有机电致发光元件的图案形成方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及有机电致发光元件的图案形成方法。特别是涉及可正确地形成具有期望的发光亮度的等级的发光图案的有机电致发光元件的图案形成方法。
【背景技术】
[0002]现在，有机发光元件作为薄型的发光材料而受到关注。
[0003]就利用了有机材料的电致发光(electro luminescence:EL)的有机发光元件(以下也称为“有机EL元件”)而言，为在数V?数十V左右的低电压下可发光的薄膜型的完全固体元件，具有高亮度、高发光效率、薄型、轻量这样的许多优异的特征。因此，作为各种显示器的背光、标牌、应急灯等的显示板、照明光源等的面发光体近年来受到关注。
[0004]这样的有机EL元件为在一对电极间配置了至少含有发光层的有机功能层的构成，发光层中产生了的发光光透过电极而被取出到外部。因此，一对电极中的至少一者以透明电极的形式构成，从透明电极侧取出发光光。另外，有机EL元件可以以低电力得到高亮度，在可见性、响应速度、寿命、消耗电力的方面优异。
[0005]在此，提案有如下方法:在这样的有机EL元件中，相对于有机功能层在每个规定区域一边调整曝光量一边照射光，由此在每个规定区域使有机功能层的功能变化、形成具有对应其变化量的发光亮度的等级的发光图案(例如参照专利文献I。)。在该方法中，以随着作为紫外线的强度和照射时间之积的累积光量增大、有机功能层的功能的变化量也一律增大为前提进行紫外线照射。
[0006]然而，本发明人等发现:在通过光照射在有机EL元件形成发光图案的情况下，就有机功能层的功能的变化量而言，即使照射于有机EL元件的光的累积光量[W.s/cm2]为一定，在光的强度[W/cm2]和照射时间[s]的关系不同时，有机功能层的功能的变化量也不同。
[0007]因此，如果仅着眼于累积光量对有机EL元件进行光照，则根据该光的强度和照射时间的关系，有时无法形成具有期望的发光亮度的等级的发光图案。
[0008]现有技术文献
[0009]专利文献
[0010]专利文献1:日本特开2012-28335号公报
【发明内容】
[0011]发明要解决的课题
[0012]本发明是为了解决上述问题.状况而完成的，其解决课题在于提供可正确地形成具有期望的发光亮度的等级的发光图案的有机电致发光元件的图案形成方法。
[0013]用于解决课题的手段
[0014]为了解决本发明涉及的上述课题，对上述问题的原因等进行了研究，结果发现:在照射光时，基于对于因光照射引起的有机功能层的功能的变化的倒易律失效特性、将光的强度及照射时间的至少任一者作为可变因子来进行控制，形成所述发光图案，由此可正确地形成具有期望的发光亮度的等级的发光图案。
[0015]S卩，本发明涉及的上述课题，可通过以下的方案来解决。
[0016]1.一种有机电致发光元件的图案形成方法，其特征在于，其为对在一对电极间具备了有机功能层的有机电致发光元件照射光而形成发光图案的有机电致发光元件的图案形成方法，
[0017]在照射光时，基于对于因光照射引起的上述有机功能层的功能的变化的倒易律失效特性、将光的强度及照射时间的至少任一者作为可变因子进行控制而形成上述发光图案。
[0018]2.根据第I项所述的有机电致发光元件的图案形成方法，其特征在于，基于对于上述因光照射引起的上述有机功能层的功能的变化量和光的强度及照射时间的相互间的关系预先测定而得到了的上述倒易律失效特性、将光的强度及照射时间的至少任一者进行控制而形成上述发光图案。
[0019]3.根据第I项或第2项所述的有机电致发光元件的图案形成方法，其特征在于，上述因光照射引起的上述有机功能层的功能的变化对应于上述有机电致发光元件的发光亮度的变化。
[0020]4.根据第I项?第3项的任一项所述的有机电致发光元件的图案形成方法，其特征在于，将上述光的照射时间设为一定、使该光的强度变化而形成上述发光图案。
[0021]5.根据第I项?第3项的任一项所述的有机电致发光元件的图案形成方法，其特征在于，将上述光的强度设为一定、使该光的照射时间变化而形成上述发光图案。
[0022]6.根据第I项?第5项的任一项所述的有机电致发光元件的图案形成方法，其特征在于，通过上述光照射进行点描绘而形成上述发光图案。
[0023]7.根据第I项?第5项的任一项所述的有机电致发光元件的图案形成方法，其特征在于，通过经由图案形成用掩模的上述光照射来调整上述光的强度而形成上述发光图案。
[0024]发明的效果
[0025]根据本发明，可提供可正确地形成具有期望的发光亮度的等级的发光图案的有机电致发光元件的图案形成方法。
[0026]对于本发明的效果的表现机制乃至作用机制，如以下。
[0027]就本发明涉及的有机电致发光元件的图案形成方法而言，在照射光时，基于对于因光照射引起的有机功能层的功能的变化的倒易律失效特性、将光的强度及照射时间的至少任一者作为可变因子进行控制而形成发光图案，因此可适当地确定对应于期望的发光亮度的光的强度和照射时间，可正确地形成具有期望的发光亮度的等级的发光图案。
[0028]另外，根据本发明，可适当地确定对应于期望的发光亮度的光的强度和照射时间，因此可以以必要最小限的累积光量进行有机电致发光元件的光照射，可高效率地进行有机电致发光元件的图案形成。
