专利名称：一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及硅单晶炉配套设备，具体的说是一种硅单晶炉连 续投料装置及设有该装置的硅单晶炉。
背景技术：
硅单晶炉目前是采用减压拉晶工艺而进行工作的，在硅单晶拉制 过程中，连续等速地向单晶炉膛内通入高纯氩气，同时机械泵不断地
从炉膛向外抽气，保持炉膛内压强稳定在1333Pa左右，这种工艺既 有真空工艺的特点——炉膛内保持负压，又有流动气氛工艺的特点一 一不断充气，不断排气。由于单晶炉内的温度高达1420°C，又必须 在氩气保护下拉晶，所以如何提高拉晶的产量和成品率对于节省耗品 和节约能量有重大的实用价值。如能在不开炉的条件下，利用同一只 石英坩埚，通过连续投料的方式向石英坩埚内再投入又一炉的硅料， 然后再拉制出又一根单晶棒就可以达到以上目的，但是这种辅助配套 装置必须具备如下条件首先能容纳一定体积的硅料，具有一定的硬 度不易被硅料磨损；其次在硅单晶炉的高温状态下不能被熔化，保证 投料时的原料安全；第三，在投料时硅料在合适的距离落入液面，而 不会引起硅熔液的溅出。
目前国内市场上常见的硅单晶炉连续投料装置有两种， 一种是用 石英玻璃做成的，其存在以下缺陷第一、造价成本高、制造工艺复 杂；第二、石英玻璃易破碎，使用寿命短；第三、其料筒的下端开口 结构复杂，操作麻烦，有时会因为不能打开下端开口而导致连续投料 失败。另一种是用不锈钢做成的，其料筒的下底是由三瓣不锈钢叶片 组成，叶片与料筒壁的边缘以合页连接，三瓣叶片的中心点用一立杆 连接以保持底面处于关闭状态。当松开立杆时，三瓣叶片向下打开，
4硅料从中落下。其存在极大的安全隐患第一、在高温下固定三瓣叶 片的合页容易出现变形，造成三瓣叶片打开不全，使硅料不能完全落 下；有时合页变形会导致三瓣叶片脱开与料筒壁的连接，落入熔硅中 致使一坩埚的硅料报废；第二、为了做到三瓣叶片的最低点离开熔硅 液面有一定的安全距离，必须抬高料筒的高度，致使硅料离开熔硅液 面过高，经常导致在连续投料时熔硅溅出液面，而造成硅料的流失和 石墨件的损坏；第三、硅料在料筒中由于堆积的因素，经常出现硅料 卡住而不能落下，而用插板阀去敲打料筒，有时造成立杆落入坩埚中， 造成严重的缺失。
实用新型内容
针对现有技术中存在的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种硅 单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉，结构简单，能够在不 开炉的条件下，连续向石英坩埚内投料，使得硅单晶炉产量和成品率 增高，降低能耗和成本。
为达到以上目的，本实用新型采取的技术方案是-一种硅单晶炉连续投料装置，其特征在于包括由圆柱形的顶部 钢筒、圆柱形的中部钢筒和倒置的锥台形的底部钢筒三部分组成的料 筒7，顶部钢筒的直径比中部钢筒大，顶部钢筒的底边设有向内延伸
的凸台8，凸台8的内侧和中部钢筒的顶边相连，中部钢筒的底边和 底部钢筒的顶边相连，底部钢筒的底边内翻并卡设一硅片6，压杆外 套筒4两端通过上下扁钢片9、 10固设在料筒7内，压杆外套筒4内 设有可在压杆外套筒4内上下移动的压杆5，压杆5的上端设有压杆 滑轮3，通过销轴11设置在上扁钢片9上的操纵连杆2的一端和压 杆滑轮3的外表面抵接，另一端和操纵机构滑轮1连接。
在上述技术方案的基础上，料筒7、压杆外套筒4、上下扁钢片 9、 10、压杆5、压杆滑轮3、销轴ll、操纵连杆2和操纵机构滑轮1 的材质为316不锈钢。在上述技术方案的基础上，硅片6为硅单晶棒或多晶棒切成的薄片。
