专利名称：密封性好的单晶炉炉体的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种密封性好的单晶炉炉体，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。
背景技术：
单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、下炉体、上炉体、上炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。以往的上炉体和下炉体之间连接时，是将下炉体顶部设置成凸台状，再将上炉体直接盖在下炉体顶部，这样便完成了固定。然而这样固定的上炉体和下炉体之间的密封性较差，炉体内的热气容易溢出，影响了单晶硅的生产。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足，提供一种使热气不易溢出，保证了单晶硅正常生产的密封性好的单晶炉炉体。本发明的目的是这样实现的:
本发明密封性好的单晶炉炉体，包括上炉体和下炉体，所述上炉体的底部设有上法兰，所述下炉体的顶部设有下法兰，所述上法兰和下法兰之间通过螺丝连接。这种密封性好的单晶炉炉体具有以下优点:
这种密封性好的单晶炉炉体的上炉体底部设有上法兰，下炉体的顶部设有下法兰，所述上法兰和下法兰之间通过螺丝连接，上炉体和下炉体之间便得到了牢靠的固定，保证了炉体的密封性，使得炉体内的热气不容易溢出，保证了单晶硅的生产质量。
图1为本发明密封性好的单晶炉炉体的结构示意图。图中:上炉体1、上法兰1.1、下炉体2、下法兰2.1。
具体实施例方式参见图1，本发明涉及的一种密封性好的单晶炉炉体，包括上炉体I和下炉体2，所述上炉体I的底部设有上法兰1.1，所述下炉体2的顶部设有下法兰2.1，所述上法兰1.1和下法兰2.1之间通过螺丝连接。这样上炉体I和下炉体2之间便得到了牢靠的固定，保证了炉体的密封性，使得炉体内的热气不容易溢出，保证了单晶硅的生产质量。
权利要求
1.一种密封性好的单晶炉炉体，其特征在于:它包括上炉体(I)和下炉体(2)，所述上炉体(I)的底部设有上法兰(1.1)，所述下炉体(2)的顶部设有下法兰(2.1)，所述上法兰(1.1)和下法兰(2.1)之间通过螺丝`连接。
全文摘要
本发明涉及一种密封性好的单晶炉炉体，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种密封性好的单晶炉炉体，其特征在于它包括上炉体(1)和下炉体(2)，所述上炉体(1)的底部设有上法兰(1.1)，所述下炉体(2)的顶部设有下法兰(2.1)，所述上法兰(1.1)和下法兰(2.1)之间通过螺丝连接。这种密封性好的单晶炉炉体的上炉体底部设有上法兰，下炉体的顶部设有下法兰，所述上法兰和下法兰之间通过螺丝连接，上炉体和下炉体之间便得到了牢靠的固定，保证了炉体的密封性，使得炉体内的热气不容易溢出，保证了单晶硅的生产质量。
文档编号C30B15/00GK103184505SQ20111045527
公开日2013年7月3日 申请日期2011年12月31日 优先权日2011年12月31日
发明者汤仁兴 申请人:汤仁兴