专利名称：一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置及方法
技术领域：
本发明涉及纤维材料表面处理领域，特别是涉及一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置及方法。
背景技术：
高性能纤维材料由于其高比强度、高比模量等优点，是轻质结构复合材料骨架增 强材料的首选。由于高强高模聚乙烯(UHMPE)、聚-ρ-亚苯基对苯二甲酰胺(PPTA)、热致液 晶聚合物(TLCP)、聚-ρ-亚苯基-苯并二噁唑(PBO)、聚-ρ-亚苯基-苯并二噻唑(PBT)、碳 纤维等高性能纤维表面光洁，缺少微纳米图案结构，缺乏活性基团，自由能低，因而导致浸 润性能不好，影响纤维与树脂的粘附性，以及复合材料的力学特性。目前有各种物理化学处理方法被应用于这些高性能纤维表面特性的改进。如 SilversteinM. S.等在“酸刻蚀的超高分子量聚乙烯纤维表面性能与粘结性之间的关 系，，“Relationshipbetween surface properties and adhesion for etched ultra high molecular weight polyethylenefibers，， (Composites Sciences and Technology，1993， 48 (1-4)，151-157)的文章中介绍了用铬酸试剂处理UHMWPE纤维的表面改性方法，发现经 铬酸处理后，虽然UHMWPE的表面粘结性能提高了 6倍，但该方法使纤维受到了腐蚀，对纤维 强度影响很大。可见化学处理方法较易损坏聚合物本体基质，并造成对环境的污染。大部分纤维的直径在几十微米，而等离子体放电处理的方法可以只在纳米量级影 响纤维表面，适合于纤维的表面处理。如CN1259759和ZL99218828. 8公开了织物低气压等 离子体处理装置，但是这两个装置需要昂贵的真空系统，体积比较大，不利于工业连续化生 产。介质阻挡放电能在大气压下或高于大气压下产生大体积、高能量密度的低温等离 子体，是一种典型的非平衡态气体放电。不需要真空设备就能在较低的温度下获得等离子 体应用中所需的各类活性粒子，相对于低气压放电具有更广阔的应用前景，因此近年来受 到国内外研究人员的广泛重视。目前常压介质阻挡放电处理材料表面工作频率一般在IK至100K范围，每半个时 间周期只产生一次或几次放电过程，放电温度低，相应获得的等离子体密度(放电强度) 低。而随着激发电压的提高，等离子体一般表现为在时间上和放电空间中随机分布的大量 具有高能量密度的细丝状放电电流形式，放电的丝状通道时间和位置不可控，呈现游走性， 不能充分利用能耗，易造成对纤维的熔断性损坏，限制了工业应用。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种大气压微放电等离子体处理材料表面的 装置及方法，可在连续运行的纤维薄膜材料表面均勻导入微纳米图案结构，克服现有常压 介质阻挡放电装置放电细丝的随机时空分布导致的纤维处理不充分现象。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是提供一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置，包括气室、电极阵列面、样品支撑架、牵引装置和高压电源，所述的气室 一端设有进口，另一端设有出口 ；所述的气室的侧面上设有输气口 ；所述的气室内部设有 所述的样品支撑架；所述的样品支撑架的位置与所述的进口和出口相对应；所述的样品支 撑架上下分别设有至少两个电极阵列面，其中，在所述的样品支撑架上方的电极阵列面称 为上电极阵列面，在所述的样品支撑架下方的电极阵列面称为下电极阵列面；所述的上电 极阵列面与下电极阵列面相互平行，并且一一对应；所述的电极阵列面由并行排列的至少 二十根电极-介质管构成；所述的上电极阵列面的电极-介质管在同一端用电压线相连； 所述的电压线与所述的高压电源相连；所述的下电极阵列面的电极-介质管在同一端用接 地线相连；所述的接地线接地；所述的牵引装置包括相互连接的滚轮和步进电机；所述的 进口处和所述的出口处均设置有所述的滚轮。