酸气碱气分离装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种气体分离装置，尤其涉及半导体工艺的排气室中将酸气和碱气进行分离的设备。
【背景技术】
[0002]在半导体工艺中的污染来源是蚀刻、清洗过程中所产生的酸性气体(简称酸气)和碱性气体(简称碱气)，由排气系统收集后排放至后续的处理设备进行处理。由于酸气和碱气的处理方式不同，因此需要对污染产生的酸气和碱气进行分开的处理。而目前并不存在一种简单有效的可分开输出酸气和碱气的设备。
【发明内容】
[0003]以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之序。
[0004]本发明的目的在于解决上述问题，提供了一种酸气碱气分离装置，可以实现酸碱分离。
[0005]本发明的技术方案为:本发明揭示了一种酸气碱气分离装置，包括:
[0006]基座，基座的侧面设有一个进口、一个酸气出口和一个碱气出口 ；
[0007]动力元件；
[0008]转动轴,位于基座内部,连接动力元件，在动力元件的作用下转动；
[0009]挡板,和转动轴连成一体,随着转动轴的转动,视进口气体是酸气或是碱气来关闭碱气出口或是酸气出口。
[0010]根据本发明的酸气碱气分离装置的一实施例，动力元件是旋转气缸。
[0011]根据本发明的酸气碱气分离装置的一实施例，动力元件是气动马达。
[0012]根据本发明的酸气碱气分离装置的一实施例，当进口气体是酸气时，旋转气缸带动转动轴旋转一个角度，使挡板恰好遮挡住碱气出口，以使进入分离装置的酸气从酸气出口流出。
[0013]根据本发明的酸气碱气分离装置的一实施例，当进口气体是碱气时，旋转气缸带动转动轴旋转一个角度，使挡板恰好遮挡住酸气出口，以使进入分离装置的碱气从碱气出口流出。
[0014]根据本发明的酸气碱气分离装置的一实施例，旋转气缸可旋转两个角度预设值，当旋转了第一个角度预设值时，挡板随着旋转气缸的旋转和转动轴的转动，移动至酸气出口的位置，通过遮挡的方式关闭酸气出口，当旋转气缸旋转了第二个角度预设值时，挡板随着旋转气缸的旋转和转动轴的转动，移动至碱气出口的位置，通过遮挡的方式关闭碱气出□。
[0015]根据本发明的酸气碱气分离装置的一实施例，酸气碱气分离装置适用于半导体制程的排气室。
[0016]本发明对比现有技术有如下的有益效果:本发明通过设置一个进口和两个出口(酸气出口和碱气出口)，并在装置内部的转动轴上安装一块挡板，随着转动轴转过一定的角度，使得挡板恰好遮挡住酸气出口或者碱气出口，从而使得当酸气从进口进入装置时，挡板关闭碱气出口，酸气从开启的酸气出口放出，而当碱气从进口进入装置时，挡板关闭酸气出口，碱气从开启的碱气出口放出。
【附图说明】
[0017]图1示出了本发明的酸气碱气分离装置的较佳实施例的外观示意图。
[0018]图2示出了图1所示实施例的剖面结构图。
[0019]图3示出了图1所示实施例中的局部结构图。
【具体实施方式】
[0020]在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本发明的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
[0021]图1示出了本发明的酸气碱气分离装置的较佳实施例的外观，图2示出了图1所示实施例的剖面结构图，图3示出了图1所示实施例中的局部结构图。请参见图1至图3,本实施例的酸气碱气分离装置包括基座1、动力元件(在本实施例中举例为旋转气缸2)、转动轴3和挡板4。本实施例的酸气碱气分离装置适用于半导体制程的排气室。
[0022]基座的侧面设有一个进口 11、一个酸气出口 12和一个碱气出口 13。动力元件是驱动转动轴3转动的组件，可以是本实施例中的旋转气缸2,也可以是气动马达。转动轴3位于基座1的内部，一端连接旋转气缸2的输出轴，在旋转气缸2的动力输出的作用下转动。
