专利名称：弹性波元件和弹性波滤波器的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及具有相互对置的多个电极的弹性波元件和弹性波滤波器。
背景技术：
弹性波元件用于便携式电话等的通信设备的高频滤波器等弹性波滤波器中。图8A 是专利文献1所记载的现有的弹性波元件70A的俯视图。弹性波元件70A是弹性波谐振器。 弹性波元件70A具有在压电基板上形成的叉指式换能器(inter-digital transducer) 电极71 ；和在压电基板上形成的反射器电极72、73。IDT电极71具有相互对置的梳齿电极 71A、71B。梳齿电极7IA的交叉电极指71D与梳齿电极71B的交叉电极指71H交叉。反射器电极72、73形成在被IDT电极71激振的弹性波的传输方向的两侧。梳齿电极7IA由汇流条71C、与汇流条71C电连接的多个交叉电极指71D、和与梳齿电极71B的交叉电极指71H对置且与汇流条71C电连接的虚设电极指71F构成。此外， 梳齿电极71B由汇流条71G、与汇流条71G电连接的多个交叉电极指71H、和与梳齿电极7IA 的交叉电极指71D对置且与汇流条71G电连接的虚设电极指71J构成。能够通过设置在非交叉区域75A、75C的虚设电极指71F、71J，将无用的谐振成分艮口横模杂散(transverse mode spurious)封闭于这些区域。图8B是专利文献1所记载的其它现有弹性波元件70B的俯视图。弹性波元件70B 是弹性波谐振器。在图8B中，对与图8A中所示的弹性波元件70A相同部分赋予相同的参考标号。梳齿电极71A具有在非交叉区域75A设置有交叉电极指71D与虚设电极指71F的间隙部的加权部71K。此外，梳齿电极71B具有在非交叉区域75C设置有交叉电极指71H与虚设电极指71J的间隙部的加权部71M。通过使加权部71K、71M的大小沿汇流条71C、71G逐渐变化，能有效抑制被虚设电极指71F、71J封闭住的横模杂散。在弹性波元件70A中，IDT电极71与反射器电极72之间、或IDT电极71与反射器电极73之间有短路的可能性，会使特性变差。此外，在弹性波元件70B中，IDT电极71与反射器电极72之间、或IDT电极71与反射器电极73之间有可能更频繁地发生短路。以下，对更显著发生短路的弹性波元件70B进行说明。图9A-图9H是表示弹性波元件70B的制造方法的剖视图。首先，如图9A所示，在由LiTa03等压电材料构成的基板81的上表面，利用蒸镀或溅射等方法来成膜电极膜82。 接着，如图9B所示，在电极膜82的上表面形成抗蚀膜83。接着，如图9C所示，利用光刻技术，将抗蚀膜83加工成希望的形状。接着，如图9D所示，利用干法蚀刻技术等，将电极膜82 加工成IDT电极71或反射器电极72、73等所希望的形状之后，去除抗蚀膜83。接着，如图 9E所示，以覆盖电极膜82的方式，利用蒸镀或溅射等的成膜方法来形成由SiO2等的电介质的薄膜构成的保护膜84。接着，如图9F所示，在保护膜84的表面形成抗蚀膜85。接着，如图9G所示，利用曝光和显影技术等，将抗蚀膜85加工成希望的形状。接着，如图9H所示， 用于进行电信号的输入输出的焊盘86等，利用干法蚀刻技术等，去除掉保护膜84无用的部
7分，然后，去除抗蚀膜85。最后，通过进行切片(dicing)而分割成各个芯片之后，通过上芯 (die bond)等将芯片安装于封装件，并进行线焊(wireb onding)之后，通过熔接等来固定盖而进行气密性密封，由此能制造弹性波元件70B。图IOA-图IOC是详细表示图9B-图9D所示的弹性波元件70B从抗蚀膜83的曝光到抗蚀膜83的去除的工序的剖视图。尤其，图IOC是图8B所示的弹性波元件70B的线 10C-10C的剖视图。如图IOA所示，对抗蚀膜83照射通过掩模91的来自光源的曝光光，然后，通过进行显影处理，仅在未曝光的部分残存抗蚀膜83。掩模91中所包含的掩模部分91B是用于形成IDT电极71的掩模部分，掩模部分91A、91C是用于分别形成反射器电极72、73的掩模部分。如图IOB所示，图IOA所示的抗蚀膜83在曝光和显影处理后成为抗蚀膜83A。有时，会在形成反射器电极72、73的抗蚀膜92A、92C分别与形成IDT电极71的抗蚀膜92B之间残存无用的抗蚀膜93。若通过无用的抗蚀膜93的残存的图IOB所示的抗蚀膜83A而对电极膜82进行干法蚀刻，则如图IOC所示，无法充分去除电极膜82，而使无用电极膜94残存，会发生使IDT电极71与反射器电极72、或IDT电极71与反射器电极73短路的情况，使弹性波元件70B的特性变差。专利文献1 JP特开2006-352764号公报
发明内容
一种弹性波元件，其具有叉指式换能器(IDT)电极和与IDT电极对置的第一其它电极。IDT电极具有相互对置的第一和第二梳齿电极。第一梳齿电极具有第一汇流条、多个第一交叉电极指和多个第一虚设电极指。第二梳齿电极具有第二汇流条、在交叉区域与多个第一交叉电极指交叉的多个第二交叉电极指、与多个第一交叉电极指分别对置的多个第二虚设电极指、多个加权部和非加权部。多个加权部由在所述多个第二交叉电极指与所述多个第二虚设电极指之间的间隙部设置的电极构成。在非加权部中，在非交叉区域，在间隙部之中与其它电极最近的间隙部未设置电极。该弹性波元件可防止IDT电极与其它电极的短路、且具有优异的抑制无用波的特性。
图IA是本发明的实施方式1的弹性波元件的俯视图。图IB是表示实施方式1的弹性波元件的制造工序的剖视图。图IC是表示实施方式1的弹性波元件的制造工序的剖视图。图ID是表示实施方式1的弹性波元件的制造工序的剖视图。图IE是表示实施方式1的弹性波元件的制造工序的剖视图。图2A是表示实施方式1的弹性波元件的制造工序的剖视图。图2B是表示实施方式1的弹性波元件的制造工序的剖视图。图2C是表示实施方式1的弹性波元件的制造工序的剖视图。图2D是表示实施方式1的另一弹性波元件的剖视图。