所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置的电极-介质管由金属棒状电极同轴套在介质阻挡管内构成；所述的金属棒状电极紧密贴合所述的介质阻挡管的内 壁；所述的介质阻挡管由绝缘材料或半导体材料制成；所述的金属棒状电极由良导体材料 制成。所述的介质阻挡管管壁厚度为0. 1-3. Omm,内直径为0. 101-2. OOlmm ；所述的金属 棒状电极的直径为0. 1-2. 0mm。所述的绝缘材料为陶瓷、或玻璃、或聚四氟乙烯；所述的良导体材料为不锈钢、或 铜、或铝、或铁、或钨铜合金。所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置的上电极阵列面和下电极阵 列面由聚四氟乙烯支撑定位；所述的上电极阵列面和下电极阵列面之间保持3. 0-20. Omm 的间隙。所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置的样品支撑架两端延伸出所 述的进口和出口 ；所述的样品支撑架由绝缘耐高温材料制成。所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置的气室的进口和出口为夹缝 状。所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置的上电极阵列面与下电极阵 列面的电极_介质管轴向夹角为0-180度。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是还提供一种大气压微放电等离子体 处理材料表面的方法，包括以下步骤(1)将样品通过滚轮和气室中的样品支撑架，进入穿出上下电极阵列面之间；(2)将辅助气体或掺入反应气体的辅助气体通过与气体质量流量控制器相连的输 气口注入气室；(3)打开激励频率为1-500KHZ，峰值电压为1-20KV，功率为1-3000W的交流或脉冲 高压电源，在上下电极阵列面之间形成等离子体区域；(4)开启步进电机，以设定的l-70m/min速度对样品进行等离子体连续处理。所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的方法，在所述的步骤(2)中通入的 辅助气体为氦气、或氩气、或氮气，流量为0. l-10L/min ；通入的反应气体为氢气或氧气，流 量为 0. l-100ml/min。有益效果
由于采用了上述的技术方案，本发明与现有技术相比，具有以下的优点和积极效 果本发明可以较好的控制放电细丝的尺度与随机分布性，在纤维或者薄膜表面均勻产生 微纳米刻蚀图案，并导入活性基团；可以降低放电功率，有效的提高等离子体的能效，明显 改善纤维或者薄膜材料表面的结构和性能，同时提高了气体和能量的利用率，结构简单，易 于控制。在常压低温等离子体放电中，放电细丝固定产生在两个电极阵列面的垂直方向交 错点位置，避免了在随机位置出现，节约了大量能耗；平行的电极阵列面和放电细丝的空间 位置约束又进一步导致每个细丝的放电时间上的一致性，从而实现放电等离子体处理区域 的时空可控。单级电极阵列面对只能在固定的放电丝通道覆盖的直径范围内处理样品，通过阵 列面对的多级错位排布的方法，可以使得进入气室的纤维材料表面被全面覆盖处理，在经 过的所有纤维或者薄膜表面刻蚀形成微纳米图案化结构。
图1是本发明的系统示意图；图2是本发明的气室左视图；图3是本发明的气室俯视图；图4是本发明中上下电极阵列面的电极-介质管轴向方向夹角成90度的放电局 部示意图；图5是本发明中上下电极阵列面的电极-介质管轴向方向平行的放电局部示意 图；图6是未经过等离子体处理的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)纤维表面示意图；图7是经过本发明处理过的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)纤维表面示意图；图8是未经等离子体处理的聚乙烯(UHMPE)纤维表面示意图；图9是经过本发明处理过的聚乙烯(UHMPE)纤维表面示意图。
