一种耐腐蚀超洁净加热装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种耐腐蚀超洁净加热装置，用于半导体行业的晶圆湿处理后的取干设备，以达到行业的高洁净度要求。
【背景技术】
[0002]在半导体行业晶圆制造过程中，很多要求非常高的湿处理工艺，在湿处理后，晶圆的取干也是至关重要的。传统、常规的工艺是，湿处理与取干工序是分开进行的。晶圆湿处理后再送至甩干机内甩干。这种工艺已经不能满足行业发展的要求。目前随着行业技术的不断创新、发展，集成电路线宽越来越低，对工艺控制要求越来越高，晶圆制造的产品质量、生产效率、成本控制等都提出新的要求。怎样尽可能降低湿处理后取干工序的二次污染、提高效率与良品率、降低生产成本，对湿处理与取干设备的设计、工艺都提出了更高要求。
【发明内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种耐腐蚀超洁净加热装置。
[0004]本实用新型技术问题通过下述方案解决:一种耐腐蚀超洁净加热装置，用于湿处理与取干一体化设备内，包含防护层和加热单元，自下而上依序有导热隔离层、硅橡胶加热毯和硅橡胶保温层的复合层，被不锈钢板保护罩包覆硅橡胶保温层上表面及复合层的四周侧面，在不锈钢板保护层外罩有敞口 PP外壳。
[0005]在上述方案基础上，所述的导热隔离层为聚四氟乙烯板材。
[0006]在上述方案基础上，所述的导热隔离层有钠化工艺处理的表层。
[0007]与现有技术比，本实用新型的优越性在于:1、减少工序流程、节约时间；2、避免晶圆流转过程中产生二次污染;3、甩干及加热辅助取干不用分别进行，节约时间、提高效率；
4、使用高纯PTFE材料，有隔离、耐腐蚀和无污染的特点，以满足现代半导体行业的降低污染、增加效率以及晶圆的高洁净度取干要求。
【附图说明】
[0008]图1，本实用新型剖面结构示意图；
[0009]图中标号说明:
[0010]I——PP外壳；2——不锈钢保护罩；
[0011 ] 3 娃橡Jj父保温层;4 娃橡Jj父加热越;
[0012]5——PTFE导热隔离层。
【具体实施方式】
[0013]如图1本实用新型剖面结构示意图所示:一种耐腐蚀超洁净加热装置，用于湿处理与取干一体化设备内，包含防护层和加热单元，自下而上依序有导热隔离层5、硅橡胶加热毯4和硅橡胶保温层3的复合层，被不锈钢板保护罩2包覆硅橡胶保温层3上表面及复合层的四周侧面，在不锈钢板保护罩2外罩有敞口 PP外壳I。
[0014]本实施例用在本申请人设计的湿处理与取干一体化设备内，晶圆在设备湿处理工序完成后，无需取出，直接甩干及加热取干。减少了产品的运转工艺流程，节约时间、提高效率，有效的降低晶圆的二次污染。该装置采用高纯防腐PTFE材质，可根据工艺需要使用各种湿处理化学品，而不被腐蚀及无任何污染产生。
[0015]本实施例中，由高纯PP板做防护PP外壳I，SUS304不锈钢保护罩2，硅橡胶保温层3，硅橡胶加热毯4，高纯PTFE板制作的PTFE导热隔离层5组成。
[0016]为提高复合层间粘合性，所述的导热隔离层有钠化工艺处理的表层。
[0017]本实施例的利记博彩app为:使用厚度1mm的耐腐蚀的高纯PP板材做防护外壳，厚度为3mm的304不锈钢板材加工为保护罩，厚度为60mm的娃橡胶保温材料做保温层、厚度为5_的硅橡胶加热毯做加热单元，厚度为1.5mm高纯聚四氟乙烯(PTFE)板材作为导热隔离层，PTFE板材需要钠化工艺处理后，表面形成钠化工艺处理的表层，与硅橡胶加热毯有效粘接及导热。
[0018]如图1所示，由高纯PP板加工焊接成PP外壳I，主要对装置整体进行防腐及无金属污染，达到半导体行业的洁净要求;不锈钢保护罩2为保证装置的支撑强度及作为加热器保护罩，使装置加热后不会产生变形;硅橡胶板材作为硅橡胶保温层3，与不锈钢保护罩2及硅橡胶加热毯4粘接;高纯PTFE板材通过钠化工艺处理后作为PTFE导热隔离层5与硅橡胶加热毯4粘接，起到隔离加热器及导热作用，防止化学液的腐蚀及不产生任何污染，以此达到本装置的设计功能。
【主权项】
1.一种耐腐蚀超洁净加热装置，用于湿处理与取干一体化设备内，包含防护层和加热单元，其特征在于:自下而上依序有PTFE导热隔离层(5)、硅橡胶加热毯(4)和硅橡胶保温层(3)的复合层，被不锈钢板保护罩(2)包覆硅橡胶保温层(3)上表面及复合层的四周侧面，在不锈钢板保护罩(2)外罩有敞口 PP外壳(I)。2.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀超洁净加热装置，其特征在于:所述的导热隔离层(5)有钠化工艺处理的表层。3.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀超洁净加热装置，其特征在于:所述的硅橡胶保温层(3)与不锈钢板保护层(2)内表面粘接。
【专利摘要】本实用新型涉及一种耐腐蚀超洁净加热装置，用于半导体行业的晶圆湿处理后的取干设备，包含防护层和加热单元，自下而上依序有导热隔离层、硅橡胶加热毯和硅橡胶保温层的复合层，被不锈钢板保护层包覆硅橡胶保温层上表面及复合层的四周侧面，在不锈钢板保护层外罩有敞口PP外壳。通过使用高纯度PP外壳和PTFE材质，可以满足特殊化学品的湿处理、取干一体化，达到减少工序流程；避免晶圆流转过程中产生二次污染；甩干及加热辅助取干不用分别进行，节约时间、提高效率；使用高纯PTFE导热隔离层，有隔离、耐腐蚀和无污染的特点，以满足现代半导体行业的降低污染、增加效率以及晶圆的高洁净度取干要求。
【IPC分类】H01L21/02
【公开号】CN205335225
【申请号】CN201620078922
【发明人】赵国飞
【申请人】上海旭熠电子技术有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2016年1月27日