图2E是实施方式1的弹性波滤波器的电路图。图3是本发明的实施方式2的弹性波滤波器的俯视图。图4是本发明的实施方式2的另一弹性波滤波器的俯视图。图5A是本发明的实施方式3的弹性波滤波器的俯视图。图5B是实施方式3的另一弹性波滤波器的俯视图。图5C是实施方式3的其它另一弹性波滤波器的俯视图。图6A是实施方式3的其它另一弹性波滤波器的俯视图。图6B是实施方式3的其它另一弹性波滤波器的俯视图。图6C是实施方式3的其它另一弹性波滤波器的俯视图。图7A是本发明的实施方式4的弹性波滤波器的俯视图。图7B是本发明的实施方式4的另一弹性波滤波器的俯视图。图8A是现有弹性波元件的俯视图。图8B是另一现有弹性波元件的俯视图。图9A是表示图8B所示的现有弹性波元件的制造工序的剖视图。图9B是表示图8B所示的现有弹性波元件的制造工序的剖视图。图9C是表示图8B所示的现有弹性波元件的制造工序的剖视图。图9D是表示图8B所示的现有弹性波元件的制造工序的剖视图。图9E是表示图8B所示的现有弹性波元件的制造工序的剖视图。图9F是表示图8B所示的现有弹性波元件的制造工序的剖视图。图9G是表示图8B所示的现有弹性波元件的制造工序的剖视图。图9H是表示图8B所示的现有弹性波元件的制造工序的剖视图。图IOA是表示图8B所示的现有弹性波元件的制造工序的剖视图。图IOB是表示图8B所示的现有弹性波元件的制造工序的剖视图。图IOC是表示图8B所示的现有弹性波元件的制造工序的剖视图。
具体实施例方式(实施方式1)图IA是本发明的实施方式1的弹性波元件10的俯视图。弹性波元件10具有压电基板21 ；压电基板21的表面21A上所形成的叉指式换能器(IDT)电极11 ；和压电基板 21的表面21A上所设置的反射器电极12、13。IDT电极11和反射器电极12、13由铝或银、 金、钼、钛、铜、或者它们的合金等的导电材料构成。反射器电极12、13是与IDT电极不同的其它电极。IDT电极11具有相互对置梳齿电极11A、11B。通过IDT电极11被励振的弹性波沿表面21A向方向IOA传播。反射器电极12、13被设置于IDT电极11的方向IOA的两侧。即，以IDT电极11位于反射器电极12、13之间的方式，在方向IOA上排列了 IDT电极 11和反射器电极12、13。由上述电极材料构成的梳齿电极IlA包括沿方向IOA延伸的汇流条IlC ；从汇流条IlC向梳齿电极11B、沿与方向IOA不同的方向即实际呈直角的方向IOB延伸的多个交叉电极指IlD ；和从汇流条IlC向梳齿电极11B、沿方向IOB延伸的多个虚设电极指11F。由上述导电材料构成的梳齿电极IlB包括沿方向IOA延伸的汇流条IlG ；从汇流条IlG向梳齿电极11A、沿与方向IOB相反的方向IOD延伸的多个交叉电极指IlH ；和从汇流条IlG向梳齿电极11A、沿方向IOD延伸的多个虚设电极指11J。多个交叉电极指11H，在交叉区域 15A与梳齿电极IlA的多个交叉电极指IlD进行交叉，S卩，在方向IOA上，与多个交叉电极指 IlH重合。此外，多个交叉电极指11H，在方向IOD上，分别与梳齿电极IlA的多个虚设电极指IlF相对置。梳齿电极IlB的多个虚设电极指11J，在方向IOD上，分别与梳齿电极IlA 的多个交叉电极指IlD相对置。汇流条IlG的与梳齿电极IlA最近的一端911B，以直线状沿方向IOA 伸。汇流条IlC的与梳齿电极IlB最近的一端911A，以直线状沿方向IOA延伸。梳齿电极IlA还包括由电极构成的多个加权部11K。多个加权部IlK被设置于多个交叉电极指IlD与多个虚设电极指IlF之间的间隙部，并且被设置在表面21A的交叉区域15A以外的非交叉区域15B。此外，梳齿电极IlA还包括被设置于非交叉区域15B的非加权部11L。在多个交叉电极指IlD和多个虚设电极指IlF之中，最外侧电极指IlR与反射器电极12最近。非加权部IlL被设置于与最外侧电极指IlR相邻的电极指IlV和最外侧电极指IlR之间的间隙部。在非加权部IlL未设置电极。此外，梳齿电极IlA还包括被设置于非交叉区域15B的非加权部IIP。在多个交叉电极指IlD和多个虚设电极指IlF之中，最外侧电极指IlS与反射器电极13最近。非加权部IlP被设置于与最外侧电极指IlS相邻的电极指IlW和最外侧电极指IlS之间的间隙部。在非加权部IlP未设置电极。梳齿电极IlB还包括由上述导电材料构成的多个加权部11M。多个加权部IlM被设置于多个交叉电极指IlH与多个虚设电极指IlJ之间的间隙部，并且被设置在表面21A 的非交叉区域15B。此外，梳齿电极IlB还包括被设置于非交叉区域15B的非加权部11N。在多个交叉电极指IlH和多个虚设电极指IlJ之中，最外侧电极指IlT与反射器电极12最近。非加权部IlN被设置于与最外侧电极指IlT相邻的电极指IlX和最外侧电极指IlT之间的间隙部。在非加权部IlN中未设置电极。此外，梳齿电极IlB还包括被设置于非交叉区域15B的非加权部11Q。在多个交叉电极指IlH和多个虚设电极指IlJ之中，最外侧电极指IlU与反射器电极13最近。非加权部IlQ被设置于与最外侧电极指IlU相邻的电极指IlY和最外侧电极指IlU之间的间隙部。在非加权部IlQ中未设置电极。通过非加权部11L、11N、11P、11Q，能够防止反射器电极12、13分别与IDT电极11
的短路。并且，在非加权部IlLUlP中，最外侧电极指IlRUlS有可能分别和与它们相邻的电极指IlVUlW短路。但是，因为最外侧电极指IlR与电极指IlV同电位，最外侧电极指 lis与电极指IlW同电位，所以即使发生短路也不会影响特性。此外，在非加权部IlNUlQ 中，最外侧电极指IlTUiu有可能分别和与它们相邻的电极指IlXUlY短路。但是，因为最外侧电极指IlT与电极指IlX同电位，最外侧电极指IlU与电极指IlY同电位，所以即使发生短路也不会影响特性。对弹性波元件10的制造方法进行说明。从图IB至图IE是表示弹性波元件10的制造方法的剖视图。首先，如图IB所示，在压电基板21的表面21A，利用蒸镀或溅射等方法，通过上述导电材料来成膜电极膜22。接着，如图IC所示，在电极膜22的上表面形成抗蚀膜23。接着，如图ID所示，利用光刻技术将抗蚀膜23加工成希望的形状。接着，如图IE 所示，利用干法蚀刻技术等将电极膜22加工成IDT电极11或反射器电极12、13等希望的形状之后，去除抗蚀膜23。从图2A至图2C是表示弹性波元件10的制造方法的细节的剖视图，表示从图IC 所示的抗蚀膜23的曝光到图IE所示的抗蚀膜23的去除的工序的细节。尤其，图2C是图 IA所示的弹性波元件10的线2C-2C的剖视图。如图2A所示，准备具有使光通过的开口部和不使光透过的遮光部的掩模M。对抗蚀膜照射通过掩模的来自光源的激光。掩模M具有形成IDT电极11的掩模部分24B ；和形成反射器电极12、13的掩模部分24A、24C。掩模部分24B具有位于两端的遮光部分224B 的内侧的开口部分25。开口部分25形成图IA所示的非加权部11L、11N。将具有遮光部和开口部的掩模中开口部的面积相对于某部分的整个面积的比率定义为该部分的开口率。