具体实施例方式下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明 而不用于限制本发明的范围。此外应理解，在阅读了本发明讲授的内容之后，本领域技术人 员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定 的范围。本发明的实施方式涉及一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置，可以较 好的控制放电细丝的尺度与随机分布性，在纤维或者薄膜表面均勻产生微纳米刻蚀图案， 并导入活性基团，提高复合材料的粘结性能，降低放电功率，有效地提高等离子体的利用 率，能方便地应用于连续化生产过程，并可以应用于改善纤维薄膜表面生物细胞的生长状 态、纤维薄膜表面的光学特性等与表面微纳米图案结构有关的性能。如图1所示，该装置包 括气室1、电极阵列面、样品支撑架6、牵引装置和高压电源。如图2和图3所示，气室1的一端设有进口 8，另一端设有出口 9，在气室1的侧面 还设有输气口 7。该输气口 7通过气体质量流量计(图中未画出)与外接气瓶相连。辅助气体或掺入反应气体的辅助气体从气瓶输出后，通过气体质量流量计控制，从气室1上的 输气口 7进入，输气口 7的直径为3mm，气体从气室1的进口 8处和出口 9处出去。其中，气 室1的进口 8和出口 9均为狭缝状；辅助气体可以是氦气、氩气等惰性气体，也可以是氮气； 反应气体一般使用氧气，或氢气等活性气体。具体使用什么气体可根据所需要的处理效果 进行选择。电极阵列面是由至少20根并行排列的电极_介质管组成的一个面，一般一个电极阵列面不超过2000根电极-介质管，电极-介质管之间的距离根据实际情况进行确定。 电极-介质管由金属棒状电极13同轴套在介质阻挡管12内构成，介质阻挡管12可以由 陶瓷、聚四氟乙烯、或者玻璃等绝缘体制成，金属棒状电极13可以由不锈钢、或铜、或铝、或 铁、或钨铜合金等耐高温良导体制成。金属棒状电极13与介质阻挡管12内壁之间应紧密结 合，保证金属棒状电极13与介质阻挡管12之间没有间隙，一般金属棒状电极13的直径为 0. 1-2. Omm,介质阻挡管12的内直径为0. 101-2. OOlmm,介质阻挡管12的壁厚0. 1-3. Omm, 长度根据需要确定。样品支撑架6由绝缘耐高温的聚四氟乙烯等材料构成，设置在气室1内，其位置与 气室1的进口 8和出口 9相互对应，也可根据需要将其两端延伸出气室1两边开口(即气 室1的进口 8和出口 9)使得样品可以进出反应装置。在样品支撑架6的上下分别设有多 个电极阵列面，在样品支撑架6上方的称为上电极阵列面4，在样品支撑架6下方的称为下 电极阵列面5，上电极阵列面4与下电极阵列面5相互平行，并且一一对应，靠近气室1的 进口 8的一组上电极阵列面4和下电极阵列面5作为一级，错位排列在一个方向上的多组 电极阵列面作为多级。上电极阵列面4和下电极阵列面5都通过聚四氟乙烯支撑定位，使 得上电极阵列面4与下电极阵列面5之间保持有3-20mm的间距，上电极阵列面4与下电 极阵列面5的电极-介质管之间的轴向方向范围为0-180度，可以根据实际放电需要进行 调整，图4所示的是轴向夹角为90度时的情况和图5所示的是轴向夹角为0度时的情况 (即轴向方向平行的情况)。上电极阵列面4的电极-介质管的末端全部连接在同一高压 线2上，该高压线2与高压电源相连，其中，高压电源为交流电源或脉冲电源，其激励频率为 1-500KHZ，峰值电压为1-20KV，功率为1-3000W。下电极阵列面5的电极-介质管的末端全 部连接在同一接地线3上，该接地线3接地。如此气体放电产生的等离子体11就在上电极 阵列面4和下电极阵列面5之间的区域，该区域称为等离子体区域，丝状放电通道就固定产 生于上电极阵列面4和下电极阵列面5之间最短距离位置点。如图1所示，在气室中包含 三组电极阵列面，样品支撑架6，用于接低温等离子体电源(即高压电源)的高压线2和接 地用的接地线3。牵引装置包括相互连接的滚轮10和步进电机(图中未画出)。