梯型弹性波滤波器及使用该弹性波滤波器的天线双工器的制造方法
【专利说明】
[0001] 本申请是申请日为2012年6月21日、题为"梯型弹性波滤波器及使用该弹性波滤 波器的天线双工器"的发明专利申请201280002042.8的分案申请。
技术领域
[0002] 本发明设及一种梯型弹性波滤波器及使用该梯型弹性波滤波器的天线双工器。
【背景技术】
[0003] 如图10所示，现有技术中的梯型弹性波滤波器101包括压电基板120、形成在压电 基板120上的具有串联谐振器中最低的谐振频率的第1串联谐振器103、W及形成在压电 基板120上且W覆盖第1串联谐振器103的方式形成的电介质膜106。还包括形成在压电 基板120上且具有比第1串联谐振器高的谐振频率的第2串联谐振器105、W及W覆盖第2 串联谐振器105的方式形成在压电基板120上的电介质膜107。
[0004] 在该结构中，电介质膜106的膜厚化与电介质膜107的膜厚化相等。
[0005] 另外，作为与该技术相关的现有技术文献，例如公知有专利文献1。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献
[000引专利文献1 ;国际公开第2010/146826号小册子
【发明内容】
[0009] 在现有的梯型弹性波滤波器101中，第1串联谐振器103是在串联谐振器中具有 最低的谐振频率的串联谐振器，因此梯型弹性波滤波器101的通带的高频侧截止频率附近 的第1串联谐振器103的功耗比另一个串联谐振器105的功耗大。因此，第1串联谐振器103 中的发热量增大，第1串联谐振器103的频率温度依赖性（TCF;TemperatureCoefficient of化equency)引起的特性的频率变动量比第2串联谐振器105的特性的频率变动量大。 其结果，存在梯型弹性波滤波器101的通过特性劣化的问题。
[0010] 因此，本发明的目的在于抑制梯型弹性波滤波器的通过特性劣化。
[0011] 为了实现上述目的，本发明的梯型弹性波滤波器包括在多个串联谐振器中具有最 低的谐振频率的第1串联谐振器、W及具有比第1串联谐振器的谐振频率高的谐振频率的 第2串联谐振器，第1串联谐振器的形成区域中的电介质膜的膜厚比第2串联谐振器的形 成区域中的电介质膜的膜厚厚。
[0012] 根据上述结构，第1串联谐振器的特性的频率温度依赖性小于第2串联谐振器的 特性的频率温度依赖性。其结果，即使第1串联谐振器的功耗比第2串联谐振器的功耗大 从而发热量增大，第1串联谐振器的特性的频率变动量也被抑制。由此，能够抑制梯型弹性 波滤波器的通过特性的劣化。
【附图说明】
[0013] 图1是本发明的实施方式1及实施方式2的梯型弹性波滤波器的电路框图。
[0014]图2是表示该梯型弹性波滤波器的各串联谐振器的导纳特性的图。
[0015] 图3是该梯型弹性波滤波器的剖面示意图。
[0016]图4是表示该梯型弹性波滤波器和各串联谐振器的通过特性的图。
[0017] 图5是该梯型弹性波滤波器的剖面示意图。
[001引图6是该梯型弹性波滤波器的剖面示意图。
[0019] 图7是该梯型弹性波滤波器的剖面示意图。
[0020] 图8是本发明的实施方式2的梯型弹性波滤波器的剖面示意图。
[0021] 图9是本发明的实施方式3的天线双工器的电路框图。
[0022] 图10是现有技术中的梯型弹性波滤波器的剖面示意图。
【具体实施方式】
[0023](实施方式1)
[0024] W下，参照【附图说明】本发明的实施方式1的梯型弹性波滤波器1。
[0025] 图1是实施方式1的梯型弹性波滤波器1中的一个实施方式的电路框图。在图1 中，梯型弹性波滤波器1例如在输入端子11与输出端子12之间具有从输入端子11侧依次 连接的串联谐振器2、3、4、5。此外，梯型弹性波滤波器1包括在串联谐振器2、3的连接部 分与接地端子13之间连接的并联谐振器8、在串联谐振器3、4的连接部分与接地端子13之 间连接的并联谐振器9、W及在串联谐振器4、5的连接部分与接地端子13之间连接的并联 谐振器10。
[0026] 另外，（表1)表示各串联谐振器2、3、4、5的（1)谐振器的分割数（级数）、（2) IDT(InterDigitalTrans化cer)的电极指间距（其被设为主要弹性波的波长A的1/2)、 (3)IDT电极指个数、（4)夹着IDT的反射器的个数、（5)IDT电极指交叉宽度、化）占空比 (电极宽度/间距）的一个实施方式。
[00別表1 [002引
【主权项】
