一种储片盒换气歧管的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及储片盒开门机构技术领域，更具体涉及一种储片盒换气歧管。
【背景技术】
[0002]在半导体工艺设备中，设备工艺的微环境需要低的含氧量，以保证产品质量。以硅片为例，室温中，硅片和空气中的氧气缓慢反应生成自然氧化膜，因此氧气的浓度过高会影响硅片的工艺结果，进而影响整个生产线的产能和良率，造成损失。另一方面，在半导体产品的生产过程中，微环境需要较高的洁净度，对颗粒控制有着极严格的要求，工艺过程中硅片表面的颗粒数量直接影响产品的良率，这对半导体整个生产线的效率都有影响。硅片在工艺开始进入腔室前和完成工艺后要有一段时间在低氧气浓度、高洁净度的储片盒的密闭环境中，这就要求储片盒的内部空间同样具备低的含氧量和较高的洁净度。
[0003]在行业内处理这类问题的机构中，需要对储片盒进行改造，在其内部安装相应结构来实现净化和降低含氧量的功能，不利于大规模的生产需要，也会另储片盒的总重增加。
【实用新型内容】
[0004](一 )要解决的技术问题
[0005]本实用新型要解决的技术问题是如何在储片盒开启时，在不改变储片盒结构的基础上，降低储片盒内部的含氧量，净化所述储片盒的内部环境。
[0006]( 二)技术方案
[0007]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种储片盒换气歧管，安装于开门机构上，所述一种储片盒换气歧管设置进气孔和出气孔，所述进气孔与出气孔相通，由所述进气孔通入气体，并由所述出气孔将气体注入储片盒内；所述出气孔与竖直方向具有预定的倾斜角度。
[0008]优选地，所述进气孔为两个。
[0009]优选地，所述进气孔位于所述一种储片盒换气歧管的两端。
[0010]优选地，所述出气孔直径为8mm。
[0011]优选地，所述出气孔为18个，并且排为一列。
[0012]优选地，所述出气孔之间内部相通。
[0013]优选地，所述一种储片盒换气歧管设置固定孔。
[0014]优选地，所述一种储片盒换气歧管为金属材质。
[0015](三)有益效果
[0016]本实用新型提供了一种储片盒换气歧管，所述歧管竖直安装于储片盒的开门机构上，包括进气孔和多个出气孔，通过进气孔向歧管注入氮气等气体，在通过出气孔将气体以匀速层流状态注入储片盒的腔内，降低储片盒腔内的含氧量，同时通过排气口将置换的气体排出储片盒，为储片盒营造一个低氧、洁净的微环境。另外由于在换气过程中，在整个纵向都有出气孔，因此形成的层流气流可以最充分的排走储片盒内的空气，并且不容易卷起储片盒内部的颗粒；本实用新型的歧管能够有效防止储片盒门的开门机构将门打开时污染内部的微环境。
【附图说明】
[0017]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本实用新型的一种储片盒换气歧管的结构示意图；
[0019]图2为本实用新型的一种储片盒换气歧管的侧视图；
[0020]图3为本实用新型的一种储片盒换气歧管的安装示意图；
[0021]图4为本实用新型的一种储片盒换气歧管换气示意图；
[0022]图5为储片盒结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
[0024]图1为本实用新型的一种储片盒换气歧管的结构示意图；图2为本实用新型的一种储片盒换气歧管的侧视图；所述一种储片盒换气歧管I竖直安装于开门机构4上，如图3所示，其设置进气孔102和出气孔101，所述出气孔101与竖直方向具有预定的倾斜角度；所述进气孔102与出气孔101相通，出气孔101之间内部也是相通的，由进气孔102将氮气等气体通入歧管，通过出气孔101将氮气等气体以匀速层流状态注入储片盒的腔内，降低储片盒腔内的含氧量，同时通过排气口 8将置换的气体排出储片盒，为储片盒营造一个低氧、洁净的微环境。另外由于在换气过程中，在整个纵向都有出气孔，因此形成的层流气流可以最充分的排走储片盒内的空气，并且不容易卷起储片盒内部的颗粒；本实用新型的歧管能够有效防止储片盒门的开门机构将门打开时污染内部的微环境。
[0025]所述储片盒5包括密封门7、储片盒体9以及排气口 8 ;所述排气口 8位于所述储片盒体9的上方。