在气室1的进口 8 处和出口 9处均放置有滚轮10，步进电机控制滚轮10的转速，使得纤维束能按照预设速度 通过等离子体区域，步进电机的速度可在l-70m/min内进行调节。由此可见，在该等离子体放电装置中，放电细丝固定产生在两个电极-介质管阵 列面(即上电极阵列面与下电极阵列面)的垂直方向交错点位置，避免了在随机位置出现， 平行的电极阵列面和放电细丝的空间位置约束又进一步导致每个细丝的放电时间上的一 致性，从而实现放电等离子体处理区域的时空可控，电极-介质管直径对放电通道有限制 作用，产生位置固定的细丝状微放电等离子体，可以降低放电功率，有效的提高等离子体的能效。 本发明的实施方式还涉及一种大气压微放电等离子体处理材料表面的方法，包 括以下步骤(1)将样品通过滚轮和气室中的样品支撑架，进入穿出上下电极阵列面之间； (2)将辅助气体或掺入反应气体的辅助气体通过与气体质量流量控制器相连的输气口注 入气室，气体可从气室的夹缝状进口和出口出去，其中，辅助气体可以是氦气、氩气等惰性 气体，也可以是氮气；反应气体一般使用氧气，或氢气等活性气体；(3)打开激励频率为 1-500KHZ，峰值电压为1-20KV，功率为1-3000W的交流或脉冲高压电源，在上电极阵列面和 下电极阵列面之间形成等离子体区域，因为在上电极阵列面和下电极阵列面之间最短距离 的路径的电场梯度最大，所以气体放电通道固定产生在如图4和图5所示的路径上；(4)开 启步进电机，以设定的l-70m/min速度对样品进行等离子体连续处理。不难发现，通过对多组电极阵列面进行错位排布的方法，可以使得进入气室的纤 维材料表面被全面覆盖处理，对经过气室的所有纤维或者薄膜表面刻蚀形成微纳米图案化 结构，并导入活性基团，提高复合材料的粘结性能，降低放电功率，有效地提高等离子体的 利用率，能方便地应用于连续化生产过程。下面就几个具体的实施例来进一步说明本发明。
实施例1 使用长宽为3m*lm的电极阵列面，金属棒状电极13由铜制成，其直径为 0. 15mm，介质阻挡管12由陶瓷制成，其内直径为0. 151mm，管壁厚为1. Omm,电极与介质材料 将每组电极阵列面的上下电极-介质管轴向方向夹角调整为90度，上下放电间距为3mm。将滚轮10连接在步进电机上，使用步进电机控制滚轮10转速。开启钢瓶，将辅助 气体氩气和反应气体氧气通过质量流量控制器连接到气室1侧面的输气口 7上，输入到气 室1中，调节气体流量和组成比例，可改变等离子体特性。本实施例中通入氩气的流量为 2L/min，通入氧气的流量为lOml/min。本实施例还可以只通入辅助气体氩气，那么此时通入 的氩气的流量为3L/min。将高压线2与低温等离子体电源(即高压电源)相连，接地线3接地，启动低温 等离子体电源，该电源为交流电源，其激励频率设为30KHz，峰值电压设为10KV，功率设为 100W，上电极阵列面4与下电极阵列面5之间将产生等离子体11，如图4所示。将直径为Imm的PET纤维帘子线绳绕过滚轮10，穿过气室1，在样品支撑架6的支 撑下，由步进电动机驱动，并以30m/min的设定速度进行等离子体处理。通过观察纤维表面亲水性能的变化，浸润性的提高有利于浸胶液在纤维材料表面 铺展开，可以表示出本发明的实用效果。使用去离子水在纤维表面形成的接触角对亲水性 的改性效果进行表征。当PET帘子线使用本发明通入纯氩或氩氧混合气体产生的等离子体区域中处理 后，结果如表1所示。表1 PET帘子线处理前后表面与去离子水的接触角
氣等离子处理氩/氧等离子处理 可见，经过等离子处理后，PET帘子线表面性能提升，与去离子水的接触角减小，说 明其亲水性得到了增强。用电子显微镜对处理前后的PET帘子线进行表面形貌观察，发现没有经过等离子 体处理的PET帘子线纤维表面光滑、平整，表面形貌无明显起伏，如图6所示。而经过等离 子处理后的PET帘子线表面，有显著的刻蚀效果，表面分布着均勻的微纳米量级的凹陷的 刻蚀孔，使得纤维表面的比表面积增大，有利于树脂的铆定与纤维材料的浸润性提高，如图 7所示。红外与XPS测试表明，经过等离子处理后的PET帘子线表面有-0Η、-00Η等极性基 团引入，使得水能更容易铺展或渗入在PET帘子线表面。实施例2 使用长宽为2m*2m的电极阵列面，金属棒状电极13由铁制成，其直径为0.1mm，介质阻挡管12由聚四氟乙烯制成，其内直径为0. 