硅芯炉高频线圈的利记博彩app

文档序号:8130975阅读:903来源:国知局
专利名称:硅芯炉高频线圈的利记博彩app
技术领域
本实用新型涉及高频线圈,确切地说是应用于区熔法生产硅芯及其它 晶体材料的高频线圈。
背景技术
随着光伏产业迅速发展,作为主要原料的多晶硅生产也得到迅速发 展;硅芯是多晶硅生产过程中生长多晶的载体。硅芯是在惰性气氛下,以 高频感应加热,采用区熔法生长。
目前普通的高频线圈单匝平板线圈,外径70mm左右,内径29mm
左右。其缺点主要有1)加热时间比较长约需30-60分钟,造成能耗高
生产效率低下;2)结晶界面附近的纵向温度梯度不一,造成棒料中心熔
不透外圆区熔温度过高溶液向下流走,使固-液界面不平坦,区熔液界面
上热平衡不易保持+衡;3)晶体缺陷密度大,在生长过程中极易断棱。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型旨在提供一种加热时间短、 生产率高且使用寿命长的硅芯炉高频线圈。 本实用新型采用的技术方案是-
一种硅芯炉高频线圈,该线圈在紫铜圆盘的周围环绕有铜管,并在铜 管进、出口之间设有断开缝,所述紫铜圆盘的内孔直径为22-25mm,外圆直 径为65-68mm,径向厚度为5-6ram。所述紫铜圆盘的上面设有凹微型斜面。
所述紫铜圆盘的下面设有凹微型圆弧槽。
所述紫铜圆盘表面包裹一层硅。
本实用新型高频线圈加热时间仅10分钟,大大提高了生产效率和能
量利用率,延长了高频线圈使用寿命,此外,还能大大降低人工及生产成 本。


图1是本实用新型硅芯炉高频线圈的结构示意图; 图2是图1的A-A视图。
附图标记说明如下
1 —一紫铜圆盘 2——铜管
3——断开缝 4——凹微型斜面
5——凹微型圃弧槽具体实施方式
下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步详细的说明。 如图1所示,该线圈在紫铜圆盘1的周围环绕有铜管2,并在铜管进、出 口之间设有断开缝3,根据交流电圆环效应,增大线圈径向厚度与线圈直径 之比,将紫铜圆盘的内孔直径设置为为22-25ram,外圆直径设置为为 65-68mm,径向厚度设置为为5-6mm,使电磁场与熔体间的耦合距离变小,
增强了高频感应加热线圈与多晶硅间的电磁耦合性,使棒料中心熔透;硅 棒料区熔直径为18-22mm,与线圈间隙取2. 5-5mm。如图2所示,紫铜圆盘的上面设有凹微型斜面4,减小了熔区长度,从 而使重力减小,使磁悬浮力增大,有利于熔区的稳定;在紫铜圆盘的下面 设有凹微型圆弧槽5,使磁力线在硅芯熔区周围均匀分布,从而使硅芯生长 粗细均匀、表面光滑,使电磁场与熔区的耦合效率提高,电磁场的能量作 用范围减小,从而使静态热场具有较大的纵向温度梯度,其结果既增加了 结晶驱动力,又可避免结晶界面附近的熔体因局部过冷而异常结晶;对线 圈表面进行喷砂打磨使其表面牢固包裹一层硅,以提高其表面对挥发物的 附着力,避免破坏单晶的正常生长。
本实用新型不局限于上述最佳实施方式,任何人在本发明的启示下都 可得出其他各种形式的产品。但不论在其形状或结构上作任何变化,凡是 与本实用新型相同或相近似的技术方案,均在其保护范围之内。
权利要求1、一种硅芯炉高频线圈,该线圈在紫铜圆盘的周围环绕有铜管,并在铜管进、出口之间设有断开缝,其特征在于,所述紫铜圆盘的内孔直径为22-25mm,外圆直径为65-68mm,径向厚度为5-6mm。
2、 根据权利要求l所述的硅芯炉高频线圈,其特征在于,所述紫铜圆 盘的上面设有凹微型斜面。
3、 根据权利要求l所述的硅芯炉高频线圈,其特征在于,所述紫铜圆 盘的下面设有凹微型圆弧槽。
4、 根据权利要求l所述的硅芯炉高频线圈,其特征在于,所述紫铜圆 盘表面包裹一层提高附着力的硅。
专利摘要本实用新型公开了一种硅芯炉高频线圈,其紫铜圆盘的周围环绕有铜管,并在铜管进、出口之间设有断开缝,紫铜圆盘的内孔直径为22-25mm,外圆直径为65-68mm,径向厚度为5-6mm,紫铜圆盘的上面设有凹微型斜面,紫铜圆盘的下面设有凹微型圆弧槽。该高频线圈加热时间仅10分钟,大大提高了生产效率和能量利用率,延长了高频线圈使用寿命,此外,还能大大降低人工及生产成本。
文档编号C30B13/20GK201422182SQ20092014975
公开日2010年3月10日 申请日期2009年6月16日 优先权日2009年6月16日
发明者王清华 申请人:重庆大全新能源有限公司
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