一种设有连续投料装置的硅单晶炉，其特征在于包括硅单晶炉
主室22，硅单晶炉主室22的上部设有硅单晶炉副室21，硅单晶炉连 续投料装置设置在硅单晶炉副室21内，所说的硅单晶炉连续投料装 置包括由圆柱形的顶部钢筒、圆柱形的中部钢筒和倒置的锥台形的底 部钢筒三部分组成的料筒7，顶部钢筒的直径比中部钢筒大，顶部钢 筒的底边设有向内延伸的凸台8，凸台8的内侧和中部钢筒的顶边相 连，中部钢筒的底边和底部钢筒的顶边相连，底部钢筒的底边内翻并 卡设一硅片6，压杆外套筒4两端通过上、下扁钢片9、 IO固设在料 筒7内，压杆外套筒4内设有可在压杆外套筒4内上下移动的压杆5， 压杆5的上端设有压杆滑轮3，通过销轴11设置在上扁钢片9上的 操纵连杆2的一端和压杆滑轮3的外表面抵接，另一端和操纵机构滑 轮1连接；硅单晶炉副室21和硅单晶炉主室22的连接处设有和凸台 8适配的定位销12，硅单晶炉副室21的侧壁上设有和操纵机构滑轮 1适配的插板阀13。
在上述技术方案的基础上，料筒7、压杆外套筒4、上下扁钢片 9、 10、压杆5、压杆滑轮3、销轴ll、操纵连杆2和操纵机构滑轮1 的材质为316不锈钢。
在上述技术方案的基础上，硅片6为硅单晶棒或多晶棒切成的薄片。
本实用新型所述的硅单晶炉连续投料装置，结构简单，能够在不 开炉的条件下，连续向石英坩埚内投料，使得硅单晶炉产量和成品率 增高，降低能耗和成本。
本实用新型有如下附图-
图l硅单晶炉连续投料装置的结构示意图图2设有硅单晶炉连续投料装置的硅单晶炉的结构示意图 图3硅单晶炉连续投料装置投料示意图
附图标记
1为操纵机构滑轮，2为操纵连杆，3为压杆滑轮，4为压杆外套 筒，5为压杆，6为硅片，7为料筒，8为凸台，9为上扁钢片，10为 下扁钢片，ll为销轴，12为定位销，13为插板阀，21为硅单晶炉副 室，22为硅单晶炉主室，30为硅原料，31为石英坩埚，32为熔硅液 面。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。 图1为本实用新型所述的硅单晶炉连续投料装置的结构示意图， 包括由圆柱形的顶部钢筒、圆柱形的中部钢筒和倒置的锥台形的底部 钢筒三部分组成的料筒7，顶部钢筒的直径比中部钢筒大，顶部钢筒 的底边设有向内延伸的凸台8，凸台8的内侧和中部钢筒的顶边相连， 中部钢筒的底边和底部钢筒的顶边相连，底部钢筒的底边内翻并卡设 一硅片6，压杆外套筒4两端通过上下扁钢片9、 10固设在料筒7内， 压杆外套筒4内设有可在压杆外套筒4内上下移动的压杆5，压杆5 的上端设有压杆滑轮3，通过销轴11设置在上扁钢片9上的操纵连 杆2的一端和压杆滑轮3的外表面抵接，另一端和操纵机构滑轮1连 接。在上述技术方案的基础上，料筒7、压杆外套筒4、上下扁钢片 9、 10、压杆5、压杆滑轮3、销轴ll、操纵连杆2和操纵机构滑轮1 的材质为316不锈钢。在上述技术方案的基础上，硅片6为硅单晶棒 或多晶棒切成的薄片。
本实用新型还给出了一种设有连续投料装置的硅单晶炉，如图2 所示，包括硅单晶炉主室22，硅单晶炉主室22的上部设有硅单晶炉 副室21，硅单晶炉连续投料装置设置在硅单晶炉副室21内，所说的硅单晶炉连续投料装置包括由圆柱形的顶部钢筒、圆柱形的中部钢筒