在用于形成图8B所示的现有的弹性波元件70B的图IOA所示的掩模91的掩模部分91B中，未形成图2A所示的开口部分25。其结果是，掩模部分MB、24A 之间的位置附近的开口率和掩模部分24B、24C之间的位置附近的开口率，比图IOA所示的掩模部分91B、91A之间的位置附近的开口率或掩模部分91B、91C之间的位置附近的开口率大。其结果是，能确保充分的曝光量，且如图2B所示，在抗蚀膜23A中不会残存无用的抗蚀膜，作为结果，如图2C所示，在抗蚀膜22A中不会残存无用的抗蚀膜。因此，能防止IDT 电极11与反射器电极12的短路、或IDT电极11与反射器电极13的短路。在图8B所示的现有的弹性波元件70B中，图IOA所示的抗蚀膜83在曝光和显影处理后，如图IOB所示，成为抗蚀膜83A。有时，在形成反射器电极72、73的抗蚀膜92A、92C的各自与形成IDT电极71的抗蚀膜92B之间会残存无用的抗蚀膜93。为了形成加权部71K， 在掩模部分91B的两端部分的开口率变小。即，在掩模部分91B、91A之间的部分的开口率和掩模部分91B、91C之间的部分的开口率，与其它区域相比变小。因此，无法将充分量的曝光光照射到抗蚀膜83的这些部分，会残存无用的抗蚀膜93。尤其，弹性波元件70B的工作频率越高，间隔部74的间隔越窄，因此无用的抗蚀部93容易残存。在图IA所示的实施方式1的弹性波元件10中，通过非加权部11L、11N、11T、11U， 能使IDT电极11与反射器电极12之间的间隔部14的开口率、或IDT电极11与反射器电极13之间的间隔部的开口率变大，能防止IDT电极11与反射器电极12的短路、或IDT电极11与反射器电极13的短路。在实施方式1的弹性波元件10的梳齿电极IlAUlB中，非加权部11L、11N、IIP、和 11Q，分别被设置于最外侧电极指IlR与电极指IlV之间、最外侧电极指IlT与电极指IlX 之间、最外侧电极指IlS与电极指IlW之间、和最外侧电极指IlU与电极指IlY之间。在实施方式1中，梳齿电极IlAUlB的未设置电极的非加权部也可以分别设置在电极指IlV与在比电极指IlV更内侧处相邻的电极指之间的间隙部、电极指IlW与在比电极指IlW更内侧处相邻的电极指之间的间隙部、电极指1IX与在比电极指1IX更内侧处相邻的电极指之间的间隙部、和电极指IlY与在比电极指IlY更内侧处相邻的电极指之间的间隙部。由此，开口率进一步增大，能进一步抑制由IDT电极11与反射器电极12、13的短路所导致的成品率的恶化。如图IA所示，也可以使加权部IlK在方向IOB上的宽度从汇流条IlC的中央部向反射器电极12、13逐渐增大，并且使加权部IlM在方向IOB上的宽度从汇流条IlG的中央部向反射器电极12、13逐渐增大，由此，能抑制无用波。但是，由于在接近反射器电极12、13 的IDT电极11的部分，加权部IlKUlM的宽度增大，因此，在现有的弹性波元件70B中，IDT 电极11与反射器电极12、13有可能短路。在实施方式1的弹性波元件10中，通过非加权部11L、11N，能够使IDT电极11与反射器电极12、13不发生短路而改善制造成品率，并且有效抑制无用波。通过非加权部11L、11N，由于能封闭住无用波的加权部1 IK、1IM的宽度在最外侧不连续，因此，能够提高无用波的散射。因此，实施方式1的弹性波元件10与图8B所示的现有的弹性波元件70B相比，能够进一步增强对无用波的抑制。当反射器电极12、13各自与IDT电极11的距离为相互相邻的交叉电极指与虚设电极指之间的间隔以下时，在图8B所示的现有的弹性波元件70B中，IDT电极71与反射器电极72、73短路的可能性进一步增大。在实施方式1的弹性波元件10中，即使为相互相邻的交叉电极指与虚设电极指之间的间隔以下时，也能够防止IDT电极11与反射器电极12、 13短路。通过由铌酸锂(LiNbO3)形成压电基板21，能够提高电设备结合系数，得到低损耗的弹性波元件10。但是，此时，由于无用波即横模成分的电设备结合系数也增大，因此需要更广泛地抑制加权部11K、11M。其结果是，在由LiNbO3B成压电基板时，在图8B所示的现有的弹性波元件70B中，IDT电极71与反射电极指72、73短路的可能性进一步增大。在实施方式1的弹性波元件10中，即使在这种情况下，也能够防止IDT电极11与反射器12、13 短路，并且，得到良好的抑制无用波的特性。图2D是实施方式1的另一弹性波元件1001的剖视图。在图2D中，对与图IA和图 2C所示的弹性波元件10相同部分赋予相同参考标号。在通过从图2A至图2C所示的制造工序对弹性波元件10进行制造之后，与从图9E至图9H所示的现有的弹性波元件70B的制造方法同样，通过在压电基板21的表面21A上形成覆盖IDT电极11、反射器电极12、13的由SiO2等电介质的薄膜构成的保护膜184，能够制造弹性波元件1001。在弹性波元件1001 中，在-15度至+15度的Y切LiNbO3基板上形成压电基板21。虽然弹性波元件1001或使用它的弹性波滤波器在宽频带具有良好的温度特性，但易于出现由横模引起的杂散。此外， 由于利用SiO2等的电介质的薄膜即保护膜184，使弹性波的音速下降，因此，IDT电极11的间距、或反射器电极12、13各自与IDT电极11之间的间隔变窄。在弹性波元件1001中，能够提高在加权部11K、1 IM抑制杂散的效果，通过非加权部11L、11N、11P、11Q，能够防止反射器电极12、13与IDT电极11的短路。图2E是实施方式1的弹性波滤波器1002的电路图。弹性波滤波器1002是将串联臂弹性波元件1002A与并联臂弹性波元件1002B进行连接而构成的梯型弹性波滤波器。 弹性波元件1002A、1002B是弹性波元件10 (1001)。弹性波滤波器1002能防止电极的短路， 因此能防止因短路而引起的特性变差。(实施方式2)
