传送机构的利记博彩app
【专利摘要】本实用新型提供一种传送机构。本实用新型的传送机构，包括：转轴、轮圈以及支撑结构；所述轮圈套设在所述转轴的外围，所述轮圈与所述转轴之间形成一圈间隙，所述支撑结构跨过所述间隙，所述轮圈通过所述支撑结构与所述转轴相连，且与所述转轴共轴转动。本实用新型实现了有效避免轮圈对刻蚀液的阻挡，增加刻蚀液流动均一性，提高成品率的效果。
【专利说明】
传送机构
技术领域
[0001]本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种传送机构。
【背景技术】
[0002]目前，在平板显示及半导体行业中，生产一块显示屏幕需要经过多道工序，其中，湿法处理作为一种常用的制作工序，通常采用不用的药液对基板进行刻蚀、显影、剥离、清洗等处理。
[0003]在刻蚀处理的过程中，常用的处理方式有两种:一种是浸泡式处理，即将待处理的基板浸泡于刻蚀液中；另一种是喷淋式处理，即采用喷头等机构向待处理的基板表面喷淋刻蚀液。在喷淋式处理过程中，当待处理的基板面积较大时，需要使用传送机构来传送待处理的基板。
[0004]相关技术中，传送机构分为滚轴和轮圈，由于轮圈具有一定的面积，喷淋刻蚀液的过程中，会阻挡一部分刻蚀液，使得待处理的基板表面喷淋的刻蚀液不均匀，进而影响刻蚀效果。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型提供一种传送机构，以克服喷淋刻蚀液的过程中，轮圈会阻挡一部分刻蚀液，使得待处理的基板表面喷淋的刻蚀液不均匀，进而影响刻蚀效果的问题。
[0006]本实用新型提供一种传送机构，包括:转轴、轮圈以及支撑结构；
[0007]所述轮圈套设在所述转轴的外围，所述轮圈与所述转轴之间形成一圈间隙，所述支撑结构跨过所述间隙，所述轮圈通过所述支撑结构与所述转轴相连，且与所述转轴共轴转动。
[0008]进一步地，上述传送机构中，所述支撑结构包括连接环以及支撑件，所述连接环套接在所述转轴上，所述连接环与所述轮圈通过所述支撑件固定连接。
[0009]进一步地，上述传送机构中，所述支撑结构还包括:螺钉；
[0010]所述连接环上设置有至少一个沿其轴向延伸的开口，且所述连接环在所述开口处断开，每个所述开口的两侧对称设置有螺纹孔，位于同一所述开口的两侧对称设置的两个所述螺纹孔均与同一所述螺钉螺纹连接。
[0011 ]进一步地，上述传送机构中，所述连接环上设置有两个所述开口，将所述连接环分割为相互独立的两部分。
[0012]进一步地，上述传送机构中，所述连接环相互独立的两部分对称设置。
[0013]进一步地，上述传送机构中，所述连接环与所述转轴中的一个上设置有沿轴向延伸的凹槽，另一个上设置有与所述凹槽相配合的凸起，所述连接环与所述转轴通过所述凹槽与所述凸起的相互配合进行连接且共轴转动。
[0014]进一步地，上述传送机构中，所述支撑件为片状，且平行于所述转轴的轴心线。
[0015]进一步地，上述传送机构中，所述支撑件为杆状。
[0016]进一步地，上述传送机构中，所述支撑件至少有三个，每个所述支撑件的两端分别连接所述轮圈以及所述连接环，且相邻两个所述支撑件之间的夹角均相同。
[0017]进一步地，上述传送机构中，所述支撑件至少有三个，每个所述支撑件的两端均与所述轮圈连接，每个所述支撑件的中部均与所述连接环相连，且相邻两个所述支撑件首尾相接。
[0018]本实用新型传送机构，包括转轴、轮圈以及支撑结构，其中轮圈套设在转轴的外围，轮圈与转轴之间形成一圈间隙，支撑结构跨过间隙，轮圈通过支撑结构与转轴相连，且与转轴共轴转动，解决了喷淋刻蚀液的过程中，轮圈会阻挡一部分刻蚀液，使得待处理的基板表面喷淋的刻蚀液不均匀，进而影响刻蚀效果的问题，实现了有效避免轮圈对刻蚀液的阻挡，增加刻蚀液流动均一性，提高成品率的效果。
【附图说明】
[0019]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本实用新型传送机构实施例的整体结构示意图；
