步进石英舟的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本发明涉及集成电路制造领域，特别是涉及炉管掺杂或氧化中普遍使用的石英舟。
【背景技术】
[0002]现有6英寸及以下扩散卧式炉管中使用的石英舟，舟齿多为等间距的，这样会导致掺杂或氧化后炉管内里中口三段均匀性会有较大差异，主要体现为炉里掺杂浓度高或氧化速率快，到炉口掺杂浓度逐渐降低或氧化速率慢。造成此问题的原因是掺杂用的杂质源或氧化用的氧气是从炉管尾部(即炉里位置)往炉管里面通的。炉管尾部的杂质或氧气氛围浓度就会比炉管口部要浓一些，所以会导致炉里掺杂浓度要高于炉口，或炉里氧化速率比炉口快。
[0003]另外，普通石英舟的舟槽都是垂直方向的，由于舟槽的宽度大于晶圆的厚度，因此晶圆放在石英舟里面并不是完全垂直的，会有一定的倾斜，随着石英舟的使用，舟槽的宽度会有一定程度的增大。当舟槽宽度增大后，装在石英舟上的晶圆的倾斜度也会增大，相邻的晶圆如果倾斜到一定程度，晶圆上面就容易搭到一起。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题是提供一种步进石英舟，它可以提高炉管不同区域掺杂或氧化的均匀性。
[0005]为解决上述技术问题，本发明的步进石英舟采用步进式结构，石英舟的舟槽间距由炉管内里到炉口逐渐增大。
[0006]本发明通过调整石英舟的舟槽间距，确保了石英舟上装载的晶圆在炉管的不同位置都能与外界氛围充分接触，从而改善了炉管内里和炉口的掺杂或氧化的一致性；同时舟槽与垂直方向成一定角度倾斜，避免了相邻晶圆搭片，进一步保证了炉管掺杂或氧化的均匀性。
【附图说明】
[0007]图1是常规的等间距舟槽的石英舟结构图。图中的X表示舟槽间距。
[0008]图2是本发明的步进石英舟结构图。图中的X表示舟槽间距。
【具体实施方式】
[0009]为对本发明的技术内容、特点与功效有更具体的了解，现结合附图，详述如下:
[0010]为了抵消炉管内浓度氛围对掺杂浓度的影响，本发明对装载晶圆的石英舟的舟槽间距进行了重新设计，石英舟在炉里的部分保持较小的舟槽间距，越到炉口位置，舟槽间距越大。
[0011]图2显示了本发明一实施例的石英舟结构。该石英舟采用步进式的结构，共有108个舟槽，可放100枚晶圆，石英舟两边的位置用挡片补齐。该石英舟以第I个舟槽为基准，前24个舟槽保持等间距，从第25个舟槽开始，槽间距以0.03mm成等差数列递增。所有舟槽均与垂直方向成4度角倾斜，以防止相邻的晶圆之间搭片。
[0012]石英舟的结构经过上述改进后，可以使炉口位置的晶圆更充分地与掺杂源或氧气进行接触，这样就改善了炉口和炉里的掺杂或氧化的均匀性。
【主权项】
1.步进石英舟，其特征在于，该石英舟采用步进式结构，石英舟的舟槽间距由炉管内里到炉口逐渐增大。
2.根据权利要求1所述的步进石英舟，其特征在于，所述石英舟以第I个舟槽为基准，前24个舟槽等间距，从第25个舟槽开始，舟槽间距成等差数列递增。
3.根据权利要求2所述的步进石英舟，其特征在于，从第25个舟槽开始，舟槽间距以0.03mm成等差数列递增。
4.根据权利要求1至3任何一项所述的步进石英舟，其特征在于，所述石英舟的舟槽与垂直方向成4度角倾斜。
【专利摘要】本发明公开了一种步进石英舟，该石英舟采用步进式结构，石英舟的舟槽间距由炉管内里到炉口逐渐增大。本发明通过调整石英舟的舟槽间距，确保了石英舟上装载的晶圆在炉管的不同位置都能与外界氛围充分接触；同时，舟槽与垂直方向成一定角度倾斜，避免了相邻晶圆搭片，如此改善了炉管内里和炉口的掺杂或氧化的一致性。
【IPC分类】H01L21-673
【公开号】CN104733360
【申请号】CN201310724124
【发明人】陈瑜, 王黎, 陈华伦
【申请人】上海华虹宏力半导体制造有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2013年12月24日