【附图说明】
[0029]图1为以不同的光的强度对有机EL元件照射了波长404nm的光时的累积光量和有机EL元件的相对发光亮度的关系的图表。
[0030]图2为以不同的光的强度对有机EL元件照射了波长365nm的光时的累积光量和有机EL元件的相对发光亮度的关系的图表。
[0031]图3为以不同的光的强度对有机EL元件照射了波长385nm的光时的累积光量和有机EL元件的相对发光亮度的关系的图表。
[0032]图4为表示为了得到相对发光亮度0.1的图案所需要的光的强度和照射时间的关系的图表。
[0033]图5为为了得到各相对发光亮度的图案所需要的光的强度和照射时间的关系图。
[0034]图6为表不相对于各相对发光亮度的光的强度D及照射时间t的图。
[0035]图7为发光图案形成装置的概略构成图。
[0036]图8为表示相对于各相对发光亮度的LD光源的照射功率P及LD电流I的图
[0037]图9为表不相对于各相对发光亮度的透光率T的图。
【具体实施方式】
[0038]本发明的有机电致发光元件的制造方法的特征在于，在照射光时，基于对于因光照射引起的上述有机功能层的功能的变化的倒易律失效特性、将光的强度及照射时间的至少任一者作为可变因子而进行控制来形成上述发光图案。该特征为与本发明第I方面?第7方面的各方面涉及的发明共通的技术特征。
[0039]另外，本发明优选基于对上述因光照射引起的上述有机功能层的功能的变化量和光的强度及照射时间的相互间的关系预先进行测定而得到的上述倒易律失效特性、对光的强度及照射时间的至少任一者进行控制而形成上述发光图案。由此，可适当地确定对应于期望的发光亮度的光的强度和照射时间，可正确地形成具有期望的发光亮度的等级的发光图案。
[0040]另外，本发明优选将上述光的照射时间设为一定、使该光的强度变化而形成发光图案。由此，例如在通过激光照射来形成上述发光图案的情况下等，可使用现有的照射位置扫描技术，可容易地进行有机EL元件的图案形成，同时可降低图案形成的成本。
[0041]另外，本发明优选将上述光的强度设为一定、使该光的照射时间变化而形成上述发光图案。由此，由于不需要使光的强度变化，因此不需要在光强度的监视中具有宽的动态范围、良好的S/N比的光检测器、放大器。因此，可容易地进行有机EL元件的图案形成、同时可使图案形成的成本降低。
[0042]另外，本发明优选通过上述光照射进行点描绘而形成上述发光图案。由此，可对有机电致发光元件高精度地形成发光图案。
[0043]另外，本发明优选通过经由了图案形成用掩模的上述光照射调整上述光的强度而形成上述发光图案。由此，可对有机电致发光元件容易地形成发光图案。
[0044]以下，对本发明和其构成要素、及用于实施本发明的方式.形态进行详细的说明。予以说明，在本申请中，“?”以含有其前后所记载的数值作为下限值及上限值的含义来使用。
[0045]《有机电致发光元件的构成》
[0046]本发明中，在以下对于有机电致发光元件(以下，也称为“有机EL元件”。)的构成进行说明。
[0047]就有机EL元件而言，在基板上依次层叠第I电极、有机功能层及第2电极而构成。另外，也可以以如下构成:在第I电极的端部设置取出电极而经由该取出电极将外部电源(省略图示)连接于第I电极。有机EL元件以发光光从基板侧或其相反面侧取出的方式构成。
[0048]有机EL元件的层结构没有特别限定，可以为以往公知的一般的层结构。例如，第I电极作为正极(即阳极)发挥功能、第2电极作为负极(即阴极)发挥功能。此时，例如，有机功能层可形成从作为正极的第I电极侧依次层叠了空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子传输层/电子注入层的构成，但需要至少具有使用有机材料而构成了的发光层。空穴注入层及空穴传输层可以作为空穴传输注入层来设置，电子传输层及电子注入层可以作为电子传输注入层来设置。另外，这些有机功能层中，例如电子注入层也有时由无机材料构成。
[0049]另外，有机功能层也可以为除这些层以外还根据需要在必要处层叠了空穴阻挡层、电子阻挡层等的构成。进而，发光层也可以形成具有产生各波长区域的发光光的各色发光层、使这些各色发光层经由非发光性的中间层而层叠了的构成。中间层也可以作为空穴阻挡层、电子阻挡层来发挥功能。
[0050]另外，作为负极的第2电极也可以为根据需要的层叠结构。另外，以实现第I电极的低电阻化为目的，也可以与第I电极相接而设置辅助电极。
[0051]在这样的构成中，仅仅用第I电极和第2电极夹持了有机功能层的部分(从层叠方向来看，第I电极、有机功能层及第2电极重叠的区域)成为有机EL元件的发光区域。
[0052]就如以上构成的有机EL元件而言，以防止使用有机材料等而构成了的有机功能层的劣化为目的，在基板上用后述的密封材料进行密封。但是，第I电极、第2电极或取出电极的端子部分以在基板上互相保持了绝缘性的状态从密封材料露出。
[0053]对于如以上构成的有机EL元件，通过以下的图案形成方法，形成具有期望的发光亮度的等级的发光图案。
[0054]《有机EL元件的图案形成方法》
[0055](I