图3是本发明的实施方式2的弹性波滤波器30的俯视图。弹性波滤波器30包括具有使弹性波传播的表面2001A的压电基板2001 ；IDT电极31A、31B、31C ；反射器电极 32、33。这些电极被设置在压电基板2001的表面200IA上，且在弹性波传播的方向30A上排列。在弹性波滤波器30中，对IDT电极31B输入信号，从IDT电极31A、31C输出信号。 IDT电极31A具有在与方向30A不同的方向即实际呈直角的方向30B上相互对置的梳齿电极131A、231A。IDT电极31B具有在方向30B上相互对置的梳齿电极131B、231B。IDT电极 31C具有在方向30B上相互对置的梳齿电极131C、231C。被输入信号的输入端子30E与IDT 电极31B的梳齿电极131B连接。被输出信号的输出端子30F与IDT电极31A、31C的梳齿电极231A、231C连接。IDT电极31A-31C的梳齿电极131A、231B、131C通过与接地连接而被接地。IDT电极31A的梳齿电极131A、231A在方向30A上与反射器电极32对置。IDT电极31A的梳齿电极131A、231A在方向30A上分别与IDT电极31B的梳齿电极131B、231B对置。IDT电极31B的梳齿电极131B、231B在方向30A上分别与IDT电极31C梳齿电极131C、 231C对置。IDT电极31C的梳齿电极131C、231C在方向30A上与反射器电极33对置。IDT电极31A、31C具有与图IA所示的实施方式1的IDT电极11相同的构造。IDT 电极31B虽然具有与图8B所示的现有的弹性波元件70B相同的构造，但也可以具有与图IA 所示的实施方式1的IDT电极11相同的构造。弹性波滤波器30的IDT电极31A、反射器电极32和IDT电极3IB的位置，分别与图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的IDT电极11、作为其它电极的反射器电极12和作为其它电极的反射器电极13的位置相同。在IDT电极31A中，与实施方式1的IDT电极 11同样，梳齿电极131A具有与图IA所示的梳齿电极IlA的非加权部IlLUlP具有相同构造的非加权部31L、31P。由此，能够防止与相邻于梳齿电极131A的作为其它电极的IDT电极31B的梳齿电极131B、或反射器电极32的短路。此外，梳齿电极231A具有与图IA所示的梳齿电极IlB的非加权部IlNUlQ具有相同构造的非加权部31N、31Q。由此，能够防止与相邻于梳齿电极231A的作为其它电极的IDT电极31B的梳齿电极231B、或反射器电极32 的短路。弹性波滤波器30的IDT电极31C、IDT电极31B和反射器电极33的位置，分别与图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的IDT电极11、作为其它电极的反射器电极12和作为其它电极的反射器电极13的位置相同。在IDT电极31C中，与实施方式1的IDT电极 11同样，梳齿电极131C具有与图IA所示的梳齿电极IlA的非加权部IlLUlP具有相同构造的非加权部131L、131P。由此，能够防止与相邻于梳齿电极131C的作为其它电极的IDT 电极31B的梳齿电极131B、或反射器电极32的短路。此外，梳齿电极231C具有与图IA所示的梳齿电极IlB的非加权部111110具有相同构造的非加权部13例、1310。由此，能够防止与相邻于梳齿电极231C的作为其它电极的IDT电极31B的梳齿电极231B、或反射器电极 32的短路。在IDT电极31B的两侧所配置的IDT电极31A、31C具有非加权部，因此，能够在 IDT电极31A、31B之间的部分、和在IDT电极31C、31B之间的部分增大开口率。因此，IDT 电极31B的梳齿电极131B、231B可以不必具有非加权部。图4是实施方式2的另一弹性波滤波器40的俯视图。弹性波滤波器40包括具有使弹性波传播的表面3001A的压电基板3001 ；IDT电极41A、41B、41C ；反射器电极42、43。 这些电极被设置在压电基板3001的表面3001A上，且在弹性波传播的方向40A上排列。在弹性波滤波器40中，对IDT电极41B输入信号，从IDT电极41A、41C输出信号。IDT电极 41A具有在与方向40A不同的方向即实际呈直角的方向40B上相互对置的梳齿电极141A、 MIA。IDT电极41B具有在方向40B上相互对置的梳齿电极141B、241B。IDT电极41C具有在方向40B上相互对置的梳齿电极141C、241C。被输入信号的输入端子40E与IDT电极41B 的梳齿电极MlB连接。被输出信号的输出端子40F与IDT电极41A、41C梳齿电极M1A、 MlC连接。IDT电极41A-41C的梳齿电极141A、241B、141C通过与接地连接而被接地。IDT电极41A的梳齿电极141A、241A在方向40A上与反射器电极42对置。IDT电极41A的梳齿电极141A、241A在方向40A上分别与IDT电极41B的梳齿电极141B、241B对置。IDT电极41B的梳齿电极141B、241B在方向40A上分别与IDT电极41C梳齿电极141C、 MlC对置。IDT电极41C的梳齿电极141C、241C在方向40A上与反射器电极43对置。IDT电极41A、41C的梳齿电极141A、141C具有与图8B所示的现有的弹性波元件 70B的IDT电极71的梳齿电极71A相同的构造。IDT电极41A、41C的梳齿电极141A、141C 具有与图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的IDT电极11的梳齿电极IlB相同的构造。IDT电极41B具有与图8B所示的现有的弹性波元件70B相同的构造。弹性波滤波器40的IDT电极41A、反射器电极42和IDT电极41B的位置，分别与图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的IDT电极11、作为其它电极的反射器电极12和作为其它电极的反射器电极13的位置相同。在IDT电极41A中，与实施方式1的IDT电极 11同样，梳齿电极MlA具有与图IA所示的梳齿电极IlB的非加权部IlNUlQ具有相同构造的非加权部41N、41P。由此，能够防止与相邻于梳齿电极MlA的作为其它电极的IDT电极41B的梳齿电极M1B、或反射器电极42的短路。弹性波滤波器40的IDT电极41C、IDT电极41B和反射器电极43的位置，分别与图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的IDT电极11、作为其它电极的反射器电极12和作为其它电极的反射器电极13的位置相同。在IDT电极41C中，与实施方式1的IDT电极 11同样，梳齿电极MlC具有与图IA所示的梳齿电极IlB的非加权部IlNUlQ具有相同构造的非加权部141N、141Q。由此，能够防止与相邻于梳齿电极MlC的作为其它电极的IDT 电极41B的梳齿电极M1B、或反射器电极42的短路。