[0021]图2为本实用新型传送机构实施例的另一整体结构示意图。
[0022]附图标记:
[0023]11一转轴
[0024]111—凹槽
[0025]12—轮圈
[0026]13—支撑结构
[0027]131—连接环
[0028]1311—凸起
[0029]132—支撑件
[0030]14 一螺钉
【具体实施方式】
[0031]为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0032]图1为本实用新型传送机构实施例的整体结构示意图，图2为本实用新型传送机构实施例的另一整体结构示意图，如图1和图2所示，本实施例的传送机构，可以包括:转轴11、轮圈12以及支撑结构13。
[0033]其中，轮圈12套设在转轴11的外围，且轮圈12与转轴11之间形成一圈间隙，支撑结构13跨过间隙，设置间隙的目的在于刻蚀液可以从间隙穿过，从而避免了因为轮圈12具有一定的面积使得液体堆积的情况发生，为使得轮圈12可以实现与转轴11共轴运动，轮圈12需通过支撑结构13与转轴11相连，实现了当动力装置驱动转轴11沿一定的方向运动时，轮圈12可以随着转轴11共轴转动，从而带动需要传送的物体沿转轴11转动的方向运动，例如，当需要对基板进行刻蚀，将基板放置在轮圈12上方并与轮圈12接触，启动动力装置后，转轴11转动，从而基板在轮圈12的带动下沿轮圈12转动方向向前运动。
[0034]为了便于支撑结构13可以从转轴11上安装及拆卸，可以将支撑结构13设置成连接环131以及支撑件132的形式，其中，连接环131套接在转轴11上，且连接环131与轮圈12可以通过支撑件132固定连接，形成了连接环131、支撑件132和轮圈12为一体结构的滚轮，转轴11在动力装置的驱动下转动的同时，带动连接环131、支撑件132和轮圈12转动，实现了将连接环131、支撑件132和轮圈12为一体结构的滚轮可以很方便的安装在转轴11上，以及当滚轮损坏了也可以很方便的从转轴11上拆卸下来的效果。
[0035]其中，支撑件132可以采用片状结构的材料，并且支撑件132需平行于转轴11的轴心线，这样可以最大程度上减小支撑件132在垂直于转轴11方向的面积，实现了进一步的减少液体堆积的效果。
[0036]另外，支撑件132还可以采用杆状结构的材料，采用杆状的形状相比较采用片状的结构，增大了支撑强度的同时，还可以使得在传送过程中轮圈12受力均匀，使得轮圈12不易变形的效果。
[0037]为了使得支撑件132可以更好的对轮圈12起到支撑作用，可以使用至少三个支撑件132，每个支撑件132的两端分别连接轮圈12和连接环131，并且使得相邻的两个支撑件132之间的夹角均相同。例如图1所示，使用三个支撑件132，其中，每个支撑件132的两端分别连接轮圈12和连接环131，且相邻的两个支撑件132之间的夹角均为120度。又例如，使用四个支撑件132，其中，每个支撑件132的两端分别连接轮圈12和连接环131，且相邻的两个支撑件132之间的夹角均为90度。支撑件132采用这样的结构，实现了轮圈12在转动的过程中受力均匀，且支撑更加稳定的效果。
[0038]还可以采用至少三个支撑件132，每个支撑件132的两端均与轮圈12连接，每个支撑件132的中部均与连接环131相连，且相邻两个支撑件132首尾相接。例如图2所示，采用三个支撑件132，每个支撑件132的两端均与轮圈12连接，每个支撑件132的中部均与连接环131相邻，且相邻两个支撑件132收尾相接，使得三个支撑件132形成等边三角形的结构。实现了轮圈12在转动的过程中受力均匀，且支撑更加稳定的效果。
[0039]为了实现可以控制连接环131与转轴11之间套接的紧密程度，可以在连接环131上设置有至少一个沿其轴向延伸的开口，且连接环131在开口处断开，并在每个开口的两侧对称设置有螺纹孔，通过使用螺钉14将位于同一开口的两侧对称设置的两个螺纹孔螺纹连接，实现了在安装过程，可以根据使用需求，通过螺钉14对连接环131与转轴11之间套接的紧密程度进行调节的效果。
