太阳能硅单晶炉的冷却水系统的利记博彩app

文档序号:8028587阅读:463来源:国知局
专利名称:太阳能硅单晶炉的冷却水系统的利记博彩app
技术领域
本实用新型涉及一种半导体行业太阳能硅单晶炉的冷却水系统。在公知的主水冷系统中,加装冷却水应急接口,以保护冷却系统故障时仍能保护单晶炉。
背景技术
目前公知的太阳能硅单晶炉,其主冷却系统在故障时,单晶炉将受热并损坏,加装冷却水应急接口可保护单晶炉的安全。

发明内容
为了克服主水冷系统故障时单晶炉受热并损坏的问题,本实用新型设计提供了一种太阳能硅单晶炉的冷却水系统,该系统在主冷却水系统故障时仍能保护硅单晶炉,使其不受损伤。
本实用新型所采用的技术方案是在已有的主冷却水系统进水管上,加装冷却水应急接口,当主冷却水系统因故障断水时,打开此应急接口,可输入自来水等备用水源。
有益效果是由于可通过冷却水应急接口供应自来水等备用冷却水,可保持对单晶炉的冷却,单晶炉不会被烧毁。


附图是本实用新型的实施原理图图中1.单晶炉 2.公知的主冷却水系统管路3.加装的冷却水应急接口
权利要求1.一种太阳能硅单晶炉的冷却水系统,其特征在于在主冷却水系统中,装入冷却水应急接口。
专利摘要一种太阳能硅单晶炉的冷却水系统,它在主冷却水系统上加装冷却水应急接口,在主冷却水系统故障中断供水时,通过应急接口供应自来水等备用冷却水,防止单晶炉烧毁。
文档编号C30B35/00GK2890099SQ20052012946
公开日2007年4月18日 申请日期2005年10月21日 优先权日2005年10月21日
发明者李润源, 周世增 申请人:北京京仪世纪自动化设备有限公司
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