101mm，管壁厚为2. Omm,电极与介 质材料将每组电极阵列面的上下电极-介质管轴向方向夹角调整为0度，上下间距为10mm。将滚轮10连接在步进电机上，使用步进电机控制滚轮10转速。开启钢瓶，将辅助 气体氩气和反应气体氧气通过质量流量控制器连接到气室1侧面的输气口 7上，输入到气 室1中，调节气体流量和组成比例，可改变等离子体特性。本实施例中通入氮气的流量为 5L/min，通入氧气的流量为30ml/min。本实施例还可以只通入辅助气体氮气，那么此时通入 氮气的流量为6L/min。将高压线2与低温等离子体电源(即高压电源)相连，接地线3接地，启动低温 等离子体电源，该电源为交流电源，其激励频率设为ΙΟΟΚΗζ，峰值电压设为20KV，功率设为 2000W，上电极阵列面与下电极阵列面之间将产生等离子体11，如图5所示。在氮气环境中，当电源输出功率低的时候，上下平行的电极-介质管之间产生等 间距的放电通道，随着功率的增加，间距距离逐渐变小，达到某一特定数值时，将达到和实 施例1类似的放电效果。将UHMPE纤维束绕过滚轮10，穿过气室1，在样品支撑架6的支撑下，由步进电动 机驱动，并以6m/min的设定速度进行等离子体处理。当UHMPE纤维束使用本发明通入氮气或氮氧混合气体产生的等离子体区域中处 理后，单丝的拔出强度可提高3-10倍，UD布的抗冲击强度可提高1-5倍。SEM观察发现，未经等离子体处理的UHMPE纤维表面比较平整，如图8所示。经等 离子体处理后的UHMPE纤维表面出现微纳米刻蚀图案，有助于提高纤维与布的黏结特性， 如图9所示。实施例3 使用长宽为lm*lm的电极阵列面，金属棒状电极13由钨铜合金制成，直 径为2mm，介质阻挡管12由玻璃制成，其内直径为2. 001mm，管壁厚为3mm，电极与介质材料 将每组电极阵列面的上下电极-介质管轴向方向夹角调整为45度，上下间距为20mm。将滚轮10连接在步进电机上，使用步进电机控制滚轮10转速。开启钢瓶，将辅助 气体氦气和反应气体氧气通过质量流量控制器连接到气室1侧面的输气口 7上，输入到气 室1中，调节气体流量和组成比例，可改变等离子体特性。本实施例中通入的氦气流量为 3L/min，通入的氧气流量为30ml/min。本实施例还可以只通入辅助气体氦气，那么此时通入 的氦气流量为7L/min。将高压线2与低温等离子体电源(即高压电源)相连，接地线3接地，启动低温 等离子体电源，该电源为脉冲电源，其激励频率设为ΙΟΟΚΗζ，峰值电压设为15KV，功率设为100W，上电极阵列面4与下电极阵列面5之间将产生等离子体11。
将PBO纤维束绕过滚轮10牵引，穿过气室1，在样品支撑架6的支撑下，由步进电 动机驱动，以lOm/min的设定速度进行等离子体处理。经过等离子体处理后的PBO纤维的界面剪切强度由原来的18MPa提高到了 25MPa， SEM观察发现，纤维表面变得粗糙不平，形成交联结构，纤维比表面积得到很大提高。IR分 析表明，由于等离子体处理使得PBO纤维表面引入了极性基团(羟基，羧基等)，浸润性得到 了增强。
权利要求
一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置，包括气室(1)、电极阵列面、样品支撑架(6)、牵引装置和高压电源，其特征在于，所述的气室(1)一端设有进口(8)，另一端设有出口(9)；所述的气室(1)的侧面上设有输气口(7)；所述的气室(1)内部设有所述的样品支撑架(6)；所述的样品支撑架(6)的位置与所述的进口(8)和出口(9)相对应；所述的样品支撑架(6)上下分别设有至少两个电极阵列面，其中，在所述的样品支撑架上方的电极阵列面称为上电极阵列面(4)，在所述的样品支撑架下方的电极阵列面称为下电极阵列面(5)；所述的上电极阵列面(4)与下电极阵列面(5)相互平行，并且一一对应；所述的电极阵列面由并行排列的至少二十根电极-介质管构成；所述的上电极阵列面(4)的电极-介质管在同一端用电压线(2)相连；所述的电压线(2)与所述的高压电源相连；所述的下电极阵列面(5)的电极-介质管在同一端用接地线(3)相连；所述的接地线(3)接地；所述的牵引装置包括相互连接的滚轮(10)和步进电机；所述的进口(8)处和所述的出口(9)处均设置有所述的滚轮(10)。