并且，在图4所示的弹性波滤波器40中，IDT电极41A-41C的梳齿电极141A-141C 具有与图8B所示的现有的弹性波滤波器70B的IDT电极71的梳齿电极7IA相同的构造， 且不具有非加权部。梳齿电极141A-141C被接地、并具有相同电位，因此，即使因未具有非加权部而彼此短路，也不会影响特征。(实施方式3)图5A是本发明的实施方式3的弹性波元件50的俯视图。在图5A中，对与图IA 所示的实施方式1的弹性波元件10相同的部分赋予相同的参考标号。弹性波元件50具有 IDT电极51，以取代图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的IDT电极11。IDT电极51 具有被设置在与梳齿电极IlB相同位置处的梳齿电极51B，以取代图IA所示的实施方式1 的IDT电极11的梳齿电极11B。梳齿电极51B具有最外侧虚设电极指51T、51U，以取代图 IA所示的梳齿电极IlB的最外侧虚设电极指11T、11U。最外侧虚设电极指51T、51U在方向IOA上的宽度比其它虚设电极指IlJ在方向IlA上的宽度小。由此，与实施方式1的弹性波元件10相比，能进一步增大间隔部14的开口率，因此，能够防止IDT电极51与作为其它电极的反射器电极12的短路、或IDT电极51与作为其它电极的反射器电极13的短路。图5B是实施方式3的另一弹性波元件150的俯视图。在图5B中，对与图IA所示的实施方式1的弹性波元件10相同的部分赋予相同的参考标号。弹性波元件50具有IDT 电极151，以取代图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的IDT电极11。IDT电极151具有被设置在与梳齿电极IlA相同位置处的梳齿电极151A，以取代图IA所示的实施方式1的 IDT电极11的梳齿电极IlA0梳齿电极151A具有最外侧交叉电极指51R、51S，以取代图IA 所示的梳齿电极IlA的最外侧交叉电极指11R、11S。最外侧虚设电极指51R、51S在方向IOA 上的宽度比其它交叉电极指IlD在方向IlA上的宽度小。由此，与实施方式1的弹性波元件10相比，能进一步增大间隔部14的开口率，因此，能够防止IDT电极151与作为其它电极的反射器电极12的短路、或IDT电极151与作为其它电极的反射器电极13的短路。图5C是实施方式3的其他另一弹性波元件250的俯视图。在图5C中，对与图IA 所示的实施方式1的弹性波元件10相同的部分赋予相同的参考标号。弹性波元件250具有IDT电极251，以取代图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的IDT电极11。IDT电极 251具有被设置在与梳齿电极IlB相同位置处的梳齿电极251B，以取代图IA所示的实施方式1的IDT电极11的梳齿电极11B。梳齿电极25IB不具有图IA所示的梳齿电极IlB的最外侧虚设电极指11T、11U。即，作为其它电极的反射器电极12与最外侧交叉电极指IlR和最外侧交叉电极指IlX对置。汇流条IlG超出最外侧交叉电极指IlX而向反射器电极12 延伸。最外侧交叉电极指IlR在方向IOB上与汇流条IlG对置。作为其它电极的反射器电极13与最外侧交叉电极指IlS和最外侧交叉电极指IlY对置。汇流条IlG超出最外侧交叉电极指IlY而向反射器电极13延伸。最外侧交叉电极指IlS在方向IOB上与汇流条IlG 对置。由此，与实施方式1的弹性波元件10相比，能进一步增大间隔部14的开口率，因此， 能够防止IDT电极251与作为其它电极的反射器电极12的短路、或IDT电极251与作为其它电极的反射器电极13的短路。图6A是实施方式3的其他另一弹性波元件450的俯视图。在图6A中，对与图8A 所示的现有的弹性波元件70A相同的部分赋予相同的参考标号。弹性波在方向IOA上传播。 弹性波元件450具有IDT电极471，以取代图8A所示的现有的弹性波元件70A的IDT电极 71。IDT电极471具有被设置在与梳齿电极71B相同位置处的梳齿电极471B，以取代图8A 所示的现有的IDT电极71的梳齿电极71B。梳齿电极71A、471B不具有图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的IDT电极IlAUlB的加权部11K、11M。即使是在此情况下，当现有的弹性波元件70B的IDT电极71与反射器电极72、73的间隔窄时，也有可能使IDT电极与反射器电极短路。图6A所示的梳齿电极471B的最外端的虚设电极指471J在方向IOA上的宽度比交叉电极指71H或其它虚设电极指71J小。由此，能够防止IDT电极471与作为其它电极的反射器电极72的短路、或IDT电极471与作为其它电极的反射器电极73的短路。图6B是实施方式3的其他另一弹性波元件550的俯视图。在图6B中，对与图8A 所示的现有的弹性波元件70A相同的部分赋予相同的参考标号。弹性波在方向IOA上传播。 弹性波元件550具有IDT电极571，以取代图8A所示的现有的弹性波元件70A的IDT电极71。IDT电极571具有被设置在与梳齿电极71A相同位置处的梳齿电极571A，以取代图8A 所示的现有的IDT电极71的梳齿电极71A。梳齿电极71A、71B、571A不具有图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的IDT电极IlAUlB的加权部11K、11M。即使是在此情况下，当现有的弹性波元件70A的IDT电极71与反射器电极72、73的间隔窄时，也有可能使IDT电极与反射器电极短路。图6B所示的梳齿电极571B的最外端的交叉电极指571R在方向IOA 上的宽度比其它电极指小。由此，能够防止IDT电极571与作为其它电极的反射器电极72 的短路、或IDT电极571与作为其它电极的反射器电极73的短路。图6C是实施方式3的其他另一弹性波元件650的俯视图。在图6C中，对与图8A 所示的现有的弹性波元件70A相同的部分赋予相同的参考标号。弹性波在方向IOA上传播。 弹性波元件650具有IDT电极671，以取代图8A所示的现有的弹性波元件70A的IDT电极 71。IDT电极671具有被设置在与梳齿电极71B相同位置处的梳齿电极671A，以取代图8A 所示的现有的IDT电极71的梳齿电极71B。梳齿电极71A、71B、671B不具有图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的IDT电极IlAUlB的加权部11K、11M。