[0023]而挡板4是和转动轴3连成一体的，挡板的形状如图3所示，其作用是，随着转动轴3转动到一个预设的角度，挡板4的位置恰好挡住碱气出口 13或者酸气出口 12，用以关闭两个出口中的其中一个。具体而言，当进口 11中输入酸气时，挡板4挡住的是碱气出口13，于是输入的酸气从酸气出口 12放出；当进口 11输入碱气时，挡板4挡住的是酸气出口12,于是输入的碱气从碱气出口 13放出。
[0024]通常，旋转气缸2可旋转两个角度预设值。当输入的是碱气，需要从碱气出口 13放出时，旋转气缸2旋转第一个角度预设值，挡板4就随着旋转气缸2带动转动轴3的转动，移动至酸气出口 12的位置，通过遮挡的方式关闭酸气出口 12，于是输入的碱气只能从开启的碱气出口 13放出。
[0025]同理，当输入的是酸气时，需要从酸气出口 12放出，此时旋转气缸2旋转了第二个角度预设值，挡板4就随着旋转气缸2带动转动轴3的转动，移动至碱气出口 13的位置，通过遮挡的方式关闭碱气出口 13，于是输入的酸气只能从开启的酸气出口 12放出。
[0026]当然，上述的挡板的结构可以做一定的改造或是替换，应被视为本发明的授权范围之内。用其他的结构组件来替代挡板的方式，本质上也是通过一个旋转机构经行切换，以通过一个隔离结构来关闭两个出口中的其中一个。
[0027]提供对本公开的先前描述是为使得本领域任何技术人员皆能够制作或使用本公开。对本公开的各种修改对本领域技术人员来说都将是显而易见的，且本文中所定义的普适原理可被应用到其他变体而不会脱离本公开的精神或范围。由此，本公开并非旨在被限定于本文中所描述的示例和设计，而是应被授予与本文中所公开的原理和新颖性特征相一致的最广范围。
【主权项】
1.一种酸气碱气分离装置，包括: 基座，基座的侧面设有一个进口、一个酸气出口和一个碱气出口 ； 动力元件； 转动轴，位于基座内部，连接动力元件，在动力元件的作用下转动； 挡板，和转动轴连成一体，随着转动轴的转动，视进口气体是酸气或是碱气来关闭碱气出口或是酸气出口。2.根据权利要求1所述的酸气碱气分离装置，其特征在于，动力元件是旋转气缸。3.根据权利要求1所述的酸气碱气分离装置，其特征在于，动力元件是气动马达。4.根据权利要求2所述的酸气碱气分离装置，其特征在于，当进口气体是酸气时，旋转气缸带动转动轴旋转一个角度，使挡板恰好遮挡住碱气出口，以使进入分离装置的酸气从酸气出口流出。5.根据权利要求2所述的酸气碱气分离装置，其特征在于，当进口气体是碱气时，旋转气缸带动转动轴旋转一个角度，使挡板恰好遮挡住酸气出口，以使进入分离装置的碱气从碱气出口流出。6.根据权利要求2所述的酸气碱气分离装置，其特征在于，旋转气缸可旋转两个角度预设值，当旋转了第一个角度预设值时，挡板随着旋转气缸的旋转和转动轴的转动，移动至酸气出口的位置，通过遮挡的方式关闭酸气出口，当旋转气缸旋转了第二个角度预设值时，挡板随着旋转气缸的旋转和转动轴的转动，移动至碱气出口的位置，通过遮挡的方式关闭碱气出口。7.根据权利要求2所述的酸气碱气分离装置，其特征在于，酸气碱气分离装置适用于半导体制程的排气室。
【专利摘要】本发明公开了一种酸气碱气分离装置，可以实现酸碱分离。其技术方案为：设置一个进口和两个出口(酸气出口和碱气出口)，并在装置内部的转动轴上安装一块挡板，随着转动轴转过一定的角度，使得挡板恰好遮挡住酸气出口或者碱气出口，从而使得当酸气从进口进入装置时，挡板关闭碱气出口，酸气从开启的酸气出口放出，而当碱气从进口进入装置时，挡板关闭酸气出口，碱气从开启的碱气出口放出。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN105321841
【申请号】CN201410365809
【发明人】吴均, 程成, 金一诺, 王坚, 王晖
【申请人】盛美半导体设备（上海）有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2014年7月29日