2.根据权利要求1所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置，其特征在于， 所述的电极-介质管由金属棒状电极(13)同轴套在介质阻挡管(12)内构成；所述的金属 棒状电极(13)紧密贴合所述的介质阻挡管(12)的内壁；所述的介质阻挡管(12)由绝缘材 料或半导体材料制成；所述的金属棒状电极(13)由良导体材料制成。
3.根据权利要求2所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置，其特征在于， 所述的介质阻挡管(12)管壁厚度为0. 1-3. Omm,内直径为0. 101-2. OOlmm ；所述的金属棒状 电极(13)的直径为0. 1-2. Omm0
4.根据权利要求2所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置，其特征在于， 所述的绝缘材料为陶瓷、或玻璃、或聚四氟乙烯；所述的良导体材料为不锈钢、或铜、或铝、 或铁、或钨铜合金。
5.根据权利要求1所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置，其特征在于， 所述的上电极阵列面(4)和下电极阵列面(5)由聚四氟乙烯支撑定位；所述的上电极阵列 面⑷和下电极阵列面(5)之间保持3. 0-20. Omm的间隙。
6.根据权利要求1所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置，其特征在于， 所述的样品支撑架(6)两端延伸出所述的进口⑶和出口(9)；所述的样品支撑架(6)由 绝缘耐高温材料制成。
7.根据权利要求1所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置，其特征在于， 所述的进口(8)和出口(9)为夹缝状。
8.根据权利要求1所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的装置，其特征在于， 所述的上电极阵列面(4)与下电极阵列面(5)的电极-介质管轴向夹角为0-180度。
9.一种大气压微放电等离子体处理材料表面的方法，其特征在于，包括以下步骤(1)将样品通过滚轮和气室中的样品支撑架，进入穿出上下电极阵列面之间；(2)将辅助气体或掺入反应气体的辅助气体通过与气体质量流量控制器相连的输气口 注入气室；(3)打开激励频率为1-500KHZ，峰值电压为1-20KV，功率为1-3000W的交流或脉冲高压 电源，在上下电极阵列面之间形成等离子体区域；(4)开启步进电机，以设定的l-70m/min速度对样品进行等离子体连续处理。
10.根据权利要求9所述的大气压微放电等离子体处理材料表面的方法，其特征在于， 在所述的步骤(2)中通入的辅助气体为氦气、或氩气、或氮气，流量为0. l-10L/min ；通入的 反应气体为氢气或氧气，流量为0. l-100ml/min。
全文摘要
本发明涉及一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置及方法，同轴套置金属棒状电极和介质阻挡管形成电极-介质管，并行排列若干这样的电极-介质管成一个电极阵列面，上电极阵列面接高压线，下电极阵列面接地，电极轴向间夹角为0-180度，等离子体就产生在这样的上下两个电极阵列面之间。本发明利用这种电极阵列面构造介质阻挡放电的非对称电极结构，能够精确控制等离子体放电细丝通道的位置和放电时间，在连续运行的纤维或者薄膜表面均匀导入微纳米图案结构，降低了能耗并改善高性能纤维与树脂间的粘结性，以及纤维或者薄膜表面生物细胞的生长状态、纤维或薄膜表面的光学特性等与表面微纳米图案结构有关的性能。
文档编号H05H1/24GK101838800SQ201010167809
公开日2010年9月22日 申请日期2010年5月6日 优先权日2010年5月6日
发明者刁颖, 孙立群, 张菁, 徐金洲, 李赛, 石建军, 钟方川 申请人:东华大学