专利名称：多晶硅炉传动装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型属于一种多晶硅炉传动装置。
背景技术：
如图1所示，传统的多晶硅炉主要用于生产硅半导体材料，多晶硅炉包括供硅半 导体材料生长合成的炉体及硅籽晶控制系统和电控自动系统。硅籽晶质量很大程度 上取决位于炉体内钢笼整体的平稳提升，传统的炉体内钢笼的整体提升是依靠位于
炉休6顶部的驱动电机组件5、联轴器4、末端第三级提升结构l、末端第二级提升结 构3和软轴2所组成。如图1所示，驱动电机组件位于整个提升传动结构的首端，先 带动位于首端的提升结构，再通过联轴器和软轴分别带动末端第二级、第三级提升 结构，而各级提升结构下端分别通过钢丝或螺杆与炉体内钢笼连接。使用时，驱动 电机组件先驱动(起始)首端的提升结构，再通过软轴到末端第二级提升结构，在由 后者(通过另一联轴器)传递末端第三级提升结构，需经两次软轴传动，因软轴在承 受载荷的过程中，载荷量过大，其径向扰性变形会越大，造成自驱动端到最末端的 运动滞后。在该设备的实际使用中，造成炉体内钢笼的整体提升斜置，达不到整体 平稳提升的质量要求，对硅籽晶质量产生很大的影响，也对设备正常运行构成影响。 发明内容
本实用新型的目的是设计一种多晶硅炉传动装置，能用简单的结构保证炉体内 钢笼的整体平稳提升，以提高硅籽晶质量，并延长设备的正常使用寿命。为此，本实 用新型采用驱动电机组件通过传动带带动中间位提升机构和通过联轴器及软轴分 别带动位于中间位提升机构两端的末端提升机构。上述结构达到了本实用新型的目 的。
本实用新型的优点是能用简单的结构保证炉体内钢笼的整体平稳提升，大幅度 提高了硅籽晶质量，达到理想的使用效果，使产品的正品率大幅度提高,且结构简单， 易对现冇设备进行改造，使用成本低，使用成本低较传统结构成本降低50%,维修方 便，并延长了设备的正常使用寿命，使用寿命较传统结构延长2倍。
图1是传统的多晶硅炉传动装置
图2是本实用新型的结构示意图 具体实施方案
如图1至图2所示，本实用新型是对原有设备的改进，故不再对图l的传统结构 进行累述。
如图2所示，一种多晶硅炉传动装置，主要由末端提升机构1、 9，中间位提升机 构8和软轴2所组成。驱动电机组件5通过传动带7带动中间位提升机构和通过联轴器 4及软轴分别带动位于中间位提升机构两端的末端提升机构。所述的联轴器为双向 联轴器。所述的驱动电机组件位于中间位提升机构上。
本实用新型将驱动电机组件置在中间位提升机构上，并通过置在中间位提升 机构的联轴器驱动两未端提升机构，从而将软轴的二级传动改变为一级传动，克服 了传统的提升机构需经两次软轴传动，软轴在承受载荷的过程中，载荷量过大，其 径向扰性变形会越大，造成自驱动端到最末端的运动滞后的不足。使两末端提升机 构和中间位提升机构传动同步进行，保证炉体内钢笼的整体平稳提升，大幅度提高 硅籽晶质量。
使用时，驱动电机组件通过传动带带动中间位提升机构，并通过联轴器及软 轴分别带动位于中间位提升机构两端的末端提升机构，使两末端提升机构和中间位 提升机构传动同步进行，保证炉体内钢笼的整体平稳提升。本实用新型只需对传统 的结构进行改进即可，改造成本低，使用效果好，能大幅度提高硅籽晶质量和设备 使用寿命。
总之，本实用新型能用简单的结构保证炉体内钢笼的整体平稳提升，提高了硅 籽晶质量,并大幅高延长了设备的正常使用寿命，达到理想的使用效果，大幅度提高 了产品的正品率，且结构简单,制作使用成本低，维修和使用效果好。
权利要求1.一种多晶硅炉传动装置，主要由末端提升机构、中间位提升机构和软轴所组成，其特征在于驱动电机组件通过传动带带动中间位提升机构和通过联轴器及软轴分别带动位于中间位提升机构两端的末端提升机构。
2、 按权利要求l所述的多晶硅炉传动装置，其特征在于所述的联轴器为双 向联轴器。
3、 按权利要求l所述的多晶硅炉传动装置，其特征在于所述的驱动电机组 件位于中间位提升机构卜-。
专利摘要本实用新型属于一种多晶硅炉传动装置，采用驱动电机组件通过传动带带动中间位提升机构和通过联轴器及软轴分别带动位于中间位提升机构两端的末端提升机构。本实用新型能用简单的结构保证炉体内钢笼的整体平稳提升，以提高硅籽晶质量，并延长设备的正常使用寿命。
文档编号C30B28/06GK201195764SQ20082008064
公开日2009年2月18日 申请日期2008年5月15日 优先权日2008年5月15日
发明者张志新, 李占贤, 军 王 申请人:北京京运通科技有限公司