梳齿电极67IB不具有图8A所示的梳齿电极71B的最外侧虚设电极指。即，作为其它电极的反射器电极72与梳齿电极7IA的最外侧交叉电极指和梳齿电极671B的最外侧交叉电极对置。汇流条71G超出最外侧交叉电极而向反射器电极72、72延伸。最外侧电极指在方向IOB上与汇流条71G 对置。由此，能够防止IDT电极671与作为其它电极的反射器电极72的短路、或IDT电极 671与作为其它电极的反射器电极73的短路。图7A是本发明的实施方式4的弹性波元件60A的俯视图。在图7A中，对与图IA 所示的实施方式1的弹性波元件10相同的部分赋予相同的参考标号。弹性波元件60A具有IDT电极61和反射器电极62A、62B，以取代图IA所示的实施方式1的弹性波元件10的 IDT电极11和反射器电极12、13。IDT电极61具有在与弹性波传播的方向IOA不同的方向即实际呈直角的方向IOB上相互对置的梳齿电极61A、61B。梳齿电极61A、61B在交叉电极指与虚设电极指的间隙部具有由电极构成加权部61K、61M。梳齿电极61A、61B也可以不具有图IA所示的梳齿电极IlAUlB的非加权部11L、11N、11P、11Q。在IDT电极61中，梳齿电极61A、61B以交叉宽度W相交叉。即，在方向IOB上，以交叉宽度W相互交叉。反射器电极62A具有在方向IOB上延伸的多个反射电极指162A、162B、162C、 162D、162E ；和与反射电极指162A、162B、162C、162D、162E的各自的两端连接的汇流条 162F、162G。多个反射电极指162A、162B、162C、162D、162E之中与IDT电极61最近的反射电极指162E在方向1( 上的宽度，比其它反射电极指1624、1628、162(、1620在方向IOB上的宽度小。即，与IDT电极61最近的反射电极指162E在方向IOB上的宽度，比距IDT电极 61最远的反射电极指162A在方向IOB上的宽度小。根据该结构，即使是在具有加权部61K、 61M的情况下，也能在间隔部14增大形成电极的掩模的开口率，能降低IDT电极61与反射器电极62A发生短路的可能性。反射器电极63A具有在方向IOB上延伸的多个反射电极指163A、163B、163C、 163D、163E ；和与反射电极指163A、163B、163C、163D、163E的各自的两端连接的汇流条 163F、163G。多个反射电极指163A、163B、163C、163D、163E之中与IDT电极61最近的反射电极指163E在方向108上的宽度，比其它反射电极指163々、1638、163(、1630在方向IOB上的宽度小。即，与IDT电极61最近的反射电极指163E在方向IOB上的宽度，比距IDT电极61最远的反射电极指163A在方向IOB上的宽度小。根据该结构，即使是在具有加权部 61K、61M的情况下，也能在间隔部14增大形成电极的掩模的开口率，能降低IDT电极61与反射器电极63A发生短路的可能性。与IDT电极61最近的反射电极指162E、163E在方向 IOB上的宽度，优选为IDT电极61的交叉宽度W以上。由此，通过IDT电极61被励振的弹性波的反射效率不会降低，能防止IDT电极61与反射器电极61A、63A的短路。图7B是实施方式4的另一弹性波元件60B的俯视图。在图7B中，对与图7A所示的弹性波元件60A相同的部分赋予相同的参考标号。弹性波元件60B具有反射器电极62B、 63B，以取代图7A所示的弹性波元件70A的反射器电极62A、63A。反射器电极62B具有在方向1( 上延伸的多个反射电极指沈24、2628、沈2(、 ^2D、262E ；和与反射电极指^2A、262BJ62C、262DJ62E的各自的两端连接的汇流条 262F,262G0多个反射电极指^2A、262BJ62C、262DJ62E之中与IDT电极61最近的反射电极指和第二近的反射电极指在方向IOB上的宽度，比其它反射电极指262A、 ^2B、262C在方向IOB上的宽度小。即，与IDT电极61最近的反射电极指在方向IOB 上的宽度，比距IDT电极61最远的反射电极指2&2k在方向IOB上的宽度小。反射电极指 262E在方向IOB上的宽度，比反射电极指在方向IOB上的宽度小。根据该结构，即使是在具有加权部61K、61M的情况下，也能在间隔部14增大形成电极的掩模的开口率，能降低IDT电极61与反射器电极62B发生短路的可能性。反射器电极63B具有在方向1( 上延伸的多个反射电极指沈34、2638、沈3(、 ^3D、263E ；和与反射电极指^3A、263BJ63C、263DJ63E的各自的两端连接的汇流条 263F、263G。多个反射电极指263A、263B、263C、263D、263E之中与IDT电极61最近的反射电极指和第二近的反射电极指在方向IOB上的宽度，比其它反射电极指^3A、 ^;3B、263C在方向IOB上的宽度小。即，与IDT电极61最近的反射电极指在方向IOB 上的宽度，比距IDT电极61最远的反射电极指在方向IOB上的宽度小。反射电极指 263E在方向IOB上的宽度，比反射电极指在方向IOB上的宽度小。根据该结构，即使是在具有加权部61K、61M的情况下，也能在间隔部14增大形成电极的掩模的开口率，能降低IDT电极61与反射器电极6 发生短路的可能性。与IDT电极61最近的反射电极指 ^2E、263E在方向IOB上的宽度，优选为IDT电极61的交叉宽度W以上。由此，通过IDT电极61被励振的弹性波的反射效率不会降低，能防止IDT电极61与反射器电极62B、63B的短路。(产业上的可利用性)根据本发明的弹性波元件，可防止IDT电极与其它电极的短路、且具有优异的抑制无用波的特征，因此，尤其对于便携式电话等小型的通信设备有用。附图标记的说明1L···叉指式换能器(IDT)电极IlA…梳齿电极(第一梳齿电极)IlB…梳齿电极(第二梳齿电极)IlC…汇流条(第一汇流条)IlD…交叉电极指(第一交叉电极指)IlF…虚设电极指(第一虚设电极指)
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IlG…汇流条(第二汇流条)IlH…交叉电极指(第二交叉电极指)IlJ…虚设电极指(第二虚设电极指)IlK…加权部11L···非加权部IlN…非加权部12…其它电极(第一其它电极)、反射器电极13…其它电极(第二其它电极)、反射器电极15A...交叉区域15B…非交叉区域21···压电基板
