石英腔体的固定治具及清洗装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种石英腔体的固定治具及清洗装置，所述固定治具用于在对石英腔体进行清洗时固定所述石英腔体，所述固定治具包括基座，于所述基座上具有多个用于固定所述石英腔体的固定导槽，所述固定导槽为与所述石英腔体的开口相互卡合的凹槽结构。本实用新型中，使用一个固定治具实现对多种形状的石英腔体进行固定，可减小资源的浪费。同时，当采用具有本实用新型提供的固定治具的清洗装置对不同形状的石英腔体进行清洗时，可不必繁复的更换固定治具，从而可减小在更换固定治具时对清洗座的损伤，并且可避免固定治具于清洗座上固定不佳的问题。
【专利说明】
石英腔体的固定治具及清洗装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种石英腔体的固定治具及清洗装置。
【背景技术】
[0002]石英腔体由于其含有的金属杂质较少，其主要物质是高纯度的二氧化硅，并且能承受较高的温度，最高可达1200度，因此石英腔体被广泛应用于半导体制造技术中。例如，化学气相沉积工艺中，即，将硅片放置于石英腔体内，进而在硅片的表面进行薄膜沉积，然而，在此过程中，所述薄膜不仅沉积于硅片表面，同时还会沉积于石英腔体上，而沉积于石英腔体上的薄膜进而可能成为污染的来源，使后续于硅片上所沉积的薄膜产生缺陷。因此，为确保石英腔体的清洁度，减小其对半导体工艺的稳定性的影响，需定期对该石英腔体进行清洗。
[0003]清洗石英腔体所采用的清洗装置通常包括清洗座以及安装于该清洗座上的固定治具，该固定治具上具有一用于固定石英腔体的固定导槽，该固定导槽具有一与石英腔体的开口相互卡合的凹槽结构，在对石英腔体进行清洗时，需将石英腔体的开口对准固定导槽并放置于该固定导槽的凹槽中，进而可对该石英腔体进行清洗。
[0004]目前，石英腔体的形状各式各样，例如图1a及图1b所示的两种石英腔体，其中，图1a为具有圆形开口的圆形石英腔体100a，图1b为具有矩形开口的方形石英腔体100b。相应的，针对不同形状的石英腔体，则需采用不同的固定治具，其中，图2a所示的固定治具为用于固定图1a所示的具有圆形开口的圆形石英腔体I OOa，如图2a所示，用于固定圆形石英腔体的固定治具包括基座11和位于所述基座11上的圆形的固定导槽12。图2b所示的固定治具为用于固定图1b所示的具有矩形开口的方形石英腔体100b，如图2b所示，用于固定方形石英腔体的固定治具包括基座21和位于所述基座21上的圆形的固定导槽22。
[0005]实际上，在半导体制造过程中，除了需运用到以上所述的两种石英腔体之外，还包括其他形状及尺寸均不同的石英腔体。不同种类的石英腔体同时需对应不同的固定治具，才能够将石英腔体稳定在清洗座上进行清洗。同时，当对不同的石英腔体进行清洗时，还需更换与之相应的固定治具，并将该固定治具安装于清洗座上，而频繁的更换动作加快清洗座或固定治具的损坏变形，从而增加维护成本。并且，在对固定治具进行更换时，若固定治具在清洗座上没有固定完全，那么于后续的清洗过程中，极易导致石英腔体的倾覆，进而导致石英腔体破裂。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的在于提供一种石英腔体的固定治具及清洗装置，所述石英腔体的固定治具可用于固定不同种类的石英腔体，例如，开口具有不同形状的石英腔体，或者开口的尺寸不同的石英腔体。以解决现有的石英腔体的固定治具仅能实现对一种形状及一种尺寸的石英腔体进行固定，从而造成资源浪费及成本增加的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种石英腔体的固定装置，所述固定治具用于在对石英腔体进行清洗时固定所述石英腔体，其中，所述固定治具包括基座，于所述基座上具有多个用于固定石英腔体的固定导槽，所述固定导槽为与所述石英腔体的开口相互卡合的凹槽结构。
[0008]可选的，多个所述固定导槽的形状均相同，且多个所述固定导槽的尺寸互不相同。
[0009]可选的，多个所述固定导槽的形状均为圆形，且多个所述固定导槽以同心圆的形式排列。
[0010]可选的，多个所述固定导槽的形状均为矩形，且多个所述固定导槽的中心重合。[0011 ]可选的，多个所述固定导槽中，部分固定导槽的形状互不相同。
