用于退火装置的样品座与使用样品座的电流辅助退火装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种用于退火装置的样品座与使用所述样品座的电流辅助退火装置。
【背景技术】
[0002]热电材料（thermoelectric materials)能够通过塞贝克效应（Seebeck effect) 或佩尔捷效应（Peltier effect)将电能与热能进行互换。由于热电材料为固态材料、使用 热电材料的热电模块没有移动件，因此具有可靠度高、使用寿命长以及无噪音等优点。热 电模块的效能与热电材料特性、模块冷热端温度（T htrt与1；。1(1)及温差（ΛΤ)有关，其中热 电材料特性以热电优值（Figure of merit, ZT)表示。ZT值主要与塞贝克系数（Seebeck coefficient)、电导率和导热系数相关，以上三种参数也直接影响材料是否拥有良好的热电 性质。ZT值越高，则热电效应越显著，其关系式为 ：
【主权项】
1. 一种用于退火装置的样品座，包括： 导热壳，包括底座与顶盖； 多数个高导热绝缘块，分别邻接于该底座上方与该上盖顶盖下方，该些高导热绝缘块 之间用以夹持待测量的试片；以及 第一电极与第二电极，在该些高导热绝缘块之间相对设置，用以与该试片接触。
2. 如权利要求1所述用于退火装置的样品座，其中该些高导热绝缘块包括陶瓷材料、 表面经绝缘处理的金属、表面经绝缘处理的合金或其组合。
3. 如权利要求2所述用于退火装置的样品座，其中该些高导热绝缘块包括氮化硼、氮 化铝、氧化铍或其组合。
4. 如权利要求1所述用于退火装置的样品座，其中该导热壳包括金属或合金。
5. 如权利要求4所述用于退火装置的样品座，其中该导热壳包括高导热系数材料，所 述高导热系数材料包括铜、铝金属、合金或金属基复合材料。
6. 如权利要求1所述用于退火装置的样品座，其中该第一电极与该第二电极的材料包 括金属或合金。
7. 如权利要求6所述用于退火装置的样品座，其中该第一电极与该第二电极的材料包 括金、银、铜、镍或其合金。
8. 如权利要求1所述用于退火装置的样品座，还包括多数个固定片，位于该试片两侧， 其材料包括绝缘材料。
9. 如权利要求8所述用于退火装置的样品座，其中该些固定片包括陶瓷材料、玻璃、氧 化铝或其组合。
10. 如权利要求1所述用于退火装置的样品座，还包括热电偶，与该试片连接。
11. 如权利要求1所述用于退火装置的样品座，其中各构件的固定方式包括使用螺丝、 弹黃或黃片。
12. 如权利要求11所述用于退火装置的样品座，其中各构件的固定方式包括使用耐热 螺丝。
13. -种电流辅助退火装置，包括： 密闭腔体； 加热器，位于该密闭腔体中； 如权利要求1所述的用于退火装置的样品座，配置于该加热器上； 第一数据撷取器，位于该密闭腔体外，用以撷取该试片的温度； 第二数据撷取器，位于该密闭腔体外，用以撷取该加热器的温度； 温度控制器，位于该密闭腔体外，根据该第一数据撷取器所撷取的该试片的该温度，调 整供应该加热器的电源； 机械泵，位于该密闭腔体外； 电源供应器，位于该密闭腔体外，供应通入样品的电源； 气体流量计与压力计，位于该密闭腔体外，控制通入该密闭腔体中的气体；以及 热电偶外接母接头，位于该密闭腔体外，连接该样品座的该热电偶以及该第一数据撷 取器及温度控制器。
14. 如权利要求13所述的电流辅助退火装置，还包括加热器热电偶，用以量测该加热 器的温度，并与该第二数据撷取器连接。
15. 如权利要求13所述的电流辅助退火装置，其中该温度控制器为比例-积分-微分 控制器。
16. 如权利要求13所述的电流辅助退火装置，其中通入该密闭腔体中的气体包括氮气 或惰性气体。
【专利摘要】本发明公开一种用于退火装置的样品座与使用样品座的电流辅助退火装置。所述样品座包括导热壳、高导热绝缘块以及第一电极与第二电极。导热壳包括底座与顶盖，所述高导热绝缘块分别邻接于所述底座上方与所述顶盖下方，所述高导热绝缘块之间可夹持待测量的试片，所述试片的长宽小于所述高导热绝缘块的长宽。所述第一电极与所述第二电极固定于所述试片两侧，与其连接，并分别与通电用导线连接，所述第一电极与所述第二电极的厚度小于所述试片的厚度，宽度大于所述试片的宽度。
【IPC分类】H01L21-687, H01L21-324
【公开号】CN104752305
【申请号】CN201410527563
【发明人】朱旭山, 廖建能, 陈耀祥
【申请人】财团法人工业技术研究院
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2014年10月9日
【公告号】US20150176904