和倒置的锥台形的底部钢筒三部分组成的料筒7，顶部钢筒的直径比 中部钢筒大，顶部钢筒的底边设有向内延伸的凸台8，凸台8的内侧 和中部钢筒的顶边相连，中部钢筒的底边和底部钢筒的顶边相连，底 部钢筒的底边内翻并卡设一硅片6，压杆外套筒4两端通过上、下扁 钢片9、 10固设在料筒7内，压杆外套筒4内设有可在压杆外套筒4 内上下移动的压杆5,压杆5的上端设有压杆滑轮3，通过销轴11设 置在上扁钢片9上的操纵连杆2的一端和压杆滑轮3的外表面抵接， 另一端和操纵机构滑轮1连接；硅单晶炉副室21和硅单晶炉主室22 的连接处设有和凸台8适配的定位销12，硅单晶炉副室21的侧壁上 设有和操纵机构滑轮1适配的插板阀13。在上述技术方案的基础上， 料筒7、压杆外套筒4、上下扁钢片9、 10、压杆5、压杆滑轮3、销 轴11、操纵连杆2和操纵机构滑轮1的材质为316不锈钢。在上述 技术方案的基础上，硅片6为硅单晶棒或多晶棒切成的薄片。
本实用新型在使用时，如图2、 3所示，先在料筒7底部装好硅 片6,以保证料筒7下底的封闭，然后在料筒7内装入硅原料30。装 好硅原料30后，将硅单晶炉连续投料装置通过连接部位挂在重锤的 钼夹头上(图中未示出)，提升至硅单晶炉副室21内，将硅单晶炉副 室移到正常位置，将硅单晶炉副室抽真空达到合格要求，将主副室隔 离插板阀13打开，缓慢将硅单晶炉连续投料装置放下，在提拉钢丝、 导轨的引导下凸台8滑入定位销12上，自行完成定位。根据设计要 求确保料筒底部离开熔硅液面32有一安全距离，此时推动插板阀13， 让插板阀13与操纵机构滑轮1接触，进一步推动后，通过杠杆工作 原理，操纵连杆2转动，向下推压压杆滑轮3，使压杆5在压杆外套 筒4内向下运动，压碎硅片6，使硅片6与硅原料30 —起缓慢落入 石英坩埚31内的熔硅液面32,完成投料任务。为确保投料安全，可 先适当下移石英坩埚31到合适位置，适当降低加热器功率，以达到 炉内合适的温度。
如上所述，本实用新型所述的硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉的优点如下
第一，选用316不锈钢材料，具有一定的硬度和耐高温性能。
第二，选用清洁硅片6做料筒7的底面，当料筒7下降到合适的 高度时，用定位销12配合凸台8将料筒7固定在硅单晶炉副室21和 硅单晶炉主室22内，保证料筒7的底面(硅片6)离开熔硅液面32 有一安全的距离。
第三，用压杆5向下推压硅片6的中心部位(其他位置亦可，但 优选中心部位)，致使硅片6破裂，而向下落入熔硅液面32。料筒7 内的硅原料30随之落入熔硅液面32，这样即确保了料筒7底部的安 全距离，又能保证投料时石英坩埚31内的熔硅不会溅出。而且，由 于作为底部的整个硅片6碎裂后落入熔硅液面32，这样就不存在底 部打开不全的问题。
第四，通过插板阀13的推动力作用于料筒7的操纵机构滑轮1， 带动操纵连杆2沿销轴11逆时针(如图1所示)转动，由操纵连杆 2压迫压杆滑轮3下移，最后由压杆滑轮3带动压杆5下行并撞碎硅 片6，能使硅原料30全部安全落入熔硅液面32内。这一套杠杆操作 机构的结构简单合理，可靠性高，而且压杆滑轮3的尺寸稍大于压杆 外套筒4的直径，可以通过压杆滑轮3防止压杆5脱落掉入石英坩埚 31内。
第五、由于将料筒7用定位销12固定在炉壁上，料筒7的提拉 钢丝并无受力，用插板阀13推动操纵机构滑轮1时就不会引起料筒 机械装置任何部位的损坏或者松开而落入熔硅液面32。
第六、本方案使用的投料装置造价便宜，不易破损，使用寿命长， 容易推广应用，可重复使用。
