专利名称：一种新型区熔炉的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体锗材料提纯设备，具体地讲是涉及一种新型区熔炉。
背景技术：
半导体材料锗的区域提纯，是生产高纯单晶的关键工序，由于产品的需求增大，现有区熔炉设备已不能满足生产需要，主要不足在于单一的通氢工艺；不能进行多种状态下的区域熔炼；无法实现全过程的自动控制。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有设备的不足，提供一种新型区熔炉。该装置的实施是采用高频感应方式加热并可实现生产过程的自动化控制。
本实用新型的技术方案是一种新型区熔炉，它包括工作台、高真空机组、电气控制柜，所述的高真空机组由真空泵和扩散泵组成，配有高精度电磁阀和高真空测量仪以便于实现自动控制；所述的电气控制柜为立柜式结构，所有电表及操作机构均在柜体前侧，观察调节方便。其中电气控制柜与工作台相连，工作台与高真空机组相连。
上述的新型区熔炉，其进一步的特征在于所述的工作台含区熔小车，工作台可安放四根石英管，石英管的两端通过铝合金端板和不锈钢炉门组件实现密封，除可实现真空区域熔炼外，亦可实现正压情况下的通氢区域熔炼；区熔小车采用钢丝绳牵引，由快慢速两台直流伺服电机通过双超越离合器实现小车的快慢速切换；所述的电气控制柜的主机上前部为可控硅装置，上后部为电子管振荡器，下前部为继电器控制部分，下后部放置高压变压器，硅整流油箱，灯丝稳压器。
本实用新型的新型区熔炉不仅适用于用氢气或其他惰性气体作保护性气体的锗的区域熔炼，也适用于真空状态下的锗的区域熔炼；高真空机组为气动控制可实现自动控制，无须人工操作；区熔小车采用钢丝绳牵引，传动结构简化；电气由PLC控制，可实现全过程自动控制，也可实现半程自动控制。整机结构紧凑，体积较小，使用维护方便。
图1是本实用新型区熔炉的整机结构图；
图2是本实用新型区熔炉的电原理图。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型的优选实施例详细介绍如下如图1所示，本实用新型区熔炉整机分三大部分，工作台(含区熔小车)、高真空机组、高频发生器(电气控制柜)。工作台01含区熔小车11，工作台可安放四根石英管12，石英管的两端通过铝合金端板13和不锈钢炉门组件14实现密封，除可实现真空区域熔炼外，亦可实现正压情况下的通氢区域熔炼；区熔小车11采用钢丝绳牵引，由快慢速两台直流伺服电机通过双超越离合器实现小车的快慢速切换。高真空机组02由真空泵21和扩散泵22组成，配有高精度电磁阀和高真空测量仪以便于实现自动控制。电气控制柜03为立柜式结构，所有电表及操作机构均在柜体前侧，观察调节方便。主机上前部为可控硅装置，上后部为电子管振荡器，下前部为继电器控制部分，下后部放置高压变压器，硅整流油箱，灯丝稳压器等。
高频区熔炉电气部分主要由三相交流调压电源，升压变压器，高压整流硅堆，电子管振荡器，工作线圈，机械传动控制电路等组成，其电原理图见图2。高频感应炉采用三相可控硅交流调压经三相高压变压器升压至7300V，再经6只高压硅堆组成的的三相桥式整流电路整流，滤波后输出0-12KV直流高压，供给电子管振荡器。电子管振荡器采用阳栅电感回授式自激振荡电路，振荡回路由槽路电容，耦合线圈和工作线圈组成，采用并联供电方式，高压电源是和槽路并联的，为了防止槽路线圈将电源短路，在槽路和电子管阳极之间接入一个隔直流电容，以阻止直流电流流向槽路而高频电流仍能通过。另外，用一个高频扼流圈和电源串联，不让高频电流流向电源，而防止电源将高频电压短路。栅极采用自给栅偏压，其特点是起振容易，振荡稳定。本振荡器在不同负载的情况下可调节栅极反馈线圈而获得最佳工作状态。整个控制系统采用PC可编程控制器。PC控制过程(以真空工艺为例)当操作者投好料后，启动机器，PC即开始运行，关闭或打开相应的电磁阀，启动真空泵开始抽真空，同时预热电子管，当真空控制仪检测到低真空达到后，PC即切换到抽高真空，高真空达到后，开始加热，待料熔化后机械小车开始往复行走，PC计下行走次数，达到设定值后自动停机并发出声响，通知操作者。
本实用新型的最佳实施例已被阐明，由本领域普通技术人员作出的各种变化或改型都属于本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种新型区熔炉，它包括工作台、高真空机组、电气控制柜，其特征在于所述的高真空机组由真空泵和扩散泵组成，配有高精度电磁阀和高真空测量仪以便于实现自动控制；所述的电气控制柜为立柜式结构，所有电表及操作机构均在柜体前侧，观察调节方便；其中所述电气控制柜与所述工作台相连，所述工作台与所述高真空机组相连。
2.根据权利要求1所述的新型区熔炉，其特征在于所述的电气控制柜的主机上前部为可控硅装置，上后部为电子管振荡器，下前部为继电器控制部分，下后部放置高压变压器，硅整流油箱，灯丝稳压器。
3.根据权利要求1或2所述的新型区熔炉，其特征在于所述的工作台含区熔小车，工作台可安放四根石英管，所述石英管的两端通过铝合金端板和不锈钢炉门组件实现密封；所述区熔小车采用钢丝绳牵引，由快慢速两台直流伺服电机通过双超越离合器实现小车的快慢速切换。
专利摘要本实用新型涉及一种新型区熔炉，它包括工作台、高真空机组、电气控制柜，所述的高真空机组由真空泵和扩散泵组成，配有高精度电磁阀和高真空测量仪以便于实现自动控制；所述的电气控制柜为立柜式结构，所有电表及操作机构均在柜体前侧，观察调节方便。本实用新型的新型区熔炉不仅适用于用氢气或其他惰性气体作保护性气体的锗的区域熔炼，也适用于真空状态下的锗的区域熔炼；高真空机组为气动控制可实现自动控制，无须人工操作；区熔小车采用钢丝绳牵引，传动结构简化；电气由PLC控制，可实现全过程自动控制，也可实现半程自动控制。
文档编号C30B13/20GK2816056SQ200520070760
公开日2006年9月13日 申请日期2005年4月15日 优先权日2005年4月15日
发明者孙建隆, 冯先达 申请人:南京锗厂有限责任公司