涂胶设备及其框架的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体加工设备，尤其涉及一种涂胶设备及其框架。
【背景技术】
[0002]在半导体工艺中，光刻是一种重要的工艺。在光刻工艺中，需要采用涂胶设备(coater)进行光刻胶的涂布，后续还需要对光刻胶进行烘、曝光、显影等操作。为了提高设备集成度，现有技术中的涂胶设备往往集成有烘烤机(bake)。
[0003]目前的烘烤机的壳体通常是封闭的，其中设置有支撑架用于支撑烘烤机。在设备总装时，需要通过人力将烘烤机抬起后放置在封闭壳体内的支撑架上。但是，烘烤机的重量通常是非常大的，例如可以达到数百公斤，这就使得烘烤机的安装过程比较费时、费力。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题是提供一种涂胶设备及其框架，可以通过外部的起重设备将烘烤机放置在支撑架上，安装更加方便、省力、省时。
[0005]为解决上述技术问题，本发明提供了一种涂胶设备的框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，其中，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。
[0006]根据本发明的一个实施例，所述支撑架的数量为多个，每一支撑架对应一个安装开口。
[0007]根据本发明的一个实施例，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。
[0008]本发明还提供了一种涂胶设备，包括:
[0009]框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有支撑架；
[0010]烘烤机，设置在所述支承架上；
[0011 ] 其中，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。
[0012]根据本发明的一个实施例，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。
[0013]与现有技术相比，本发明具有以下优点:
[0014]本发明实施例的涂胶设备的框架为开放的框架式结构，采用多条横梁和纵梁拼接而成，其侧壁具有安装开口，该安装开口的底边位置与支撑架的位置相对，并且该开口底边位置处的横梁至少部分可拆卸。在安装烘烤机时，可以将可拆卸的部分拆卸下来，利用铲车等外部起重设备直接将烘烤机放置在支撑架上，无需人力，更加省时、省力。
【附图说明】
[0015]图1是本发明实施例的涂胶设备的框架的立体结构示意图；
[0016]图2是本发明实施例的涂胶设备的框架改换另一视角的立体结构示意图；
[0017]图3是本发明实施例的涂胶设备的立体结构示意图；
[0018]图4是本发明实施例的涂胶设备的改换另一视角的立体结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。
[0020]参考图1和图2，本实施例的涂胶设备的框架10是一种“笼状”的开放式结构，底面、顶面以及侧壁都采用多条横梁和纵梁拼接而成，其中，横梁和纵梁相互垂直。横梁和纵梁可以采用各种适当的材料，例如可以是钢梁、铝合金梁等承重能力较强的材料。各条横梁和纵梁之间的连接方式可以是焊接等常用的固定方式。
[0021]框架10内部设置有用于支撑烘烤机的支撑架11。根据集成的烘烤机的数量的不同，支撑架11的数量可以不同，但总体而言，支撑架11的数量与烘烤机的数量相等，也就是一台烘烤机设置在一个支撑架11上。支撑架11也可以采用横梁和纵梁来构建，也就是支撑架11的材料和加工过程可以和框架10的底面、顶面以及侧面相同，以简化制造工艺，降低成本。
[0022]或者，支撑架11也可以采用专用的支架结构，将该专用的支架结构固定安装在框架10内部，例如可以和侧壁的多条横梁、纵梁相固定，以保持足够的支撑能力。
[0023]框架10的侧壁上具有用于装入烘烤机的安装开口 12。框架10制成后，烘烤机就从该安装开口 12装入框架10内部并放置在支撑架11上。安装开口 12的尺寸需要大于烘烤机的尺寸，以使得烘烤机能够通过该安装开口 12装入框架10内部。
[0024]安装开口 12可以在加工框架10的侧壁时预留，例如，在焊接多条横梁和纵梁时预留足够大小的开口作为安装开口。或者，安装开口 12也可以在框架10的侧壁加工完成后，再在侧壁上打开一个开口。
[0025]安装开口 12的数量与支撑架11的数量相等，每一个支撑架11对应一个安装开口12，相应地也就对应一台烘烤机。以图1和图2所示为例，该实例中包含2个支撑架11，2个安装开口 12。
[0026]安装开口 12的底边位置与支撑架11的位置相对，二者基本在同一水平面内。该安装开口 12的底边位置处保留一横梁13，而且该横梁13至少是部分可拆卸的。进一步而言，该安装开口 12的底边位置处的横梁13可以全部或者部分被拆卸下来，然后可以根据需要再装回。
[0027]横梁13的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式可以是螺接、键连接、卡口连接等适当的可拆卸连接方式。
[0028]参考图3和图4，图3和图4示出了本实施例的涂胶设备20的立体结构，其在图1和图2所示框架的基础上，还包括了烘烤机21。该烘烤机21设置在支撑架11上。
[0029]结合图1至图4，在安装烘烤机21时，可以将安装开口 12底边位置处的横梁13的可拆卸部分拆除；然后将烘烤机21采用铲车等外部起重设备直接架设到支撑架11上；最后再将横梁13的可拆卸部分装回，完成烘烤机21的安装过程。整个安装过程无需人力将烘烤机21抬起，更加省时、省力。其中，图3和图4示出了横梁13的可拆卸部分被卸下时的状态，图1和图2示出了横梁13的可拆卸部分被装回后的状态。
[0030]由上，横梁13的可拆卸部分拆除后，使得支撑架11为一开放式结构，对外并无遮挡，从而使得铲车的使用成为可能。
[0031]本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。
【主权项】
1.一种涂胶设备的框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，其特征在于， 所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。2.根据权利要求1所述的框架，其特征在于，所述支撑架的数量为多个，每一支撑架对应一个安装开口。3.根据权利要求1所述的框架，其特征在于，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。4.一种涂胶设备，其特征在于，包括: 框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有支撑架； 烘烤机，设置在所述支承架上； 其中，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。5.根据权利要求4所述的涂胶设备，其特征在于，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。
【专利摘要】本发明提供了一种涂胶设备及其框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。本发明可以通过外部的起重设备将烘烤机放置在支撑架上，安装更加方便、省力、省时。
【IPC分类】H01L21/67, G03F7/16
【公开号】CN105321842
【申请号】CN201410365925
【发明人】雷强, 金一诺, 张怀东, 王坚, 王晖
【申请人】盛美半导体设备（上海）有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2014年7月29日