本实用新型不限于上述最佳实施方式，任何人应该得知在本实用 新型的启示下作出的结构变化，凡是与本实用新型具有相同或相近的 技术方案，均落入本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种硅单晶炉连续投料装置，其特征在于包括由圆柱形的顶部钢筒、圆柱形的中部钢筒和倒置的锥台形的底部钢筒三部分组成的料筒(7)，顶部钢筒的直径比中部钢筒大，顶部钢筒的底边设有向内延伸的凸台(8)，凸台(8)的内侧和中部钢筒的顶边相连，中部钢筒的底边和底部钢筒的顶边相连，底部钢筒的底边内翻并卡设一硅片(6)，压杆外套筒(4)两端通过上下扁钢片(9、10)固设在料筒(7)内，压杆外套筒(4)内设有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5)，压杆(5)的上端设有压杆滑轮(3)，通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接，另一端和操纵机构滑轮(1)连接。
2. 如权利要求1所述的硅单晶炉连续投料装置，其特征在于-料筒(7)、压杆外套筒(4)、上下扁钢片(9、 10)、压杆(5)、压杆 滑轮(3)、销轴(11)、操纵连杆(2)和操纵机构滑轮(1)的材质 为316不锈钢。
3. 如权利要求1或2所述的硅单晶炉连续投料装置，其特征在 于硅片(6)为硅单晶棒或多晶棒切成的薄片。
4. 一种设有连续投料装置的硅单晶炉，其特征在于包括硅单 晶炉主室(22)，硅单晶炉主室(22)的上部设有硅单晶炉副室(21)， 硅单晶炉连续投料装置设置在硅单晶炉副室(21)内，所说的硅单晶 炉连续投料装置包括由圆柱形的顶部钢筒、圆柱形的中部钢筒和倒置 的锥台形的底部钢筒三部分组成的料筒(7)，顶部钢筒的直径比中部 钢筒大，顶部钢筒的底边设有向内延伸的凸台(8)，凸台(8)的内 侧和中部钢筒的顶边相连，中部钢筒的底边和底部钢筒的顶边相连， 底部钢筒的底边内翻并卡设一硅片(6)，压杆外套筒(4)两端通过 上、下扁钢片(9、 10)固设在料筒(7)内，压杆外套筒(4)内设 有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5)，压杆(5)的上端设 有压杆滑轮(3)，通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接，另一端和操纵机构滑 轮(1)连接；硅单晶炉副室(21)和硅单晶炉主室(22)的连接处 设有和凸台(8)适配的定位销(12)，硅单晶炉副室(21)的侧壁上 设有和操纵机构滑轮(1)适配的插板阀(13)。
5. 如权利要求4所述的设有连续投料装置的硅单晶炉，其特征 在于料筒(7)、压杆外套筒(4)、上下扁钢片(9、 10)、压杆(5)、 压杆滑轮(3)、销轴(11)、操纵连杆(2)和操纵机构滑轮(1)的 材质为316不锈钢。
6. 如权利要求4或5所述的设有连续投料装置的硅单晶炉，其 特征在于硅片(6)为硅单晶棒或多晶棒切成的薄片。
专利摘要一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉，涉及硅单晶炉配套设备，包括料筒(7)，料筒(7)设有上端外表面向内延伸的凸台(8)，料筒(7)的底边内翻并卡设一硅片(6)，压杆外套筒(4)两端通过上下扁钢片(9、10)固设在料筒(7)内，压杆外套筒(4)内设有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5)，压杆(5)的上端设有压杆滑轮(3)，通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接，另一端和操纵机构滑轮(1)连接。本实用新型，结构简单，能够在不开炉的条件下，连续向石英坩埚内投料，使得硅单晶炉产量和成品率增高，降低能耗和成本。
文档编号C30B15/02GK201309979SQ20082017820
公开日2009年9月16日 申请日期2008年11月7日 优先权日2008年11月7日
发明者飞 王, 赖汝萍 申请人:飞 王