[0026]所述进气孔102用于通入高纯气体，例如氮气；所述进气孔的数量根据具体的情况为I个或多个，优选地为两个，分别位于所述歧管的两端。
[0027]所述出气孔101为多个，排为一列，并且相互之间内部相通；所述出气孔101优选地为18个，直径为8mm。所述进气孔102的与竖直方向的倾斜角度根据实际情况确定，优选地为20度。储片盒内部的硅片6为水平方向，由出气孔101进入的气流在储片盒5内形成稳定的层流，气体于竖直方向呈一定角度的出气孔排出，如图4所示由于储片盒内壁的结构是一个沿着硅片6的弧形的结构，这样就使得气流以一个角度沿着硅片间的空隙回转流动。气体在流动过程中，在整个纵向都有相应位置的出气孔，因此形成的层流气流可以最充分的排走储片盒内的空气，并用通入的高纯氮气替代，并且不容易卷起储片盒内部的颗粒。整个吹扫过程会持续一小段时间，当完成吹扫后关闭高纯氮气，开门机构打开储片盒的密封门。此时储片盒内部已经充满了高纯氮气，这样就不会使得腔室下部的密闭环境氧气浓度上升。图4所示的开门机构是具有外框的密闭结构，该结构在关门时与储片盒组成一个密闭的空间。
[0028]所述一种储片盒换气歧管为金属材质，或其他材质；所述一种储片盒换气歧管的进气孔102采用螺纹连接，也可以用焊接接头等其它方式连接；所述歧管设置固定孔103，用于通过螺纹连接固定于开门机构上。
[0029]本实用新型的歧管安装于开门机构4的一侧，在不改变储片盒结构的基础上，利用高纯氮气或其他气体排出氧气使储片盒内部为纯氮环境，从而实现快速降低储片盒内部的氧气浓度的功能；高纯氮气通过出气孔进入，勾速吹向储片盒内部层叠娃片的间隙，再通过排气口排出，均匀的气流可防止内部的颗粒扰动，可避免硅片上附着颗粒而受到污染，本实用新型的歧管可有效防止储片盒门的开门机构将门打开时污染储片盒的微环境。
[0030]以上实施方式仅用于说明本实用新型，而非对本实用新型的限制。尽管参照实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，对本实用新型的技术方案进行各种组合、修改或者等同替换，都不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
【主权项】
1.一种储片盒换气歧管，安装于开门机构上，其特征在于，所述一种储片盒换气歧管设置进气孔和出气孔，所述进气孔与出气孔相通，由所述进气孔通入气体，并由所述出气孔将气体注入储片盒内；所述出气孔与竖直方向具有预定的倾斜角度。2.根据权利要求1所述的一种储片盒换气歧管，其特征在于，所述进气孔为两个。3.根据权利要求2所述的一种储片盒换气歧管，其特征在于，所述进气孔位于所述一种储片盒换气歧管的两端。4.根据权利要求1至3任一项所述的一种储片盒换气歧管，其特征在于，所述出气孔直径为8mm。5.根据权利要求4所述的一种储片盒换气歧管，其特征在于，所述出气孔为18个，并且排为一列。6.根据权利要求5所述的一种储片盒换气歧管，其特征在于，所述出气孔之间内部相通。7.根据权利要求5或6所述的一种储片盒换气歧管，其特征在于，所述一种储片盒换气歧管设置固定孔。8.根据权利要求7所述的一种储片盒换气歧管，其特征在于，所述一种储片盒换气歧管为金属材质。
【专利摘要】本实用新型提供了一种储片盒换气歧管，竖直安装于开门机构上。所述一种储片盒换气歧管设置进气孔和出气孔，所述出气孔与竖直方向具有预定的倾斜角度，所述出气孔与进气孔相通。本实用新型通过进气孔向歧管通入氮气等气体，并通过出气孔向储片盒的腔内匀速注入氮气等气体，降低储片盒腔内的含氧量，为储片盒营造一个低氧、洁净的微环境。另外由于在换气过程中，在整个纵向都有出气孔，因此形成的层流气流可以最充分的排走储片盒内的空气，并且不容易卷起储片盒内部的颗粒；本实用新型的歧管能够有效防止储片盒门的开门机构将门打开时污染内部的微环境。
【IPC分类】H01L21/673
【公开号】CN204741007
【申请号】CN201520248103
【发明人】孙晋博
【申请人】北京七星华创电子股份有限公司
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2015年4月22日