专利名称：热场应用石墨导气套的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及单晶直拉生长过程中热场排气技术领域，更具体的说，它涉及热
场应用石墨导气套。
技术背景 在单晶直拉生长工业生产中，参看图l，现有的热场排气系统，在带走高温挥发的 氧化物的同时，也会对热场中的下炉筒1和定位环2以及真空管道的表面进行冲刷和氧化， 给这些设备带来巨大的伤害，造成整个设备漏气
实用新型内容
本实用新型为克服现有技术的不足，提供一种结构简单，易于加工制造，使用效果 好的热场应用石墨导气套。 本实用新型提供的热场应用石墨导气套，其特征在于，该石墨导气套为中空筒体 结构，在所述石墨导气套的外套壁上设置有一定位圈。 本实用新型的石墨导气套的密度为1. 65 1. 75g/cm3，抗压强度为50 80MPa， 灰份含量小于20PPm，熔点在1420。C以上。 将本实用新型的石墨导气套安装在热场排气系统中，可以明显增强现有热场的使 用寿命，如从原来的120炉增加到了 150炉，节约了成本，同时可以避免氧化物高温带来的 灼伤，并且防止氧化物沉积于热场管道中，使排气更加顺畅。
以下结合附图和具体实施方式
来进一步说明本实用新型。
图1为现有单晶直拉生长工业生产中热场排气系统一个示例图。
图2为本实用新型热场应用石墨导气套安装在热场排气系统中的一个示例结构图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下
面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。 本实用新型为解决现有的热场排气系统，在带走高温挥发的氧化物的同时，也会 对热场和真空管道带来巨大的伤害的问题，而采用如图2所示的一种耐高温高压起热场防 护与气流排放作用的石墨导气套3。该石墨导气套3为一中空结构，如在石墨导气套3内设 置有一贯穿整个石墨导气套3轴向的排放孔31，排放孔31为圆孔，这样高温气流排放会更 通畅。在石墨导气套3的外套壁上设置有一定位圈32，以便于安装该石墨导气套3。 石墨导气套3采用石墨材料制成，此石墨材料吸附力较小，密度在1. 65 1. 75g/ cm3之间，当材料密度为1. 65cm3时，抗压强度相对弱些，当材料密度为1. 75g/cm3时，抗压强度就要相对大些，当材料密度为1.70g/cm3时，抗压强度适中，可根据需要采用不同密度的材料，但必需使所用采材料制成的导管抗压强度在50 80MPa之间。 石墨导气套3采用的石墨材料的熔点最少在142(TC以上，而且石墨中灰份含量应小于20PPm，同时在制造石墨导套的过程中要根据不同的热场与真空管道的大小设计导套，做到紧密连接，保证整个真空排气系统的运行。 参看图2，石墨导气套3安装在下炉筒1壁与定位环2之间，在拉晶作业中，其将起到隔离氧化物，保护热场与炉膛壁的作用，这样就明显的增强了现有热场的使用寿命，使原来的120炉增加到了 150炉，大量的节约了成本，同时可以避免氧化物高温带来的灼伤，并且防止氧化物沉积于热场管道中，使排气更加顺畅。 以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求热场应用石墨导气套，其特征在于，该石墨导气套为中空筒体结构，在所述石墨导气套的外套壁上设置有一定位圈。
专利摘要本实用新型提供的热场应用石墨导气套，其特征在于，该石墨导气套为中空筒体结构，在所述石墨导气套的外套壁上设置有一定位圈。本实用新型的石墨导气套的密度为1.65～1.75g/cm3，抗压强度为50～80MPa，灰份含量小于20PPm，熔点在1420℃以上。将本实用新型的石墨导气套安装在热场排气系统中，可以明显增强现有热场的使用寿命，如从原来的120炉增加到了150炉，节约了成本，同时可以避免氧化物高温带来的灼伤，并且防止氧化物沉积于热场管道中，使排气更加顺畅。
文档编号C30B15/14GK201512603SQ20092007306
公开日2010年6月23日 申请日期2009年5月27日 优先权日2009年5月27日
发明者李晶 申请人:上海申和热磁电子有限公司