[0012]可选的，所述基座上具有两个固定导槽，两个所述固定导槽的形状分别为圆形和矩形。
[0013]可选的，所述圆形的固定导槽和矩形的固定导槽的中心位置重合。
[0014]可选的，所述凹槽结构的凹槽宽度根据所述石英腔体的开口的厚度设置。
[0015]此外，本实用新型还提供一种石英腔体的清洗装置，包括清洗座及以上所述的石英腔体的固定治具，所述石英腔体的固定治具安装于所述清洗座上。
[0016]可选的，所述清洗装置还包括喷淋头和排液口，所述喷淋头和排液口均位于所述固定导槽所围绕的区域内。
[0017]与现有技术相比，本实用新型提供的石英腔体的固定治具中，设置有多个用于固定所述石英腔体的固定导槽，从而可实现使用一个固定治具即可对多种形状的石英腔体进行固定的目的，减小资源的浪费。同时，当采用具有本实用新型提供的固定治具的清洗装置对不同形状的石英腔体进行清洗时，可不必繁复的更换固定治具，从而可减小在更换固定治具时对清洗座的损伤，并且可避免固定治具于清洗座上固定不佳的问题。
【附图说明】
[0018]图1a为具有圆形开口的圆形石英腔体的结构示意图；
[0019]图1b为具有矩形开口的方形石英腔体的结构示意图；
[0020]图2a为用于固定图1a所示的圆形石英腔体的固定治具的俯视图；
[0021]图2b为用于固定图1b所示的方形石英腔体的固定治具的俯视图；
[0022]图3为本实用新型实施例一的石英腔体的固定治具的结构示意图；
[0023]图4为本实用新型实施例二的石英腔体的固定治具的结构示意图；
[0024]图5为本实用新型实施例一的石英腔体的清洗装置的俯视图；
[0025]图6a为采用本实用新型实施例一中石英腔体的清洗装置对圆形石英腔体进行清洗的结构示意图；
[0026]图6b为采用本实用新型实施例一中石英腔体的清洗装置对方形石英腔体进行清洗的结构示意图。
【具体实施方式】
[0027]如【背景技术】所述，在半导体制造中，需采用多种不同种类的石英腔体，而在对所述石英腔体进行清洗时，各种形状及尺寸的石英腔体需要采用各自对应的固定治具方可实现对所述石英腔体的固定，以便于后续的清洗。进而，种类繁多的固定治具不仅造成资源浪费，同时频繁的更换固定治具，也易导致清洗座的损坏，而且，频繁的更换固定治具，也增加了所述固定治具于清洗座上固定不完全的风险。
[0028]因此，本实用新型提供一种石英腔体的固定治具，所述石英腔体的固定治具包括基座，于所述基座上具有多个用于固定所述石英腔体的固定导槽，所述固定导槽为与所述石英腔体的开口相互卡合的凹槽结构。
[0029]本实用新型提供的石英腔体的固定治具中，具有多个固定导槽，从而一个固定治具即可用于固定多种石英腔体，实现所述石英腔体的固定治具的功能多样化，最大限度的利用现有资源，避免财物浪费。并且，当需对不同的石英腔体进行清洗时，可不必更换固定治具即可实现对石英腔体的固定，从而可减小更换固定治具时对清洗座以及固定治具的损伤。
[0030]以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的一种石英腔体的固定治具及清洗装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0031 ] 实施例一
[0032]图3为本实用新型实施例一中的石英腔体的固定治具的结构示意图，如图3所示，所述石英腔体的固定治具200包括基座210，于所述基座210上具有多个用于固定所述石英腔体的固定导槽，所述固定导槽为凹槽结构，所述凹槽结构与石英腔体的开口相互卡合，如此，即可通过所述凹槽结构将相对应的石英腔体固定于固定治具上。
[0033]其中，所述固定导槽是根据石英腔体的开口的形状及尺寸而设定的，根据多种石英腔体，所述固定治具200的基座210上可相应的设置多种固定导槽，例如，可于所述固定治具200上设置多种不同形状的固定导槽或者多种不同尺寸的固定导槽等。具体的，所述固定导槽的形状可以为圆形的圆形固定导槽、形状为矩形的矩形固定导槽或形状为椭圆形的椭圆形固定导槽等。本实施例中，所述基座210上具有两个固定导槽，分别为圆形固定导槽220a和矩形固定导槽220b。进一步的，所述圆形固定导槽10a和矩形固定导槽10b的中心位置重合。相应的，开口为圆形且尺寸相同的圆形石英腔体10a即采用所述圆形固定导槽220a进行固定，开口为矩形且尺寸相同的方形石英腔体10b即采用所述矩形固定导槽220b进行固定，进而，采用所述固定治具200即可对以上两种石英腔体均可实现固定的目的。
