沟槽一端起始于石墨加热筒的端部，另一端不超过石墨加热筒的端部。
2.根据权利要求1所述的单晶炉的梯度加热器，其特征在于所述的石墨柱外壁与正极铜排、负极铜排之间设有密封圈。
专利摘要本实用新型公开了单晶炉的梯度加热器，包括有石墨加热筒，石墨加热筒内壁分别连接有正极铜排、负极铜排，正极铜排、负极铜排内套装有石墨柱，所述石墨加热筒上开有相互错开竖向沟槽，竖向沟槽一端起始于石墨加热筒的端部，另一端不超过石墨加热筒的端部。本实用新型的结构设计合理，减少了热量损失，温度自上而下逐渐升高，使用寿命延长，且生产成本降低。
文档编号C30B29/06GK202187086SQ20112026485
公开日2012年4月11日 申请日期2011年7月25日 优先权日2011年7月25日
发明者林游辉 申请人:合肥景坤新能源有限公司