压电振动片及压电振动器的制造方法

文档序号:9869633阅读:612来源:国知局
压电振动片及压电振动器的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及压电振动片及压电振动器。
【背景技术】
[0002]在便携电话、便携信息终端设备、电波钟表等中,作为时刻源或控制信号的定时源、参考信号源等,使用例如利用石英的压电振动器。一直以来,压电振动器中,压电振动片被以通过安装用的导电性粘接剂固定在封装件的状态收纳。
[0003]例如专利文献I中,记载了矩形状的压电振动片悬臂支撑在封装件的压电振动器。
[0004]专利文献1:日本特开2014 - 116388号公报。

【发明内容】

[0005]可是,专利文献I记载的压电振动器中,压电振动片在其长边方向端部的装配部中安装在封装件。因此,若对压电振动器有撞击等外力作用,则对压电振动片施加较大的力矩,装配部中压电振动片有可能从封装件剥落。特别是进行压电振动片的小型化时,由于装配部的面积缩小,装配部中的剥落会更加容易发生。因而,在现有的压电振动器及压电振动片中,存在耐久性伴随着小型化而下降这一课题。
[0006]因此本发明提供耐久性优异的小型压电振动片及压电振动器。
[0007]本发明的压电振动片,其特征在于,包括:矩形状的压电板;形成在所述压电板的主面的振动部;以及安装所述压电板的一对装配部,所述一对装配部形成在所述压电板中的长边方向的两端部。此外,进一步优选形成在所述压电板中的短边方向的一端部的角部附近。
[0008]依据本发明,当安装压电振动片时,由于利用形成在压电板的短边方向的一端部的一对装配部支撑矩形状的压电板,所以与现有构造那样在长边方向的一端部中支撑的情况相比,以装配部为中心的力矩变小。由此,施加到装配部的应力减少,因此在因压电振动片的小型化而装配部缩小,并且安装时的固定力减少的情况下,也能抑制装配部中的破损。因此,能得到耐久性优异的小型压电振动片。
[0009]上述压电振动片的特征在于:至少在所述装配部的周围,所述振动部比所述装配部更薄地形成。
[0010]依据本发明,压电振动片在安装到封装件的状态下即便产生以装配部为中心的力矩,也能在较薄地形成的振动部中缓冲作用于装配部的应力。因此,能得到耐久性更加优异的压电振动片。
[0011]上述压电振动片的特征在于:所述压电板利用AT切割石英基板形成,所述压电板的长边方向沿着所述AT切割石英基板的V轴方向。
[0012]AT切割石英基板的主振动模式即厚度滑移振动是在X轴方向较大地位移的振动。依据本发明,通过在沿着与X轴方向正交的V轴方向的2个点悬臂支撑压电振动片,装配部不会妨碍振动部的X轴方向的位移。在装配部妨碍振动部的位移的情况下,振动部或装配部中容易产生不需要振动,其结果是,难以得到期望的振动特性,但是依据上述构成,由于装配部的配置方向和振动部的位移方向为正交关系,因此与这些方向为同一个方向的情况相比,能够显著减少不需要振动的产生。因此,能得到振动特性优异的压电振动片。
[0013]上述压电振动片的特征在于:所述压电板的沿着长边方向的外形尺寸为所述压电板的沿着短边方向的外形尺寸的1.4倍以下。
[0014]依据本发明,压电振动片由于长边方向的外形尺寸为短边方向的外形尺寸的1.4倍以下,所以能够对应向例如俯视下接近正方形状的小型封装件的安装。
[0015]上述压电振动片的特征在于:所述装配部沿着所述压电板的面方向从所述压电板突出。
[0016]依据本发明,由于装配部从压电板突出,所以在安装压电振动片时,能够抑制例如导电膏等安装部件在浸润开时附着到振动部。由此能够抑制压电振动片的振动特性的偏差。因此,能得到振动特性优异的压电振动片。
[0017]本发明的压电振动器的特征在于:具备上述压电振动片和安装有所述压电振动片的所述装配部的封装件。
[0018]依据本发明,由于具备上述的压电振动片,所以能得到耐久性优异的小型压电振动器。
[0019]上述压电振动器的特征在于具有:安装部件,配置在所述压电振动片的所述装配部与所述封装件之间,用于将所述装配部安装在所述封装件,所述安装部件与所述装配部的主面和所述装配部的侧面接触。
[0020]依据本发明,通过安装部件至少从2个方向固定压电振动片,所以互相固接的压电振动片和安装部件变得难以剥落。因此,能得到耐久性更加优异的压电振动器。
[0021]依据本发明的压电振动片,当安装压电振动片时,通过形成在压电板的短边方向的一端部的一对装配部来支撑矩形状的压电板,因此与现有构造那样在长边方向的一端部支撑的情况相比,以装配部为中心的力矩变小。由此,加到装配部的应力减少,因此,即便因压电振动片的小型化而装配部缩小、安装时的固定力减少的情况下,也能抑制装配部中的破损。因此,能得到耐久性优异的小型压电振动片。