1. 一种梯型弹性波滤波器，包括： 基板； 输入端子； 输出端子；以及 多个串联谐振器，形成在所述基板上，并且连接在所述输入端子和所述输出端子之间， 所述多个串联谐振器包括第一串联谐振器和第二串联谐振器，所述第一串联谐振器具有在 所述多个串联谐振器中最低的谐振频率，所述第二串联谐振器具有比所述第一串联谐振器 的谐振频率高的谐振频率，所述第一串联谐振器的频率温度依赖性小于所述第二串联谐振 器的频率温度依赖性。
2. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，其中所述第一串联谐振器的通过特性的 频率温度依赖性小于所述第二串联谐振器的通过特性的频率温度依赖性。
3. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，还包括： 接地端子；以及 至少一个并联谐振器，形成在所述基板上，并且连接在所述串联谐振器和所述接地端 子之间。
4. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，其中所述基板包括压电基板。
5. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，还包括：附着在所述多个串联谐振器中 的至少一个上的电介质膜。
6. 根据权利要求5所述的梯型弹性波滤波器，其中所述电介质膜具有与所述基板的频 率温度依赖性相反的频率温度依赖性。
7. 根据权利要求5所述的梯型弹性波滤波器，其中所述第一串联谐振器的形成区域中 的所述电介质膜的膜厚大于所述第二串联谐振器的形成区域中的所述电介质膜的膜厚。
8. 根据权利要求5所述的梯型弹性波滤波器，其中所述第一串联谐振器的形成区域中 的所述电介质膜的膜厚大于所述基板的其它区域中的所述电介质膜的膜厚。
9. 根据权利要求5所述的梯型弹性波滤波器，其中所述电介质膜由二氧化硅形成。
10. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，其中所述第一串联谐振器的占空比小 于所述第二串联谐振器的占空比。
11. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，其中所述第一串联谐振器具有所述多 个串联谐振器中最小的占空比。
12. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，其中所述第一串联谐振器的反谐振频 率低于所述第二串联谐振器的反谐振频率。
13. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，其中所述第一串联谐振器的电容量大 于所述第二串联谐振器的电容量。
14. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，其中所述第一串联谐振器具有比所述 第二串联谐振器多的叉指换能器电极指。
15. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，其中所述第一串联谐振器从所述输入 端子侧开始连接在第二级以后。
16. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，其中所述第一串联谐振器配置在与所 述输入端子相比更靠近所述输出端子的串联臂上。
17. 根据权利要求1所述的梯型弹性波滤波器，其中所述第一串联谐振器配置在最靠 近所述输出端子的串联臂上。
18. -种天线双工器，包括： 根据权利要求1-17中的任一项所述的梯型弹性波滤波器；以及 具有比所述梯型弹性波滤波器的通带更高的通带的滤波器。
19. 一种电子设备，包括根据权利要求18所述的天线双工器。
20. 根据权利要求19所述的电子设备，其中所述电子设备是移动电话。
【专利摘要】本发明涉及梯型弹性波滤波器及使用该弹性波滤波器的天线双工器。梯型弹性波滤波器包括第一串联谐振器和第二串联谐振器，所述第一串联谐振器具有最低的谐振频率，所述第二串联谐振器具有比所述第一串联谐振器的谐振频率高的谐振频率，所述第一串联谐振器的频率温度依赖性小于所述第二串联谐振器的频率温度依赖性。结果，可以抑制第一串联谐振器的频率变动量。
【IPC分类】H03H9-64, H03H9-72, H03H9-145
【公开号】CN104702239
【申请号】CN201510007289
【发明人】鹤成哲也, 藤原城二, 中村弘幸, 中西秀和
【申请人】天工松下滤波方案日本有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2012年6月21日
【公告号】CN103004085A, CN103004085B, US20130162368, WO2012176455A1