一种旋转电机的运行控制方法和装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及半导体设备的控制领域，特别是涉及一种旋转电机的运行控制方法和 一种旋转电机的运行控制装置。
【背景技术】
[0002] 很多半导体设备都是W旋转电机驱动旋转巧盘进行物料传输的，例如APCVD (AtmosphericPressureQiemicalVaporD巧osition,常压化学气象沉积）设备。
[0003] 但是旋转电机只能进行正向旋转，其脉冲计数持续累加，为了避免数据溢出，每执 行一次工艺，都需要进行手动清零，操作繁琐。
[0004] 特别地，在某些工艺需求下，如图1所示的APCVD设备的巧盘，在当前工艺腔室中， 3号物料刚完成工艺，4号物料为预定为下一个在该工艺腔室进行工艺处理的物料，则旋转 电机需要从一个3位置正向移动到4号位置进行物料的传输，而此种传输需要转动几乎一 圈，旋转时间长，生产效率低。
【发明内容】
[0005] 本发明实施例所要解决的技术问题是提供一种旋转电机的运行控制方法，W解决 旋转电机不能反转的问题。
[0006] 本发明还提供了一种旋转电机的运行控制装置，用W保证上述方法的实现及应 用。
[0007] 为了解决上述问题，本发明公开了一种旋转电机的运行控制方法，其特征在于，所 述旋转电机驱动旋转巧盘转动，所述巧盘上放置有物料，所述方法包括：
[0008]计算所述旋转电机旋转时的补偿脉冲；
[0009] 计算物料从所述旋转巧盘中的当前位置移动到目标位置的正向间隔数和反向间 隔数；
[0010] 依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数W及所述旋转电机上一次 旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲；
[0011] 采用所述脉冲驱动所述旋转电机进行旋转，将所述物料从当前位置移动到目标位 置。
[0012] 优选地，所述计算所述旋转电机进行反向旋转时的补偿脉冲的步骤包括：
[0013] 驱动所述旋转电机反向旋转一圈并正向旋转一圈；
[0014] 通过W下公式计算所述旋转电机实际旋转与标准旋转的脉冲差：
[00巧]M差=(|M反|-M〇+|M正|-M〇)/2
[0016] 其中，为脉冲差，|M&I为所述旋转电机反向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，|M IEI为所述旋转电机正向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，M。为所述旋转电机旋转一圈的标准 脉冲；
[0017] 重复获取所述脉冲差，并计算所有脉冲差的平均值，获得作为补偿脉冲的平均脉 冲差。
[0018] 优选地，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数W及所述旋转 电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤 包括：
[0019] 当反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过W下公式计 算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：
[0020] M反=-P反*M〇/P-N
[0021] 其中，为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P&为所述反向间隔数，P为所 述物料的数量，M。为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。
[0022] 优选地，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数W及所述旋转 电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤 包括：
[0023] 当反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过W下公式计 算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：
[0024] M反=-P反*M〇/P
[0025] 其中，为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P&为所述反向间隔数，P为所 述物料的数量，M。为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。
[0026] 优选地，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数W及所述旋转 电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤 包括：
[0027] 当正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过W下公式计 算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：
[0028] M正=P正*M〇/P
[0029] 其中，Me为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，Pe为所述正向间隔数，P为所 述物料的数量，M。为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。
[0030] 优选地，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数W及所述旋转 电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤 包括：
[0031] 当正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过W下公式计 算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：
[0032] M正=P正*M〇/P+N
[0033] 其中，Me为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，Pe为所述正向间隔数，P为所 述物料的数量，M。为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。
[0034] 优选地，还包括：
[0035] 当所述旋转电机完成旋转时，将脉冲的累计控制在0至M。之间；M。为所述旋转电 机旋转一圈的标准脉冲。
[003引优选地，所述当所述旋转电机完成旋转时，将脉冲的累计控制在0至M。之间的步 骤包括：
[0037] 当所述旋转电机完成旋转且脉冲为正时，采用如下公式进行脉冲的累计：
[003引M总=(M，总+M正）0/0M0
[0039]其中，M,自为当前的脉冲累计，M',自为已有的脉冲累计，Me为所述旋转电机当前进行 正向旋转的脉冲，M。为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲；
[0040] 当所述旋转电机完成旋转且脉冲为负时，采用如下公式进行脉冲的累计：
[0041] M总=(M，总+ (M〇+M反））〇/〇M〇
[0042]其中，M,自为当前的脉冲累计，M',自为已有的脉冲累计，M&为所述旋转电机当前进行 反向旋转的脉冲，M。为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲。
[0043] 优选地，所述旋转电机为APCVD设备的旋转电机。
[0044] 本发明还公开了一种旋转电机的运行控制装置，其特征在于，所述旋转电机驱动 旋转巧盘转动，所述巧盘上放置有物料，包括：
[0045]补偿脉冲计算模块，用于计算所述旋转电机旋转时的补偿脉冲；
[0046] 间隔数计算模块，用于计算物料从所述旋转巧盘中的当前位置移动到目标位置的 正向间隔数和反向间隔数；
[0047] 脉冲确定模块，用于依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数W及所 述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉 冲；
[0048] 旋转驱动模块，用于采用所述脉冲驱动所述旋转电机进行旋转，将所述物料从当 前位置移动到目标位置。
[0049] 优选地，所述补偿脉冲计算模块包括如下子模块：
[0050] 往返驱动子模块，用于驱动所述旋转电机反向旋转一圈并正向旋转一圈；
[0051] 脉冲差计算子模块，用于通过W下公式计算所述旋转电机实际旋转与标准旋转的 脉冲差：
[0052] M差= (|M反|-M〇+|M正|-M〇)/2
[0053] 其中，为脉冲差，|M&I为所述旋转电机反向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，|M IEI为所述旋转电机正向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，M。为所述旋转电机旋转一圈的标准 脉冲；
[0054] 平均脉冲差计算子模块，用于重复获取所述脉冲差，并计算所有脉冲差的平均值， 获得作为补偿脉冲的平均脉冲差。
[00巧]优选地，所述脉冲确定模块包括：
[0056] 第一计算子模块，用于在反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为正向旋转 时，则通过W下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：
[0057] M反=-P反*M〇/P-N
[005引其中，为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P&为所述反向间隔数，P为所 述物料的数量，M。为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。
[0059] 优选地，所述脉冲确定模块包括：
[0060] 第二计算子模块，用于在反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为反向旋转 时，则通过W下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：
[00川 M反=-P反*M0/P
[0062]其中，为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P&为所述反向间隔数，P为所 述物料的数量，M。为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。
[0063] 优选地，所述脉冲确定模块包括：
[0064] 第H计算子模块，用于在正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为正向旋转 时，则通过W下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：
[0065]M正=P正 *M〇/P
[0066] 其中，Me为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，Pe为所述正向间隔数，P为所 述物料的数量，