一种导电蓝宝石衬底窗口加工方法
【技术领域】
[0001]本发明具体涉及一种窗口加工方法，具体涉及一种导电蓝宝石衬底窗口加工方法。
【背景技术】
[0002]在化学机械抛光工艺中，氧化物的机械抛光是较为成熟的，其中蓝宝石就是一个典型的材料。蓝宝石硬度高、熔点高、透光性好、电绝缘性优良，广泛应用于机械、光学、信息等高技术领域。通常，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点:首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。
【发明内容】
[0003]本发明提供了一种化学性质稳定、机械强度高、导电性能好的导电蓝宝石衬底窗口加工方法。
[0004]为了达成上述目的，采用的具体技术方案是:
(1)将蓝宝石表面用30mL去离子水清洗，洗去其表面的金属离子及有机物，放于烘箱中于60_70°C下进行烘干；
(2)然后把放入到η区光刻，在氮气的保护下，将20mL的硫酸与磷酸配置好的混合液进行刻蚀，刻蚀温度控制在240-310°C ；
(3)接着用去胶腐蚀清洗机进行清洗，在光刻机上利用P电极的光刻板做掩膜进行光刻；
(4)放入到40mL丙酮溶液与酒精的混合溶液中浸泡30-50min，然后进行超声清洗20-30min，最后制作完成。
[0005]所述的硫酸与磷酸配置的比例为1:3。
[0006]本发明具有的优势为:
(I)本发明化学稳定性好、导电性能好、不吸收可见光等特点；
(2 )本发明具有成本低、高速率、不污染环境及腐蚀设备等特点。
具体实施方案
[0007]—种导电蓝宝石衬底窗口加工方法为:
(1)将蓝宝石表面用30mL去离子水清洗，洗去其表面的金属离子及有机物，放于烘箱中于60_70°C下进行烘干；
(2)然后把放入到η区光刻，在氮气的保护下，将20mL的硫酸与磷酸配置好的混合液进行刻蚀，刻蚀温度控制在240-310°C ；
(3)接着用去胶腐蚀清洗机进行清洗，在光刻机上利用P电极的光刻板做掩膜进行光刻；
(4)放入到40mL丙酮溶液与酒精的混合溶液中浸泡30-50min，然后进行超声清洗20-30min，最后制作完成。
[0008]所述的硫酸与磷酸配置的比例为1:3。
[0009]将蓝宝石表面用30mL去离子水清洗，洗去其表面的金属离子及有机物，放于烘箱中于60°C下进行烘干；然后把放入到η区光刻，在氮气的保护下，将20mL的硫酸与磷酸配置好的混合液进行刻蚀，刻蚀温度控制在240°C ;接着用去胶腐蚀清洗机进行清洗，在光刻机上利用P电极的光刻板做掩膜进行光刻；放入到40mL丙酮溶液与酒精的混合溶液中浸泡30min，然后进行超声清洗20min，最后制得蓝宝石衬底窗口加工。
[0010]将蓝宝石表面用30mL去离子水清洗，洗去其表面的金属离子及有机物，放于烘箱中于65°C下进行烘干；然后把放入到η区光刻，在氮气的保护下，将20mL的硫酸与磷酸配置好的混合液进行刻蚀，刻蚀温度控制在270°C ;接着用去胶腐蚀清洗机进行清洗，在光刻机上利用P电极的光刻板做掩膜进行光刻；放入到40mL丙酮溶液与酒精的混合溶液中浸泡40min，然后进行超声清洗25min，最后制得蓝宝石衬底窗口加工。
[0011]将蓝宝石表面用30mL去离子水清洗，洗去其表面的金属离子及有机物，放于烘箱中于70°C下进行烘干；然后把放入到η区光刻，在氮气的保护下，将20mL的硫酸与磷酸配置好的混合液进行刻蚀，刻蚀温度控制在310°C ;接着用去胶腐蚀清洗机进行清洗，在光刻机上利用P电极的光刻板做掩膜进行光刻；放入到40mL丙酮溶液与酒精的混合溶液中浸泡50min，然后进行超声清洗30min，最后制得蓝宝石衬底窗口加工。
【主权项】
1.一种导电蓝宝石衬底窗口加工方法，其特征在于: 将蓝宝石表面用30mL去离子水清洗，洗去其表面的金属离子及有机物，放于烘箱中于60-70°C下进行烘干； 然后把放入到η区光刻，在氮气的保护下，将20mL的硫酸与磷酸配置好的混合液进行刻蚀，刻蚀温度控制在240-310°C ； 接着用去胶腐蚀清洗机进行清洗，在光刻机上利用P电极的光刻板做掩膜进行光刻；放入到40mL丙酮溶液与酒精的混合溶液中浸泡30-50min，然后进行超声清洗20-30min，最后制作完成。2.根据权利要求1所述一种导电蓝宝石衬底窗口加工方法，其特征在于:所述的硫酸与磷酸配置的比例为1:3。
【专利摘要】本发明涉及一种导电蓝宝石衬底窗口加工方法，将蓝宝石表面用去离子水清洗，洗去其表面的金属离子及有机物，放于烘箱中进行烘干；然后把放入到n区光刻，在氮气的保护下，将硫酸与磷酸配置好的混合液进行刻蚀，刻蚀温度控制在240-310℃；接着用去胶腐蚀清洗机进行清洗，在光刻机上利用P电极的光刻板做掩膜进行光刻；放入到丙酮溶液与酒精的混合溶液中浸泡，然后进行超声清洗，最后制得蓝宝石衬底窗口加工。
【IPC分类】H01L21/02
【公开号】CN105118769
【申请号】CN201510469928
【发明人】雷春生, 潘相成
【申请人】常州市好利莱光电科技有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年8月4日