[0040]例如，在连接环131上设置两个开口，将连接环131分割为相互独立的两部分，设置成两部分的目的在于减少安装的步骤，实现了提高安装效率的效果。并且，当连接环131被分割成相互独立的两部分时，优选采用对称设置，如每部分分别是一个半圆弧形的环，这样设计的目的在使用拆装工具进行拆装时，操作起来更加的方便。
[0041]采用上述结构的传送机构，在转动的过程中，经过在其上放置的物体，如基板，在重力作用下，连接环131和转轴11发生相对转动，而影响传送效率，因此，可以在连接环131与转轴11中的一个上设置有沿转轴11轴向延伸的凹槽111，在另一个上设置有与凹槽111相配合的凸起1311。例如图1所示，在连接环131上设置有凹槽111，在转轴11上设置有凸起1311，在将有连接环131、支撑件132和轮圈12为一体结构的滚轮安装在转轴11上时，将凸起1311与凹槽111连接，使得连接环131与转轴11通过凹槽111与凸起1311的相互配合而进行共轴运动。也可以在连接环131上既设置有凸起也设置有凹槽，或在转轴上11既设置有凸起也设置有凹槽。实现了进一步的提高连接环131与转轴11之间的共轴转动，使得转轴11的转动可以完全传递到轮圈12上，从而提高传送效率的效果。
[0042]本实施例的传送机构，包括转轴11、轮圈12以及支撑结构13，其中轮圈12套设在转轴11的外围，轮圈12与转轴11之间形成一圈间隙，支撑结构13跨过间隙，轮圈12通过支撑结构13与转轴11相连，且与转轴11共轴转动，解决了喷淋刻蚀液的过程中，轮圈12会阻挡一部分刻蚀液，使得待处理的基板表面喷淋的刻蚀液不均匀，进而影响刻蚀效果的问题，实现了有效避免轮圈12对刻蚀液的阻挡，增加刻蚀液流动均一性，提高成品率的效果。
[0043]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种传送机构，其特征在于，包括:转轴、轮圈以及支撑结构； 所述轮圈套设在所述转轴的外围，所述轮圈与所述转轴之间形成一圈间隙，所述支撑结构跨过所述间隙，所述轮圈通过所述支撑结构与所述转轴相连，且与所述转轴共轴转动。2.根据权利要求1所述的传送机构，其特征在于，所述支撑结构包括连接环以及支撑件， 所述连接环套接在所述转轴上，所述连接环与所述轮圈通过所述支撑件固定连接。3.根据权利要求2所述的传送机构，其特征在于，所述支撑结构还包括:螺钉； 所述连接环上设置有至少一个沿其轴向延伸的开口，且所述连接环在所述开口处断开，每个所述开口的两侧对称设置有螺纹孔，位于同一所述开口的两侧对称设置的两个所述螺纹孔均与同一所述螺钉螺纹连接。4.根据权利要求3所述的传送机构，其特征在于，所述连接环上设置有两个所述开口，将所述连接环分割为相互独立的两部分。5.根据权利要求4所述的传送机构，其特征在于，所述连接环相互独立的两部分对称设置。6.根据权利要求2所述的传送机构，其特征在于，所述连接环与所述转轴中的一个上设置有沿轴向延伸的凹槽，另一个上设置有与所述凹槽相配合的凸起，所述连接环与所述转轴通过所述凹槽与所述凸起的相互配合进行连接且共轴转动。7.根据权利要求2-6中任一项所述的传送机构，其特征在于，所述支撑件为片状，且平行于所述转轴的轴心线。8.根据权利要求2-6中任一项所述的传送机构，其特征在于，所述支撑件为杆状。9.根据权利要求7所述的传送机构，其特征在于，所述支撑件至少有三个，每个所述支撑件的两端分别连接所述轮圈以及所述连接环，且相邻两个所述支撑件之间的夹角均相同。10.根据权利要求2所述的传送机构，其特征在于，所述支撑件至少有三个，每个所述支撑件的两端均与所述轮圈连接，每个所述支撑件的中部均与所述连接环相连，且相邻两个所述支撑件首尾相接。
【文档编号】H01L21/677GK205542733SQ201620064634
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年1月22日
【发明人】陈建都
【申请人】昆山国显光电有限公司