[0034]此外，所述固定导槽为一具有特定形状的凹槽结构，即于本实施例中，所述圆形固定导槽220a为一圆形的凹槽结构，所述矩形固定导槽220b为一矩形的凹槽结构。其中，所述凹槽结构的形状和尺寸均是根据石英腔体的开口的形状和尺寸而设定的。继续参考图3所示，本实施例中，所述石英腔体的固定治具200中圆形固定导槽220a最外围的直径Dl为590mm，即其适用于圆形开口的直径为590mm的圆形石英腔体100a;所述矩形固定导槽220b的长度LI为490mm，宽度为317mm，相应的，其适用于固定矩形开口的长度及宽度分别为490mm和317mm的方形石英腔体100b。以及，所述凹槽结构的凹槽宽度W也可根据石英腔体的开口的厚度而设置。
[0035]实施例二
[0036]图4为本实用新型实施例二的石英腔体的固定治具的结构示意图，本实施例的石英腔体的固定治具200中，位于所述基座210上的多个固定导槽的形状均相同，其中每个固定导槽的尺寸互不相同。如实施例一所述，所述固定导槽的形状和尺寸依据石英腔体的开口的形状和尺寸进行设定，因此，根据不同石英腔体的开口的不同形状和尺寸，所述固定导槽也具有多种形状以及多种尺寸。
[0037]本实施例中，仅示出了具有多个不同尺寸的圆形的固定导槽的固定治具，而实际应用中，所述固定导槽的形状还可以是矩形或椭圆形等。即，于所述基座上可以设置多个不同尺寸的矩形的固定导槽或者多个不同尺寸的椭圆形的固定导槽等。优选的，多个矩形的固定导槽的中心重合，多个椭圆形的固定导槽的中心也重合。
[0038]继续参考图4所示，本实施例中，于所述基座210上具有两个固定导槽，且两个固定导槽的形状均为圆形，分别为固定导槽210c和固定导槽210d，其中，固定导槽210c和固定导槽210d以同心圆的形式排列。
[0039]具体的，当石英腔体的圆形开口的直径与固定导槽210c的直径Dl相同时，则该石英腔体即可采用固定导槽210c进行固定；同样的，石英腔体的圆形开口的直径与固定导槽210d的直径D2相同时，则该石英腔体即可采用固定导槽210d进行固定。从而实现，一个固定治具同时可用于固定多个石英腔体以进行清洗，而不需频繁的更换固定治具。并且，将形状相同但尺寸不同的固定导槽设置于同一固定治具的基座上，以便于对固定治具进行分类及管理。
[0040]实施例三
[0041]本实用新型还提供了一种石英腔体的清洗装置，包括清洗座以及如上所述的石英腔体的固定治具，所述石英腔体的固定治具安装于清洗座上。采用所述清洗装置清洗不同形状的石英腔体时，可不必繁复更换固定治具，即可对多种石英腔体进行清洗。
[0042]图5为本实用新型实施例一的石英腔体的清洗装置的结构示意图，如图5所示，所述清洗装置包括清洗座310，以及石英腔体的固定治具200，所述固定治具200安装于清洗座310上。进一步的，所述清洗装置还包括喷淋头320和排液口 330，所述喷淋头320用于喷洒清洗石英腔体的清洗液，所述排液口 330用于排出清洗液，并且，所述喷淋头320和排液口 330均位于所述固定治具200中的固定导槽所围绕的区域内。
[0043]进一步的，所述喷淋头320可设置于所述固定治具200上，并在清洗座310上与所述喷淋头320相对应的位置上开设一开孔，所述开孔用于接入与所述喷淋头320连接的供给管道，进而使清洗液可通过供给管道通入喷淋头320并通过所述喷淋头320喷出。所述排液口330可通过在所述固定治具200上设置于一第一排出管道，以及在清洗座上与第一排出管道位置相对应的位置设置一第二排出管道以形成所述排液口 330，进而所述清洗液即可通过所述第一排出管道和第二排出管道排出。
[0044]图6a为采用本实用新型实施例一中石英腔体的清洗装置对圆形石英腔体进行清洗的剖面图。参考图6a所示，当需对圆形石英腔体10a进行清洗时:
[0045]首先，将所述石英腔体的固定治具200安装于清洗座310上；
[0046]接着，通过固定治具200中的固定导槽220a将石英腔体10a固定住，其中，由于所述喷淋头320及排液口330均位于所述固定导槽220a所围绕的区域内，因此，此时所述喷淋头320和排液口 330即均位于述圆形石英腔体10a的内部；
