一种用于管式pecvd的新型卡点的利记博彩app
【专利摘要】一种用于管式PECVD的新型卡点，包括一基座，基座的两端均设置有卡片，该卡片为多边形结构。本实用新型大大减小了遮光面积，并且多边形结构卡片的每个角能够依次使用，每个卡点能够多次使用，节约了成本。
【专利说明】
一种用于管式PECVD的新型卡点
技术领域
[0001]本实用新型涉及光电设备制造领域，尤其涉及一种用于管式PECVD的新型卡点。
【背景技术】
[0002]常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。目前，在所有的太阳电池中，晶体硅太阳电池是得到大范围商业推广的太阳能电池之一，这是由于硅材料在地壳中有着极为丰富的储量，同时晶体硅太阳电池相比其他类型的太阳能电池有着优异的电学性能和机械性能，因此，晶体硅太阳电池在光伏领域占据着重要的地位。
[0003]在硅片上镀膜是生产晶体硅太阳电池的必要工序，现有的管式PECVD晶体硅太阳电池生产当中使用的是石墨舟圆形卡点，参见图1和图2所示，圆形卡点包括一圆柱形基座I和设于圆柱形基座I两端的圆形卡片2，用于卡住石墨舟片当中的硅片，以便在进行放电反应时有较良好的通电，使氮化娃沉积在娃片的表面，形成氮化娃膜。
[0004]但是，使用这种圆形卡点存在如下不足:(I)遮挡面积大，造成光吸收面积减小，电流相对偏低；(2)卡点无法确定磨损位置，不利于多次使用。
【发明内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种用于管式PECVD的新型卡点。
[0006]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种用于管式PECVD的新型卡点，包括一基座，基座的两端均设置有卡片，该卡片为多边形结构。
[0007]上述方案中，所述卡片为正六边形结构。
[0008]优选地，所述基座的主体为正六棱柱，所述卡片设于正六棱柱轴向的两端。
[0009]上述方案中，所述卡片上对应于任意一条边或一个角设有标记，在使用过程中，确定一使用方向(如顺时针或逆时针)，从有标记的一角开始使用，下一周期使用下一个角，当再次回到有标记的一角时，说明卡片的每一个角都被使用过，即可更换新的卡点。
[0010]上述方案中，所述标记为箭头标记。
[0011]上述方案中，所述卡片的边缘与基座的端面之间具有用于夹持硅片的夹持卡槽。
[0012]上述方案中，在使用状态下，所述多边形结构卡片的角用于夹持硅片。
[0013]上述方案中，所述卡片的主体为锥台结构，锥台结构的小头端与基座连接。
[0014]上述方案中，所述基座的外缘尺寸大于卡片的外缘尺寸。
[0015]上述方案中，所述卡片也可采用四边形、三角形、七边形等，基座形状可以与卡片的形状相同，也可以不同。
[0016]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
[0017]1.本实用新型的卡片为多边形结构，在使用时，通过多边形的角对硅片进行夹持，相较于圆形卡片，大大减小了遮光面积；
[0018]2.本实用新型多边形有多个角，每个角可以依次使用；
[0019]3.本实用新型结构新颖，使用可靠，便于维护，适于推广。
【附图说明】
[0020]图1为现有的圆形卡点俯视图。
[0021]图2为现有的圆形卡点侧视图。
[0022]图3为本实用新型实施例一俯视图。
[0023]图4为本实用新型实施例一侧视图。
[0024]图5为本实用新型实施例一对应的石墨片结构图。
[0025]图6为本实用新型实施例一与现有技术使用效果对比图。
[0026]其中:1、圆柱形基座；2、圆形卡片；3、基座;4、卡片；5、夹持卡槽;6、标记；7、石墨片;8、装配孔;9、硅片。
【具体实施方式】
[0027]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0028]实施例一:
[0029]参见图3~6所示，一种用于管式PECVD的新型卡点，包括一基座3，基座3的两端均设置有卡片4，该卡片4为正六边形结构。
[0030]所述基座3的主体为正六棱柱，所述卡片4设于正六棱柱轴向的两端。
[0031]所述卡片4上对应于任意一条边或一个角设有标记6，在使用过程中，确定一使用方向(如顺时针或逆时针)，从有标记6的一角开始使用，下一周期使用下一个角，当再次回到有标记6的一角时，说明卡片4的每一个角都被使用过，即需要更换新的卡点。
[0032]所述卡片4的边缘与基座3的端面之间具有用于夹持硅片9的夹持卡槽5。
[0033]参见图6所示，在使用状态下，所述多边形结构卡片4的角用于夹持硅片9。
[0034]所述卡片4的主体为锥台结构，锥台结构的小头端与基座3连接。
[0035]所述基座3的外缘尺寸大于卡片4的外缘尺寸。
[0036]参见图5所示，当基座3为正六棱柱结构时，石墨片7上对应于基座3开设有正六边形的装配孔8。
[0037]在实际应用中，所述卡片4也可采用四边形、正四边形、三角形、正三角形、七边形、正七边形等，基座3形状可以与卡片4的形状相同，也可以不同。
[0038]所述标记6为箭头标记。
[0039]图6的右下角给出了在半径相同的情况下，圆形卡片2与正六边形的卡片4对于硅片的遮挡面积的比较，由图可见，在半径相同的情况下，正六边形的卡片4对硅片9的遮挡面积比圆形卡片2对硅片9的遮挡面积小得多。
【主权项】
1.一种用于管式PECVD的新型卡点，其特征在于:包括一基座，基座的两端均设置有卡片，该卡片为多边形结构。2.根据权利要求1所述的用于管式PECVD的新型卡点，其特征在于:所述卡片为正六边形结构。3.根据权利要求1所述的用于管式PECVD的新型卡点，其特征在于:所述基座的主体为正六棱柱，所述卡片设于正六棱柱轴向的两端。4.根据权利要求1或2所述的用于管式PECVD的新型卡点，其特征在于:所述卡片上对应于任意一条边或一个角设有标记。5.根据权利要求4所述的用于管式PECVD的新型卡点，其特征在于:所述标记为箭头标记。6.根据权利要求1或2或3所述的用于管式PECVD的新型卡点，其特征在于:所述卡片的边缘与基座的端面之间具有用于夹持硅片的夹持卡槽。7.根据权利要求1或2或3所述的用于管式PECVD的新型卡点，其特征在于:在使用状态下，所述多边形结构卡片的角用于夹持硅片。8.根据权利要求1或2或3所述的用于管式PECVD的新型卡点，其特征在于:所述卡片的主体为锥台结构，锥台结构的小头端与基座连接。9.根据权利要求1所述的用于管式PECVD的新型卡点，其特征在于:所述基座的外缘尺寸大于卡片的外缘尺寸。
【文档编号】H01L31/18GK205452326SQ201620245097
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年3月28日
【发明人】郑银先, 党继东, 张标
【申请人】盐城阭特斯协鑫阳光电力科技有限公司