【附图说明】
[0022]图1是第I实施方式所涉及的压电振动片的平面图。
[0023]图2是第I实施方式所涉及的压电振动器的分解立体图。
[0024]图3是图2的III 一 III线上的截面图。
[0025]图4是第2实施方式所涉及的压电振动器的截面图。
[0026]图5是第2实施方式所涉及的压电振动片的仰视图。
[0027]图6是第2实施方式所涉及的其他压电振动片的截面图。
[0028]图7是第2实施方式所涉及的其他压电振动片的截面图。
[0029]图8是第2实施方式的变形例所涉及的压电振动器的截面图。
[0030]图9是第3实施方式所涉及的压电振动片的平面图。
[0031]图10是示出压电振动片的其他结构的平面图。
[0032]图11是示出压电振动片的其他结构的平面图。
【具体实施方式】
[0033]以下,基于附图,对本发明的实施方式进行说明。此外,在说明各图的结构时,采用XY’Z’坐标系。该ΧΥ’ Ζ’坐标系中的各轴与后述的石英的晶轴有以下关系。S卩,X轴为电轴,V轴为相对于作为光学轴的Z轴在X轴周围仅倾斜35度15分的轴,Y’轴为与X轴及V轴正交的轴。另外,X轴方向、Y’轴方向及Ζ’轴方向,以图中箭头方向为+方向、与箭头相反的方向为一方向而进行说明。
[0034][第I实施方式]
最先,对第I实施方式的压电振动片及压电振动器进行说明。
[0035]图1是第I实施方式所涉及的压电振动片的平面图。
[0036]如图1所示,压电振动片10具备压电板11、装配电极31、32和激振电极34。
[0037]压电板11利用AT切割石英基板以俯视矩形状形成。在此,AT切割是沿着人工石英的晶轴即电轴(X轴)、机械轴(Y轴)及光学轴(Ζ轴)这三个晶轴之中相对于Z轴在X轴周围仅倾斜35度15分的方向(Ζ’轴方向)切出的加工手法。具有通过AT切割而切出的压电板11的压电振动片10,具有以下优点,S卩,频率温度特性稳定,构造、形状单纯且容易加工,Cl值低。压电板11以使长边方向沿着Ζ’轴方向的方式形成,长边方向(Ζ’轴方向)上的外形尺寸成为短边方向(X轴方向)上的外形尺寸的1.4倍以下。另外,关于压电板11,Y’轴方向为厚度方向,在Y’轴方向的两面具有主面11Α、11Β。
[0038]在压电板11形成有振动部12和安装压电板11的一对装配部21、22。
[0039]振动部12为俯视长方形状,以使长边方向沿着V轴方向的方式形成。在振动部12形成有形成在压电板11的一个主面IlA上的一个激振电极34Α和形成在另一主面IlB上的另一个激振电极34Β。一个激振电极34Α在振动部12的俯视大致中央以矩形状形成。另一个激振电极34Β形成为俯视与形成在一个主面IlA上的一个激振电极34Α重叠。依据该构成,通过对激振电极34Α、34Β施加电压,能够沿X方向使压电板11厚度滑移振动。
[0040]—对装配部21、22在压电板11的短边方向(X轴方向)的一端部形成在长边方向(Ζ’轴方向)的两端部。
[0041]第I装配部21从压电板11的俯视大致中央来看形成在位于(一 X,+ Ζ’)方向的角部。第I装配部21具有形成在压电板11的一个主面IlA上的一个第I装配电极31Α和形成在另一主面IlB上的另一个第I装配电极31Β。一个第I装配电极31Α以俯视矩形状形成,经由迂回布线36Α对一个激振电极34Α连接。另一个第I装配电极31Β俯视下以与一个第I装配电极3IA重叠的方式形成。
[0042]—个第I装配电极3IA和另一个第I装配电极3IB经由形成在第I装配部21的面向一 X方向的侧面以及面向十V方向的侧面的第I侧面电极37而相互连接。
[0043]第2装配部22从压电板11的俯视大致中央来看形成在位于(一 X,一 Ζ’)方向的角部。第2装配部22具有形成在压电板11的一个主面IlA上的一个第2装配电极32Α和形成在另一主面IlB上的另一个第2装配电极32Β。一个第2装配电极32Α以俯视矩形状形成。另一个第2装配电极32Β俯视下以与一个第2装配电极32Α重叠的方式形成。另一个第2装配电极32Β经由迂回布线36Β对另一个激振电极34Β连接。
[0044]—个第2装配电极32A和另一个第2装配电极32B经由形成在第2装配部22的面向一 X方向的侧面以及面向一 V方向的侧面的第2侧面电极38而相互连接。
[0045]接着,对具备压电振动片10
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