[0047]然后，打开喷淋头320的开关，以及其他辅助清洗的装置，对所述圆形石英腔体10a进行清洗，其中，所述辅助清洗的方法例如是使所述固定治具200以一定的旋转速度进行旋转，从而带动圆形石英腔体10a旋转，以使清洗液可均匀的清洗整个石英腔体10a的内壁并充分利用清洗液。
[0048]在现有技术中，当对一种形状的石英腔体清洗完成后，还需对其他形状的石英腔体进行清洗时，则需要对清洗座310上的固定治具200进行更换，每种形状的石英腔体对应单独的固定治具。例如，当对开口为圆形的圆形石英腔体10a清洗完成后，还需对开口为矩形的方形石英腔体10b进行清洗时，则需要将清洗座310上用于固定圆形石英腔体的固定治具更换为用于固定矩形石英腔体的固定治具。
[0049]而在本实施例中，所述清洗装置中的固定治具200可采用本实用新型实施例一的石英腔体的固定治具，其不但具有圆形固定导槽220a还具有矩形固定导槽220b，因此可同时用于固定开口为矩形的方形石英腔体100b。即，当对开口为圆形的圆形石英腔体10a清洗完毕后，可不必再更换固定治具200即可直接清洗开口为矩形的方形石英腔体100b。图6b为采用本实用新型实施例一中石英腔体的清洗装置对方形石英腔体10b进行清洗的剖面图，如图6b所示，在将所述方形石英腔体10b固定于固定治具200上后，所述喷淋头320也同样位于开口为矩形的方形石英腔体10b的内部，进而可达到对所述石英腔体200b的内部进行清洗的目的。
[°05°]进一步的，所述固定治具200中的圆形固定导槽220a和矩形固定导槽220b的中心位置均与清洗装置中的喷淋头320的位置重合，从而当对石英腔体进行清洗时，所述喷淋头320即位于石英腔体内部的中间位置，从而喷淋头320可将清洗液更加均匀的喷洒于石英腔体内壁上，以提高清洗效果。
[0051]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
[0052]上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
【主权项】
1.一种石英腔体的固定治具，所述固定治具用于在对石英腔体进行清洗时固定所述石英腔体，其特征在于:所述固定治具包括一基座，于所述基座上具有多个用于固定石英腔体的固定导槽，所述固定导槽为与所述石英腔体的开口相互卡合的凹槽结构。2.如权利要求1所述的石英腔体的固定治具，其特征在于:多个所述固定导槽的形状均相同，且多个所述固定导槽的尺寸互不相同。3.如权利要求2所述的石英腔体的固定治具，其特征在于:多个所述固定导槽的形状均为圆形，且多个所述固定导槽以同心圆的形式排列。4.如权利要求2所述的石英腔体的固定治具，其特征在于:多个所述固定导槽的形状均为矩形，且多个所述固定导槽的中心重合。5.如权利要求1所述的石英腔体的固定治具，其特征在于:多个所述固定导槽中，部分固定导槽的形状互不相同。6.如权利要求5所述的石英腔体的固定治具，其特征在于:所述基座上具有两个固定导槽，两个所述固定导槽的形状分别为圆形和矩形。7.如权利要求6所述的石英腔体的固定治具，其特征在于:所述圆形的固定导槽和矩形的固定导槽的中心位置重合。8.如权利要求1所述的石英腔体的固定治具，其特征在于:所述凹槽结构的凹槽宽度根据所述石英腔体的开口的厚度设置。9.一种石英腔体的清洗装置，其特征在于:包括清洗座和权利要求1?8其中之一所述的石英腔体的固定治具，所述石英腔体的固定治具安装于所述清洗座上。10.如权利要求9所述的石英腔体的清洗装置，其特征在于:所述清洗装置还包括喷淋头和排液口，所述喷淋头和排液口均位于所述固定导槽所围绕的区域内。
【文档编号】H01L21/687GK205657050SQ201620490839
【公开日】2016年10月19日
【申请日】2016年5月25日 公开号201620490839.2, CN 201620490839, CN 205657050 U, CN 205657050U, CN-U-205657050, CN201620490839, CN201620490839.2, CN205657050 U, CN205657050U
【发明人】林志鑫, 季文明
【申请人】上海新昇半导体科技有限公司