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权利要求
1.一种弹性波元件，其中， 具有压电基板，其具有表面；第一叉指式换能器(IDT)电极，其具有设置在所述压电基板的所述表面上的第一梳齿电极、和设置在所述压电基板的所述表面上并且与所述第一梳齿电极对置的第二梳齿电极；以及第一其它电极，其设置在所述压电基板的所述表面上，所述第一叉指式换能器电极和所述第一其它电极被排列于第一方向上，所述第一梳齿电极包括第一汇流条，其在所述第一方向上延伸；多个第一交叉电极指，从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极在与所述第一方向不同的第二方向上延伸；和多个第一虚设电极指，从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极在所述第二方向上延伸，所述第二梳齿电极包括第二汇流条，其在所述第一方向上延伸；多个第二交叉电极指，从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在与所述第二方向相反的第三方向上延伸，并且在交叉区域与所述多个第一交叉电极指交叉，并且分别与所述多个第一虚设电极指在所述第三方向上对置；多个第二虚设电极指，从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在所述第三方向上延伸，且分别与所述多个第一交叉电极指在所述第三方向上对置；多个加权部，在所述多个第二交叉电极指与所述多个第二虚设电极指之间的间隙部设置电极，并且被设置在所述交叉区域以外的非交叉区域；和非加权部，其在所述非交叉区域，在所述间隙部之中与所述其它电极最近的间隙部未设置电极。
2.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中， 所述第一其它电极是反射器电极。
3.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中，所述弹性波元件还具有第二其它电极，其被设置在所述压电基板的所述表面上， 以所述第一叉指式换能器电极位于所述第一其它电极与所述第二其它电极之间的方式，将所述第一叉指式换能器电极、所述第一其它电极和所述第二其它电极排列在所述第一方向上。
4.根据权利要求3所述的弹性波元件，其中， 所述第一其它电极与所述第二其它电极是反射器电极。
5.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中，所述第一其它电极是具有相互对置的第三和第四梳齿电极的第二叉指式换能器电极。
6.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中，所述多个加权部在所述第二方向上的宽度，从所述第一汇流条的中央部向两端逐渐扩觅ο
7.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中，所述第一叉指式换能器电极与所述第一其它电极之间的间隔，为所述第三方向上相互对置的所述多个第一交叉电极指与所述多个第二虚设电极指的间隔以下。
8.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中， 所述压电基板由LiNbO3构成。
9.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中，还具有电介质薄膜，其被设置在所述压电基板的所述表面上，以覆盖所述叉指式换能器电极。
10.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中，所述多个第一虚设电极指之中与所述第一其它电极最近的最外侧虚设电极指在所述第一方向上的宽度，小于所述多个第二虚设电极指之中的所述最外侧虚设电极指的其它虚设电极指在所述第一方向上的宽度。
11.一种弹性波元件，其中， 具有压电基板，其具有表面；叉指式换能器电极，其具有设置在所述压电基板的所述表面上的第一梳齿电极、和设置在所述压电基板的所述表面上并且与所述第一梳齿电极对置的第二梳齿电极；以及其它电极，其设置在所述压电基板的所述表面上，且与所述叉指式换能器电极对置， 所述叉指式换能器电极与所述其它电极被排列于第一方向上， 所述第一梳齿电极，包括 第一汇流条，其在所述第一方向上延伸；多个第一交叉电极指，从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极在与所述第一方向不同的第二方向上延伸，和多个第一虚设电极指，从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极在所述第二方向上延伸，所述第二梳齿电极包括第二汇流条，其在所述第一方向上延伸；多个第二交叉电极指，从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在与所述第二方向相反的第三方向上延伸，并且在交叉区域与所述多个第一交叉电极指交叉，并且分别与所述多个第一虚设电极指在所述第三方向上对置；多个第二虚设电极指，从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在所述第三方向上延伸，且分别与所述多个第一交叉电极指在所述第三方向上对置；和多个加权部，在所述多个第二交叉电极指与所述多个第二虚设电极指之间的间隙部设置电极，并且被设置在所述交叉区域以外的非交叉区域，所述第二汇流条超出所述多个第二交叉电极指之中的与所述其它电极最近的第二最外侧交叉电极而向所述其它电极延伸，所述多个第一交叉电极指之中的与所述其它电极最近的第一最外侧交叉电极指在所述第二方向上与所述第二汇流条对置。
12.根据权利要求11所述的弹性波元件，其中，所述第二汇流条的与所述第一梳齿电极最近的一端，以直线状在所述第一方向上延伸。
