专利名称：一种太阳能硅单晶炉的充气装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能硅单晶的炉充气装置，所属技术领域为太阳能光伏产 业。它适用于采用直拉法工艺拉制太阳能级单晶硅的硅单晶炉，尤其是要求对硅单晶炉充 气量有精确控制要求及有断电应急手动操作功能要求的硅单晶炉。
背景技术：
目前公知的太阳能级直拉法硅单晶炉的充气装置主要有采用电磁阀或气动阀实 现自动控制或完全手动控制两种，也有部分的硅单晶炉在采用自动控制的同时在副室部分 又增加了一路手动控制阀。目前还没有具有手动和自动控制功能一体的硅单晶炉充气装 置。一般来说，手动控制的充气装置需要完全由人手工操作，且对充气量的控制也要靠人工 来调节，精确度不高，也不能实现自动化控制。自动控制充气装置用三个常闭电磁截止阀或 气动阀来控制对硅单晶炉的主室和副室充气，它在突然断电时就不能工作，而且缺少断电 保护功能，而仅在副室部分增加了一路手动控制阀，也只能应急保护硅料而不能将生产工 艺过程继续下去。
发明内容为了解决现有硅单晶炉充气装置中存在的不足，实现自动精确充气控制和应急手 动控制功能兼备，本实用新型提供了一种新型的太阳能级硅单晶炉充气装置。该装置不但 具有通常充气装置的充气功能，还具有断电应急手动控制功能，并可选择自动控制和手动 控制。本实用新型所采用的技术方案是充气装置中的副室充气管接头1、主室充气管 接头2、气源充气管接头3、第一常闭电磁截止阀7、第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截 止阀9、第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6和质量流量控制器5按特定结构连接固定在 面板上，第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6、第一常闭电磁截止阀7和质量流量控制器5 并联，第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6、第一常闭电磁截止阀7和质量流量控制器5的 进气口和气源充气管接头3相连接，第二常闭电磁截止阀8和第三常闭电磁截止阀9并联 后与质量流量控制器5串联，第二常闭电磁截止阀8和第三常闭电磁截止阀9的进气口与 质量流量控制器5的出气口相连接，第一手动隔膜阀4和第三常闭电磁截止阀9并联，第一 手动隔膜阀4和第三常闭电磁截止阀9的出气口与副室充气管接头1相连接，第二常闭电 磁截止阀8、第一常闭电磁截止阀7和第二手动隔膜阀6并联，第二常闭电磁截止阀8、第一 常闭电磁截止阀7和第二手动隔膜阀6的出气口与主室充气管接头2相连接。本实用新型的有益效果是可以自由选择手动控制和自动远程控制的充气控制方 式，通过质量流量控制来实现对主室及副室充气量的精确控制，同时还能在发生断电的紧 急情况时采用手动控制操作，直至有备用电源接上或恢复供电。本实用新型结构简单，使用 方便。
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以下结合附图对本实用新型的实施例进一步说明。附图是本实用新型结构图。图中1.副室充气管接头，2.主室充气管接头，3.气源充气管接头，4.第一手动隔 膜阀，5.质量流量控制器，6.第二手动隔膜阀，7.第一常闭电磁截止阀，8.第二常闭电磁 截止阀，9.第三常闭电磁截止阀具体实施方式
