一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于制造石英晶体元件的设备技术领域，具体是一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置。
【背景技术】
[0002]石英晶体谐振器在制造过程中，需通过离子刻蚀机对其进行频率调试。调试过程中通过挡板的打开和关闭动作对离子束进行控制。然而传统的挡板调试装置上挡板的打开和关闭是由电磁线圈控制的，电磁线圈通电时间用久了之后会发黑，导致通电电磁线圈不能及时控制挡板的打开和关闭，使石英晶体得不到有效的调试或调试过度损坏晶体，从而造成石英晶体谐振器的不良率上升，同时石英晶体谐振器的频率散差也会变大。再者，电磁线圈的磁力太小限制了挡板的厚度不能太大，使挡板的使用周期较短，增加了挡板的故障率，影响了产品生产的效率。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，能有效解决电磁线圈控制挡板的不稳定性和挡板使用周期较短的问题。
[0004]本实用新型采用以下技术方案实现:
[0005]一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，包括挡板固定底座和钼片板，其特征是所述挡板固定底座上设置有旋转电机，旋转电机的电机轴上带有挡板；所述钼片板上设置有调试孔。
[0006]本实用新型所述钼片板上的调试孔有两个；所述挡板固定底座上的旋转电机有两个，两旋转电机的电机轴上分别带有能挡住上述调试孔的挡板。
[0007]当离子刻蚀机上的石英晶体谐振器需要被测试调试时，旋转电机开始工作，电机轴带动挡板旋转，使挡板与调试孔错开，此时石英晶体谐振器处于调试状态。在调试完成后，电机轴带动挡板旋转进行复位，使挡板与调试孔重合，对调试孔进行遮挡。
[0008]本实用新型的挡板调试装置在控制石英晶体谐振器的调试时，通过旋转电机控制挡板的转动，从而可使挡板达到遮挡调试孔或打开调试孔的目的，调试孔的关闭和打开调节灵活，动作灵敏，产品良率高。同时，挡板厚度较厚，使挡板的使用周期较长，设备故障和维修率低。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]下面参照附图对本实用新型的【具体实施方式】做进一步说明。
[0011]如图1所示，一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，由挡板固定底座I和钼片板2组成，其特征是所述挡板固定底座I上设置有一对旋转电机3 ;电机轴4上设置有挡板固定块5，挡板6通过挡板固定块5固定在电机轴4上，挡板6通过固定螺丝7固定在挡板固定块5上；所述钼片板2上设置有调试孔8，调试孔的数量为两个。
[0012]本实用新型的工作原理为:当离子刻蚀机上的石英晶体谐振器需要被测试调试时，旋转电机3开始工作，电机轴4带动挡板6向下旋转90°，使挡板6与调试孔8错开，此时石英晶体谐振器处于调试状态。在调试完成后，电机轴4带动挡板6向上旋转90°进行复位，使挡板6与调试孔8重合，对调试孔8进行遮挡。本实用新型的挡板调试装置在控制石英晶体谐振器的调试时，通过旋转电机控制挡板的转动，从而可使挡板达到遮挡调试孔或打开调试孔的目的，调试孔的关闭和打开调节灵活，动作灵敏，产品良率高。同时，挡板厚度较厚，使挡板的使用周期较长，设备故障和维修率低。
【主权项】
1.一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，包括挡板固定底座和钼片板，其特征是所述挡板固定底座上设置有旋转电机，旋转电机的电机轴上带有挡板；所述钼片板上设置有调试孔。2.根据权利要求1所述的一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，其特征在于:所述钼片板上的调试孔有两个。3.根据权利要求1或2所述的一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，其特征在于:所述挡板固定底座上的旋转电机有两个，两旋转电机的电机轴上分别带有能挡住上述调试孔的挡板。4.根据权利要求1或2所述的一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，其特征在于:挡板通过挡板固定块固定在电机轴上。5.根据权利要求4所述的一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，其特征在于:挡板通过固定螺丝固定在挡板固定块上。
【专利摘要】本实用新型属于制造石英晶体元件的设备技术领域，具体是一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，由挡板固定底座和钼片板组成，其特征是所述挡板固定底座上设置有旋转电机；电机轴上设置有挡板固定块，挡板通过固定螺丝固定在挡板固定块上；所述钼片板上设置有调试孔。本实用新型的挡板调试装置在控制石英晶体谐振器的调试时，通过旋转电机控制挡板的转动，从而可使挡板达到遮挡调试孔或打开调试孔的目的，调试孔的关闭和打开调节灵活，动作灵敏，产品良率高。同时，挡板厚度较厚，使挡板的使用周期较长，设备故障和维修率低。
【IPC分类】H01J37/32
【公开号】CN204651287
【申请号】CN201520291021
【发明人】詹超, 廖其飞, 吴宗泽, 池旭明, 王臻, 林土全
【申请人】浙江东晶电子股份有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年5月7日