13.—种弹性波元件，其中， 具有压电基板，其具有表面；第一叉指式换能器电极，其具有设置在所述压电基板的所述表面上的第一梳齿电极、 和设置在所述压电基板的所述表面上并且与所述第一梳齿电极对置的第二梳齿电极；以及反射器电极，其设置在所述压电基板的所述表面上， 所述第一叉指式换能器电极和所述反射器电极被排列于第一方向上， 所述第一梳齿电极，包括 第一汇流条，其在所述第一方向上延伸；多个第一交叉电极指，从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极在与所述第一方向不同的第二方向上延伸，和多个第一虚设电极指，从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极在所述第二方向上延伸，所述第二梳齿电极包括第二汇流条，其在所述第一方向上延伸；多个第二交叉电极指，从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在与所述第二方向相反的第三方向上延伸，并且在交叉区域与所述多个第一交叉电极指交叉，并且分别与所述多个第一虚设电极指在所述第三方向上对置；多个第二虚设电极指，从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在所述第三方向上延伸，且分别与所述多个第一交叉电极指在所述第三方向上对置；和多个加权部，在所述多个第二交叉电极指与所述多个第二虚设电极指之间的间隙部设置电极，并且被设置在所述交叉区域以外的非交叉区域，所述反射器电极包括在所述第二方向上延伸的多个反射电极指， 所述多个反射电极指之中的与所述叉指式换能器电极最近的第一反射电极指，比所述多个反射电极指之中的距所述叉指式换能器电极最远的第二反射电极指短。
14.根据权利要求13所述的弹性波元件，其中，所述第一反射电极指在所述第二方向上的宽度，大于所述多个第一交叉电极指与所述多个第二交叉电极指进行交叉的宽度。
15.一种弹性波元件，其中， 具有压电基板，其具有表面；第一叉指式换能器电极，其具有设置在所述压电基板的所述表面上的第一梳齿电极、 和设置在所述压电基板的所述表面上并且与所述第一梳齿电极对置的第二梳齿电极；以及其它电极，其设置在所述压电基板的所述表面上， 所述第一叉指式换能器电极和所述其它电极被排列于第一方向上， 所述第一梳齿电极，包括 第一汇流条，其在所述第一方向上延伸；多个第一交叉电极指，从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极在与所述第二方向不同的第二方向上延伸；和多个第一虚设电极指，从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极在所述第一方向上延伸，所述第二梳齿电极包括第二汇流条，其在所述第一方向上延伸；多个第二交叉电极指，从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在与所述第二方向相反的第三方向上延伸，并且在交叉区域与所述第一梳齿电极的所述多个交叉电极指交叉；和多个第二虚设电极指，从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在所述第三方向上延伸，且分别与所述多个第一交叉电极指在所述第三方向上对置，所述多个第一虚设电极指之中与所述其它电极最近的最外侧虚设电极指在所述第一方向上的宽度，小于所述多个第一虚设电极指之中的所述最外侧虚设电极指的其它虚设电极指在所述第一方向上的宽度。
16. 一种弹性波元件，其中， 具有压电基板，其具有表面；叉指式换能器电极，其具有设置在所述压电基板的所述表面上的第一梳齿电极、和设置在所述压电基板的所述表面上并且与所述第一梳齿电极对置的第二梳齿电极；以及其它电极，其设置在所述压电基板的所述表面上，且与所述叉指式换能器电极对置， 所述叉指式换能器电极和所述其它电极被排列于第一方向上， 所述第一梳齿电极，包括 第一汇流条，其在所述第一方向上延伸；多个第一交叉电极指，从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极在与所述第二方向不同的第二方向上延伸，和多个第一虚设电极指，从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极沿所述第一方向上延伸，所述第二梳齿电极包括第二汇流条，其在所述第一方向上延伸；多个第二交叉电极指，从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在与所述第二方向相反的第三方向上延伸，并且在交叉区域与所述第一梳齿电极的所述多个第一交叉电极指交叉，并且分别与所述多个第一虚设电极指在所述第三方向上对置；和多个第二虚设电极指，从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在所述第三方向上延伸，且分别与所述多个第一交叉电极指在所述第三方向上对置，所述其它电极与所述多个第一交叉电极指之中的第一最外侧交叉电极指和所述多个第二交叉电极指之中的第二最外侧交叉电极指对置，所述第二汇流条超出所述多个第二交叉电极指之中的与所述其它电极最近的第二最外侧交叉电极而向所述其它电极延伸，所述多个第一交叉电极指之中的与所述其它电极最近的第一最外侧交叉电极指，在所述第二方向上与所述第二汇流条对置。
17.根据权利要求14所述的弹性波元件，其中，所述第二汇流条的与所述第一梳齿电极最近的一端，以直线状在所述第一方向上延伸。
18.一种弹性波滤波器，其中， 具有第一弹性波元件；和第二弹性波元件，其与所述第一弹性波元件连接，所述第一弹性波元件和所述第二弹性波元件之中的至少一个是权利要求1 16中任一项所述的弹性波元件。
全文摘要
本发明提供一种弹性波元件和弹性波滤波器。该弹性波元件具有叉指式换能器(IDT)电极、和与IDT电极对置的第一其它电极。IDT电极具有相互对置的第一和第二梳齿电极。第一梳齿电极包括第一汇流条、多个第一交叉电极指、和多个第一虚设电极指。第二梳齿电极包括第二汇流条、与多个第一交叉电极指在交叉区域交叉的多个第二交叉电极指、分别与多个第一交叉电极指对置的多个第二虚设电极指、多个加权部、和非加权部。多个加权部由设置在多个第二交叉电极指与多个第二虚设电极指之间的间隙部的电极构成。在非加权部中，在非交叉区域，在间隙部之中与其它电极最近的间隙部未设置电极。该弹性波元件可防止IDT电极与其它电极的短路，并且具有优异的抑制无用波的特性。
文档编号H03H9/64GK102204092SQ201080003110
公开日2011年9月28日 申请日期2010年2月23日 优先权日2009年2月25日
发明者上口洋辉, 中村弘幸, 中西秀和, 冈本庄司, 滨冈阳介 申请人:松下电器产业株式会社