充气装置中的副室充气管接头1、主室充气管接头2、气源充气管接头3、第一常闭 电磁截止阀7、第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截止阀9、第一手动隔膜阀4、第二手动 隔膜阀6和质量流量控制器5按特定结构连接固定在面板上，第一手动隔膜阀4、第二手动 隔膜阀6、第一常闭电磁截止阀7和质量流量控制器5并联，第一手动隔膜阀4、第二手动隔 膜阀6、第一常闭电磁截止阀7和质量流量控制器5的进气口和气源充气管接头3相连接， 第二常闭电磁截止阀8和第三常闭电磁截止阀9并联后与质量流量控制器5串联，第二常 闭电磁截止阀8和第三常闭电磁截止阀9的进气口与质量流量控制器5的出气口相连接， 第一手动隔膜阀4和第三常闭电磁截止阀9并联，第一手动隔膜阀4和第三常闭电磁截止 阀9的出气口与副室充气管接头1相连接，第二常闭电磁截止阀8、第一常闭电磁截止阀7 和第二手动隔膜阀6并联，第二常闭电磁截止阀8、第一常闭电磁截止阀7和第二手动隔膜 阀6的出气口与主室充气管接头2相连接。关闭第三常闭电磁截止阀9和第一常闭电磁截止阀7，启动第二常闭电磁截止阀8 和质量流量控制器5，经自动控制系统控制质量流量控制器5的气体质量流量，可实现向副 室精确充气。关闭第二常闭电磁截止阀8和第一常闭电磁截止阀7，启动第三常闭电磁截止阀9 和质量流量控制器5，经自动控制系统控制质量流量控制器5的气体质量流量，可实现向主 室精确充气。关闭第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截止阀9和质量流量控制器5，启动第 一常闭电磁截止阀7，可实现向副室快速充气。当紧急停电时，第一常闭电磁截止阀7、第二常闭电磁截止阀8和第三常闭电磁截 止阀9不工作，通过调节第一手动隔膜阀4和第二手动隔膜阀6，可实现对硅单晶炉的主室 和副室进行手动充气。
权利要求1. 一种太阳能级硅单晶炉的充气装置，其特征是充气装置中的副室充气管接头(1)、 主室充气管接头O)、气源充气管接头(3)、第一常闭电磁截止阀(7)、第二常闭电磁截止阀 (8)、第三常闭电磁截止阀(9)、第一手动隔膜阀G)、第二手动隔膜阀(6)和质量流量控制 器(5)按特定结构连接固定在面板上，第一手动隔膜阀G)、第二手动隔膜阀(6)、第一常闭 电磁截止阀(7)和质量流量控制器( 并联，第一手动隔膜阀G)、第二手动隔膜阀(6)、第 一常闭电磁截止阀(7)和质量流量控制器(5)的进气口和气源充气管接头C3)相连接，第 二常闭电磁截止阀(8)和第三常闭电磁截止阀(9)并联后与质量流量控制器(5)串联，第 二常闭电磁截止阀(8)和第三常闭电磁截止阀(9)的进气口与质量流量控制器( 的出气 口相连接，第一手动隔膜阀(4)和第三常闭电磁截止阀(9)并联，第一手动隔膜阀(4)和第 三常闭电磁截止阀(9)的出气口与副室充气管接头(1)相连接，第二常闭电磁截止阀(8)、 第一常闭电磁截止阀(7)和第二手动隔膜阀(6)并联，第二常闭电磁截止阀(8)、第一常闭 电磁截止阀(7)和第二手动隔膜阀(6)的出气口与主室充气管接头( 相连接。
专利摘要本实用新型涉及一种太阳能级硅单晶炉的充气装置，它由副室充气管接头1、主室充气管接头2、气源充气管接头3、第一常闭电磁截止阀7、第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截止阀9、第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6、质量流量控制器5用无缝钢管及相应管接头按特定结构顺序连接而成。通过质量流量控制器5、第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截止阀9来实现对硅单晶炉主室和副室进行自动精确充气；通过第一常闭电磁截止阀7来实现对硅单晶炉副室的自动快速充气；通过第一手动隔膜阀4和第二手动隔膜阀6来实现对硅单晶炉的主室和副室进行手动充气。本实用新型使用方便，结构简单。
文档编号C30B15/00GK201915163SQ201020541289
公开日2011年8月3日 申请日期2010年9月26日 优先权日2010年9月26日
发明者张春华, 文武, 李晓平, 杨朝旭, 杨荣启 申请人:北京京仪世纪电子股份有限公司